Tiếng Việt
English
Pусский
Français
Español
Portugues
Deutsch
lingua italiana
العربية
Melayu
Filipino
Монгол хэл
dansk
Bahasa indonesia
日本語
한국어
Türk dili
svenska
Nederlands
Norsk språk
| Chức năng chính của phần mềm A63.7080, A63.7081 | ||
| Vận hành tích hợp điện áp cao | Tự động bật/tắt dây tóc | Quy định dịch chuyển tiềm năng |
| Điều chỉnh độ sáng | Điều chỉnh điện đến trung tâm | Độ sáng tự động |
| Điều chỉnh độ tương phản | Điều chỉnh vật kính | Tự động lấy nét |
| Điều chỉnh độ phóng đại | Khử từ khách quan | Tự động loại bỏ loạn thị |
| Chế độ quét vùng đã chọn | Điều chỉnh xoay điện | Quản lý các thông số kính hiển vi |
| Chế độ quét điểm | Điều chỉnh dịch chuyển chùm tia điện tử | Hiển thị thời gian thực kích thước trường quét |
| Chế độ quét dòng | Điều chỉnh độ nghiêng chùm tia điện tử | Điều chỉnh ống kính súng |
| Quét bề mặt | Điều chỉnh tốc độ quét | Đầu vào đa kênh |
| Giám sát điện áp cao | Định tâm xoay | Thước đo |
| SEM | A63.7069 A63.7069-L A63.7069-LV | A63.7080 A63.7080-L | A63.7081 |
| Nghị quyết | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) | 1,5nm@30KV(SE) 3nm@30KV(BSE) | 1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV(SE) 2,5nm@30KV(BSE) |
| phóng đại | 1x~450000x,Độ phóng đại thực âm | 1x~600000x, Độ phóng đại thực âm | Độ phóng đại thực âm 1x~3000000x |
| Súng điện tử | Hộp mực dây tóc vonfram định tâm trước | Súng phát xạ trường Schottky | Súng phát xạ trường Schottky |
| Điện áp | Điện áp tăng tốc 0,2～30kV, Điều chỉnh liên tục, Điều chỉnh bước 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
| thăm dò hiện tại | 1pA~30nA | 1pA~40nA | 1pA~80nA |
| Xem nhanh | Chức năng xem hình ảnh nhanh một phím | không áp dụng | không áp dụng |
| Hệ thống ống kính | Ống kính côn điện từ ba cấp | Ống kính côn điện từ đa cấp | |
| Khẩu độ | 3 khẩu độ mục tiêu Molypden, có thể điều chỉnh bên ngoài hệ thống chân không, không cần tháo rời mục tiêu để thay đổi khẩu độ | ||
| Hệ thống chân không | 1 máy bơm phân tử Turbo 1 máy bơm cơ khí Phòng mẫu Chân không>2.6E-3Pa Máy hút bụi trong phòng súng điện tử>2.6E-3Pa Điều khiển chân không hoàn toàn tự động Chức năng khóa liên động chân không Mẫu tùy chọn: A63.7069-LV 1 máy bơm phân tử Turbo 2Máy bơm cơ khí Phòng mẫu Chân không>2.6E-3Pa Máy hút bụi trong phòng súng điện tử>2.6E-3Pa Điều khiển chân không hoàn toàn tự động Chức năng khóa liên động chân không Độ chân không thấpPhạm vi 10~270Pa Để chuyển đổi nhanh trong 90 giây Đối với BSE(LV) | 1 Bộ Bơm Ion 1 máy bơm phân tử Turbo 1 máy bơm cơ khí Phòng mẫu Chân không>6E-4Pa Phòng súng điện tử Máy hút bụi>2E-7 Pa Điều khiển chân không hoàn toàn tự động Chức năng khóa liên động chân không | 1 máy bơm ion phún xạ 1 Máy bơm hợp chất ion Getter 1 máy bơm phân tử Turbo 1 máy bơm cơ khí Phạm vi biến đổi áp suất chân không cao: Phòng mẫu Chân không>6E-4Pa Phòng súng điện tử Máy hút bụi>2E-7 Pa Điều khiển chân không hoàn toàn tự động Chức năng khóa liên động chân không Tùy chọn chân không thấp: A50.7016 Phạm vi áp suất có thể điều chỉnh: 0-20 Pa 6nm@30kV (BSE) |
| máy dò | SE: Máy dò điện tử thứ cấp chân không cao (Có bảo vệ máy dò) | SE: Máy dò điện tử thứ cấp chân không cao (Có bảo vệ máy dò) | SE: Máy dò điện tử thứ cấp chân không cao (Có bảo vệ máy dò) |
| BSE: Phân đoạn bán dẫn 4 Máy dò tán xạ ngược | Không bắt buộc | Không bắt buộc | |
| Mẫu tùy chọn: A63.7069-LV BSE(LV): Phân đoạn bán dẫn 4 Máy dò tán xạ ngược | |||
| CCD:Camera CCD hồng ngoại | CCD:Camera CCD hồng ngoại | CCD:Camera CCD hồng ngoại | |
| Mở rộng cổng | 2 cổng mở rộng trên phòng mẫu cho EDS, BSD, WDS, v.v. | 4 cổng mở rộng trên phòng mẫu cho BSE, EDS, BSD, WDS, v.v. | 4 cổng mở rộng trên phòng mẫu cho BSE, EDS, BSD, WDS, v.v. |
| Giai đoạn mẫu vật | Giai đoạn 5 trục, 4Tự động+1Thủ côngĐiều khiển Phạm vi du lịch: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90°(Thủ công) Chạm vào chức năng cảnh báo và dừng Mô hình tùy chọn: A63.7069-LSân khấu lớn tự động 5 trục | 5 trụcTự độngỞ giữaSân khấu Phạm vi du lịch: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Chạm vào chức năng cảnh báo và dừng Mô hình tùy chọn: A63.7080-L5 trụcTự độngLớnSân khấu | 5 trụcTự độngLớnSân khấu Phạm vi du lịch: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Chạm vào chức năng cảnh báo và dừng |
| Mẫu vật tối đa | Dia.175mm, Cao 35mm | Dia.175mm, Cao 20mm | Dia.340mm, Cao 50mm |
| Hệ thống hình ảnh | Độ phân giải tối đa của ảnh tĩnh thực 4096x4096 Pixels, Định dạng tệp hình ảnh: BMP (Mặc định), GIF, JPG, PNG, TIF | Độ phân giải tối đa của ảnh tĩnh thực 16384x16384 Pixels, Định dạng tệp hình ảnh: TIF (Mặc định), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Tự động ghi video .AVI kỹ thuật số | Độ phân giải tối đa của ảnh tĩnh thực 16384x16384 Pixels, Định dạng tệp hình ảnh: TIF (Mặc định), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Tự động ghi video .AVI kỹ thuật số |
| Máy tính & Phần mềm | Hệ thống PC Work Station Win 10, với phần mềm phân tích hình ảnh chuyên nghiệp để kiểm soát hoàn toàn hoạt động của toàn bộ kính hiển vi SEM, thông số kỹ thuật máy tính không kém Inter I5 3,2GHz, bộ nhớ 4G, màn hình IPS LCD 24 inch, đĩa cứng 500G, chuột, bàn phím | ||
| Hiển thị ảnh | Mức độ hình ảnh phong phú và tỉ mỉ, hiển thị độ phóng đại theo thời gian thực, thước đo, điện áp, đường cong màu xám | ||
| Kích thước & Cân nặng | Thân kính hiển vi 800x800x1850mm Bàn làm việc 1340x850x740mm Tổng trọng lượng 400Kg | Thân kính hiển vi 800x800x1480mm Bàn làm việc 1340x850x740mm Tổng trọng lượng 450Kg | Thân kính hiển vi 1000x1000x1730mm Bàn làm việc 1330x850x740mm Tổng trọng lượng 550Kg |
| Phụ kiện tùy chọn | |||
| Phụ kiện tùy chọn | A50.7002Máy quang phổ tia X phân tán năng lượng EDS A50.7011Máy phún xạ ion | A50.7001Máy dò điện tử tán xạ ngược BSE A50.7002Máy quang phổ tia X phân tán năng lượng EDS A50.7011Máy phún xạ ion A50.7030Bảng điều khiển cơ giới hóa | A50.7001Máy dò điện tử tán xạ ngược BSE A50.7002Máy quang phổ tia X phân tán năng lượng EDS A50.7011Máy phún xạ ion A50.7030Bảng điều khiển cơ giới hóa |
| A50.7001 | Máy dò BSE | Máy dò tán xạ ngược bốn đoạn bán dẫn; Có sẵn trong Thành phần A+B, Thông tin Hình thái AB; Mẫu có sẵn Quan sát mà không cần phún xạ vàng; Có sẵn trong quan sát tạp chất và phân phối trực tiếp từ bản đồ thang độ xám. |
| A50.7002 | EDS (Máy dò tia X) | Cửa sổ Silicon Nitride (Si3N4) để tối ưu hóa việc truyền tia X năng lượng thấp để phân tích nguyên tố nhẹ; Độ phân giải xuất sắc và thiết bị điện tử có độ ồn thấp tiên tiến mang lại hiệu suất thông lượng vượt trội; Dấu chân nhỏ mang lại sự linh hoạt để đảm bảo các điều kiện thu thập hình học và Aata lý tưởng; Máy dò chứa chip 30mm2. |
| A50.7003 | EBSD (Nhiễu xạ tán xạ ngược chùm tia điện tử) | người dùng có thể phân tích hướng tinh thể, pha tinh thể và kết cấu vi mô của vật liệu và hiệu suất vật liệu liên quan, v.v. tự động tối ưu hóa cài đặt camera EBSD trong quá trình thu thập dữ liệu, hãy thực hiện phân tích tương tác theo thời gian thực để thu được thông tin tối đa tất cả dữ liệu được gắn nhãn thời gian, có thể xem bất kỳ lúc nào độ phân giải cao 1392 x 1040 x 12 Tốc độ quét và lập chỉ mục: 198 điểm / giây, lấy Ni làm tiêu chuẩn, trong điều kiện 2 ~ 5nA, có thể đảm bảo tỷ lệ chỉ số ≥99%; hoạt động tốt trong điều kiện dòng điện chùm tia thấp và điện áp thấp 5kV ở 100pA Độ chính xác đo định hướng: Tốt hơn 0,1 độ Sử dụng hệ thống chỉ mục triplex: không cần dựa vào định nghĩa băng tần đơn, dễ dàng lập chỉ mục cho chất lượng mẫu kém cơ sở dữ liệu chuyên dụng: Cơ sở dữ liệu đặc biệt EBSD thu được bằng nhiễu xạ điện tử: cấu trúc pha >400 Khả năng lập chỉ mục: nó có thể tự động lập chỉ mục tất cả các vật liệu tinh thể của 7 hệ tinh thể. Các tùy chọn nâng cao bao gồm tính toán độ cứng đàn hồi (Độ cứng đàn hồi), hệ số Taylor (Taylor), hệ số Schmidt (Schmid), v.v. |
| A50.7010 | Máy phủ | Vỏ bảo vệ kính: ∮250mm; Cao 340mm; Phòng chế biến kính: ∮88mm; Cao 140mm, ∮88mm; Cao 57mm; Kích thước bệ mẫu: ∮40mm (tối đa); Hệ thống chân không: Bơm phân tử và bơm cơ khí; Phát hiện chân không: Máy đo Pirani; Chân không: tốt hơn 2 X 10-3 Pa; Bảo vệ chân không: 20 Pa với van lạm phát vi mô; Chuyển động của mẫu: Xoay mặt phẳng, tuế sai nghiêng. |
| A50.7011 | Máy phún xạ ion | Buồng gia công kính: ∮100mm; Cao 130mm; Kích thước bệ mẫu: ∮40mm (Giữ 6 cốc mẫu); Kích thước mục tiêu vàng: ∮58mm*0,12mm (độ dày); Phát hiện chân không: Máy đo Pirani; Bảo vệ chân không: 20 Pa với van lạm phát vi mô; Khí trung bình: argon hoặc không khí với khí Argon Đầu vào không khí đặc biệt và khí điều chỉnh ở quy mô vi mô. |
| A50.7012 | Máy phủ phún xạ ion Argon | Mẫu được mạ carbon và vàng trong điều kiện chân không cao; Bàn mẫu có thể xoay, lớp phủ đồng nhất, kích thước hạt Khoảng 3-5nm; Không lựa chọn vật liệu mục tiêu, không làm hỏng mẫu; Chức năng làm sạch ion và làm loãng ion có thể được thực hiện. |
| A50.7013 | Máy sấy điểm tới hạn | Đường kính trong: 82mm, Chiều dài bên trong: 82mm; Phạm vi áp suất: 0-2000psi; Phạm vi nhiệt độ: 0°-50° C (32°-122° F) |
| A50.7014 | Quang khắc chùm tia điện tử | Dựa trên kính hiển vi điện tử quét, một hệ thống phơi nhiễm nano mới đã được phát triển; Modificaton đã giữ tất cả các chức năng Sem để tạo hình ảnh có chiều rộng đường kích thước nano; Hệ thống Ebl được sửa đổi được áp dụng rộng rãi vào các thiết bị vi điện tử, thiết bị quang điện tử, thiết bị lượng tử, R&d hệ thống vi điện tử. |
| Trang phục tiêu hao tiêu chuẩn A63.7080, A63.7081 | |||
| 1 | Dây tóc phát xạ trường | cài đặt trong kính hiển vi | 1 cái |
| 2 | Cốc mẫu | Dia.13mm | 3 chiếc |
| 3 | Cốc mẫu | Dia.32mm | 5 chiếc |
| 4 | Băng dẫn điện hai mặt cacbon | 6 mm | 1 cái |
| 5 | Mỡ chân không | 50g (Sẽ không cung cấp nếu vận chuyển bằng đường hàng không) | 1 cái |
| 6 | Vải không có lông | 10 cái | |
| 7 | Dán đánh bóng | (Sẽ không cung cấp nếu vận chuyển bằng đường hàng không) | 1 cái |
| 8 | Hộp mẫu | 1 cái | |
| 9 | Tăm bông | 100 cái/túi | 2 túi |
| 10 | Bộ lọc sương mù dầu | 1 cái | |
| A63.7080, A63.7081 Bộ công cụ & bộ phận tiêu chuẩn | |||
| 1 | Cờ lê lục giác bên trong | 1,5mm ~ 10 mm | 1 bộ |
| 2 | Nhíp | Chiều dài 100-120mm | 1 cái |
| 3 | Tuốc nơ vít có rãnh | 2*50mm, 2*125mm | 2 chiếc |
| 4 | Tuốc nơ vít chéo | 2*125mm | 1 cái |
| 5 | Làm sạch ống thông hơi | Dia.10/6.5mm(Đường kính ngoài/Đường kính trong) | 5m |
| 6 | Van giảm áp thông gió | Áp suất đầu ra 0-0,6MPa | 1 cái |
| 7 | Cung cấp năng lượng nướng bên trong | 0-3A DC | 2 chiếc |
Huang Xin