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A61.4601 사양
해결STM: 0.13nm 측면, 0.01nm 수직
XY 스캔 범위~10μm
Z 거리~2μm
이미지 픽셀:128x128,256x256,512x512,1024x1024
스캔 각도:0~360°
스캔 속도:0.1~100Hz
표본의 크기최대 직경 30mm, 두께 15mm
약혼30mm의 이동 거리와 50nm의 정밀도로 자동 맞물림
전자제품CPU: 600MHz에서 32비트 디지털 신호 프로세서(DSP)
텍사스 인스트루먼트.
Fast16비트 DAC
Fast16비트 ADC
고전압: 5채널
통신 인터페이스: 10M/100M 고속 이더넷
소프트웨어Windows 7/Vista/XP/2000/9x용 온라인 제어 소프트웨어 및 오프라인 이미지 처리 소프트웨어

주사 터널링 현미경
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