ab

كيفية اختيار مجهر قوة الذرة (AFM)؟

تاريخ موجز لتطور المجاهر

• الجيل الاول:مايكروسكوب بصري(اخترع في القرن السابع عشر)

• الجيل الثاني: المجهر الإلكتروني (1932)

في عام 1933 ، روسكا ونول ، ألمانيا: أول مجهر إلكتروني مسح (SEM) ، التي تتطلب فراغًا عاليًا ولا يمكنها تمييز الذرات ؛
المجهر الإلكتروني للإرسال (تيم) ، دراسات فراغية عالية ، مجمعة وواجهة لعينات طبقة رقيقة ، سعر مرتفع ؛
المجهر الإلكتروني الميداني (FEM) والمجهر الأيوني الميداني (FEM) يكتشفان التركيب الذري على طرف r <100nm ، ويكون تحضير العينة معقدًا ؛

• الجيل الثالث: الفحص المجهري للمسبار (SPM) (1982)

1982 مختبر IBM زيوريخ و Binnig Rohrer ، النوع الأول الجديد من أدوات تحليل السطح - مجهر المسح النفقي (STM) ؛
1986 اخترع بينيج وكوات وجيربر أول مجهر ذري (AFM)

مجهر المسح الضوئي (SPM) مقارنة بالميكروسكوبات الأخرى

تقنيات التحليل المجهري الرئيسية في الوقت الحاضر:

الجيل الاول:مايكروسكوب بصري(بما في ذلك التداخل والتصوير المجسم البؤري والرقمي)
الجيل الثاني:ميكروسكوب الكتروني(خاصةSEMوتيم)
الجيل الثالث: الفحص المجهري للمسبار (SPM)

مقارنة دقة ثلاثة أجيال من المجاهر

ما هو الفحص المجهري للمسبار (SPM)

مجهر المسح الضوئي (SPM) هو الجيل الثالث من المجهر ، كما يوحي الاسم ، فهو مسح + مسبار + مجهر. مبدأ SPM هو استخدام مسبار لمسح سطح العينة بخط نقطي ، وتسجيل ميزات سطح العينة والحصول على صورة عن طريق اكتشاف التفاعل بين المجس والعينة.

تصنيف مجهر مسبار المسح (SPM)

وفقًا لاختلاف قوة الكشف بين المجس والعينة ،الفحص المجهري للمسبار (SPM)يمكن تقسيمها إلى فئتين ، وهماالفحص المجهري النفقي (STM)، والذي يستخدم التيار للكشف ، ومجهر القوة الذرية (AFM)، والتي تستخدم قوى مختلفة للكشف.

AFMيمكن أيضًا تقسيمها إلى مجهر القوة المغناطيسية ، ومجهر قوة الاحتكاك ، ومجهر القوة الجانبية ، ومجهر القوة الكيميائية ، ومجهر القوة الكهروستاتيكية وأنواع أخرى وفقًا للقوى المختلفة.

الاختلافات بينSTMوAFMالتطبيقات:

يستخدم مجهر المسح النفقي (STM) بشكل أساسي لدراسة الموصلات ،
يمكن استخدام مجهر القوة الذرية (AFM) ليس فقط لدراسة الموصلات ، ولكن أيضًا لدراسة غير الموصلات.

عمق المجال ، تحضير العينة من المجاهر المختلفة

مزايا وعيوب مجهر المسح الضوئي (SPM)

كنوع جديد من أدوات المجهر ، يتمتع SPM بمزايا واضحة مقارنة بأدوات تحليل المجهر السابقة:

• SPM لديها دقة عالية للغاية ، مثل STM المتوازي والعمودي على اتجاه سطح العينة يمكن أن يصل إلى 0.1nm و 0.01nm.

• يحصل SPM على صورة ثلاثية الأبعاد عالية الدقة في الوقت الفعلي لسطح العينة ، والتي تختلف عن بعض الأدوات التحليلية من خلال طرق غير مباشرة أو حسابية لتقدير بنية سطح العينة.

• يتيح SPM المراقبة المباشرة لعيوب السطح ، وإعادة تشكيل السطح ، والتشكيل وموقع الممتزات السطحية ، وإعادة تشكيل السطح الناجم عن الممتزات.

• بيئة استخدام SPM فضفاضة ، يمكنها العمل ليس فقط في الفراغ ، ولكن أيضًا في الغلاف الجوي ، ودرجة الحرارة المنخفضة ، ودرجة الحرارة العادية ، ودرجة الحرارة المرتفعة ، وحتى في المحلول.

• لا تتطلب SPM تقنيات خاصة لإعداد العينات ، وعملية الكشف غير ضارة بشكل أساسي للعينة.

• بالاقتران مع التحليل الطيفي للأنفاق ، يمكن الحصول على معلومات حول بنية السطح ، مثل كثافة الحالات على مستويات مختلفة من السطح ، ومصائد الإلكترون السطحية ، والتغيرات في حواجز السطح المحتملة ، إلخ.

• في الوقت نفسه ، فإن SPM لديها أيضًا بعض العيوب

• سرعة المسح. نظرًا لأن مبدأ عمله هو التحكم في مسبار بجودة معينة لمسح التصوير ، فإن سرعة المسح محدودة ، وكفاءة الكشف أقل من طرق الفحص المجهري الأخرى.

• نطاق المسح. مقيدًا بنطاق التمدد للسيراميك الكهرضغطية ، فإن نطاق المسح الأقصى لـ SPM يتراوح بين عشرات إلى مئات الميكرونات.

• دقة تحديد الموقع. نظرًا لأن السيراميك الكهروإجهادي لديه نطاق صغير من الحركة تحت فرضية ضمان دقة تحديد الموقع ، ولا يمكن ربط دقة الضبط الميكانيكي به ، فإنه لا يمكن تحقيق تكبير مستمر واسع النطاق مثل المجاهر الإلكترونية ، ومن الصعب تحديد موقع وإيجاد خصائص الهياكل.

• عينة خشونة السطح. تستخدم الماسحات الكهروإجهادية الأنبوبية على نطاق واسع في الوقت الحاضر ، ونطاق التمدد العمودي هو 1/10 من نطاق المسح المستوي. إذا تجاوز التموج السطحي للعينة المراد اختبارها نطاق التمدد والانكماش لأنبوب المسح ، فسيؤدي ذلك إلى تعطل النظام أو حتى إتلاف المسبار.

• حدة الإبرة. نظرًا لأن النظام يستنتج تضاريس السطح عن طريق اكتشاف مسار حركة المسبار عند مسح العينة ، فإن العرض الهندسي ونصف قطر الانحناء وتباين المسبار سيؤدي إلى تشويه الصورة.

المبادئ الأساسية لميكروسكوب القوة الذرية (AFM)

تم إصلاح أحد طرفي الكابول ، وهو حساس للغاية للقوة الضعيفة ، والطرف الآخر به طرف إبرة صغير. يكون طرف الإبرة على اتصال خفيف بسطح العينة. بسبب القوة الطاردة الضعيفة للغاية بين الذرات عند طرف طرف الإبرة والذرات على سطح العينة ، من خلال التحكم في هذا أثناء المسح. عندما تكون القوة ثابتة ، سيتأرجح الكابول ذو الطرف في الاتجاه العمودي على سطح العينة المقابل لإيزوبليان للقوة بين الطرف وذرات السطح للعينة. باستخدام طريقة الكشف البصري أو طريقة الكشف عن تيار النفق ، يمكن قياس تغيير موضع الكابولي الدقيق المقابل لكل نقطة مسح ، بحيث يمكن الحصول على معلومات التضاريس السطحية للعينة.

تكوين ومخطط العمل لمجهر القوة الذرية (AFM)

ينقسم نظام AFM لمجهر القوة الذرية إلى أربعة أجزاء: جزء الكشف عن القوة ، جزء الكشف عن الموقع ، النظام الإلكتروني للتغذية الراجعة ، نظام المسح الكهروإجهادي.

1. ناتج الكشف عن القوة

في نظام مجهر القوة الذرية (AFM) ، القوة المراد اكتشافها هي قوة فان دير فال بين الذرات. لذلك في هذا النظام ، يتم استخدام ناتئ صغير (ناتئ) لاكتشاف تغير القوة بين الذرات. الكابول الصغير له مواصفات معينة ، مثل: الطول والعرض ومعامل المرونة وشكل الطرف ، واختيار هذه المواصفات يعتمد على خصائص العينة وأنماط التشغيل المختلفة ، ويتم اختيار أنواع مختلفة من المجسات.

2. موقف حساس ضوئي

عندما يتفاعل طرف الإبرة مع العينة ، سوف يتأرجح الكابول ، لذلك عندما يشع الليزر نهاية الكابول ، سيتغير موضع الضوء المنعكس أيضًا بسبب تأرجح الكابول. ، مما يؤدي إلى تعويض. في النظام بأكمله ، يتم استخدام كاشف موضع بقعة الليزر لتسجيل الإزاحة وتحويلها إلى إشارة كهربائية لوحدة التحكم للقيام بمعالجة الإشارات.

3. نظام التغذية الراجعة الإلكتروني: حلقة التغذية الراجعة

يتم إكمال التحكم في ردود الفعل AFM بواسطة نظام الكمبيوتر والدائرة الإلكترونية. يتم تشغيل AFM تحت سيطرة كمبيوتر قوي وعالي السرعة. يحتوي نظام التحكم على وظيفتين رئيسيتين: (1) توفير جهد القيادة للتحكم في مسح الاتجاه XY لمحول الطاقة الكهرضغطية ؛ (2) الحفاظ على قيمة ثابتة للإشارة التناظرية الإدخال من حلقة الكشف عن المجهر في وضع القوة الثابتة. يقوم الكمبيوتر بقراءة ومقارنة جهد الحلقة (أي الفرق بين القيمة المحددة والقيمة المقاسة الفعلية) من خلال تحويل A / D. وفقًا لقيم الجهد المختلفة ، يقوم نظام التحكم بإخراج الجهد المقابل باستمرار لضبط تمدد وانكماش المستشعر الكهروإجهادي في اتجاه Z لتصحيح الانحراف الذي تمت قراءته في محول A / D ، وبالتالي الحفاظ على جهد الخرج لحلقة المقارنة مستمر.
يلعب نظام الدوائر الإلكترونية دور توصيل الكمبيوتر ونظام المسح. توفر الدائرة الإلكترونية جهدًا لأنبوب السيراميك الكهروإجهادي ، وتستقبل الإشارة من الجهاز الحساس للموضع ، وتشكل نظام تغذية مرتدة للتحكم في المسافة بين طرف الإبرة والعينة.

4. ماسح كهرضغطية

يتحقق التحكم الدقيق في مسح AFM للعينة بواسطة الماسح الضوئي. يتم تثبيت محول كهرضغطية في الماسح الضوئي ، ويتحكم الجهاز الكهرضغطية بدقة في موضع العينة أو المسبار في الاتجاهات الثلاثة X و Y و Z.
في الوقت الحاضر ، تكون مادة الأساس للماسحة الضوئية أساسًا مادة خزفية كهرضغطية مصنوعة من تيتانات زركونات الرصاص [Pb (Ti ، Zr) O3]. للسيراميك الكهرضغطية تأثير كهرضغطية ، أي أن لها خصائص انكماش عند تطبيق جهد ما ، ودرجة الانكماش تتناسب مع الجهد المطبق. يمكن للسيراميك الكهرضغطية تحويل إشارات الجهد التي تتراوح من 1mV إلى 1000V إلى إزاحات تتراوح من أعشار نانومتر إلى عدة ميكرومتر.

القوة وطريقة العمل لمجهر القوة الذرية (AFM)

هناك العديد من قوى التفاعل المختلفة بين طرف AFM والعينة ، والتي تم سردها في الجدول التالي. وفقًا للقوى المختلفة ، يمكن تمديد AFM إلى مجموعة متنوعة من أوضاع العمل: وضع الطور ، والوضع المغناطيسي ، ووضع القوة الكهروستاتيكية ، والمقاومة الممتدة ، والقوة الجانبية ، وتعديل القوة ، إلخ.

يتم تصنيف أوضاع عمل AFM في شكل القوة بين المسبار والعينة. هناك ثلاثة أوضاع تشغيل رئيسية: وضع الاتصال ووضع عدم الاتصال ووضع التنصت.

وضع الاتصال

وضع الاتصال هو وضع التصوير الأكثر مباشرة في AFM. أثناء عملية التصوير بالمسح بالكامل ، يكون طرف المجس دائمًا على اتصال وثيق بسطح العينة ، وتكون قوة التفاعل بين الاثنين قوة طاردة ، ويتراوح حجم القوة من 10-10 إلى 10-6 نيوتن. أثناء المسح ، فإن القوة التي يمارسها الكابول على الطرف لديها القدرة على إتلاف بنية سطح العينة ، وبالتالي. وضع الاتصال غير مناسب لاختبار العينات ذات الأسطح الناعمة.

مزايا:سرعة المسح السريع ، الوضع الوحيد الذي يمكنه الحصول على صور "الدقة الذرية".
العيب:تؤثر القوة الجانبية على جودة الصورة. في الهواء ، بسبب العمل الشعري للطبقة السائلة الممتصة على سطح العينة ، يكون الالتصاق بين طرف الإبرة والعينة كبيرًا جدًا. تؤدي القوة المشتركة للقوة الجانبية وقوة الالتصاق إلى انخفاض الدقة المكانية للصورة. أيضًا ، قد يؤدي خدش العينة بالطرف إلى إتلاف العينات اللينة (مثل العينات البيولوجية والبوليمرات وما إلى ذلك).

وضع عدم الاتصال

عندما يتم فحص سطح العينة في وضع عدم الاتصال ، يتذبذب ناتئ على مسافة 5-10 نانومتر فوق سطح العينة. في هذا الوقت ، يتم التحكم في التفاعل بين العينة وطرف الإبرة بواسطة قوة فان دير فالس ، عادةً 10-12 نيوتن ، لن يتم إتلاف العينة ، ولن يكون طرف الإبرة ملوثًا ، ومناسب بشكل خاص لدراسة السطح من الأشياء الناعمة. عيب وضع التشغيل هذا هو أنه من الصعب جدًا تحقيق هذا الوضع في جو درجة حرارة الغرفة. نظرًا لأن طبقة رقيقة من الماء تتراكم حتمًا على سطح العينة ، فإنها تخلق جسرًا شعريًا صغيرًا بين العينة والطرف ، مما يؤدي إلى سحب الطرف والسطح معًا ، مما يزيد من ضغط الطرف على السطح.

ميزة:لا توجد قوة تعمل على سطح العينة.
العيب:عادة ما تستخدم فقط للعينات التي تخاف بشدة من الماء. نظرًا لفصل طرف الإبرة عن العينة ، فإن الدقة الجانبية منخفضة ؛ من أجل تجنب ملامسة طبقة الامتزاز والتسبب في التصاق طرف الإبرة ، تكون سرعة المسح أقل من تلك الخاصة بوضع التنصت ووضع الاتصال AFM ، ويجب أن تكون طبقة الامتصاص السائلة على سطح العينة رفيعة جدًا ، إذا كانت كذلك سميكة ، يمكن أن يغوص طرف الإبرة في الطبقة السائلة ، مما يتسبب في عدم استقرار ردود الفعل وخدش العينة.

وضع التنصت

يكون وضع النقر بين وضع الاتصال ووضع عدم الاتصال ، وهو مفهوم مختلط. يتأرجح الكابولي بتردد الرنين فوق سطح العينة ويلامس الطرف / ينقر فقط سطح العينة لفترة وجيزة وبشكل دوري. هذا يعني أن القوة الجانبية الناتجة عن الطرف الملامس للعينة تقل بشكل كبير. لذلك ، يعد وضع التنصت في AFM أحد أفضل الخيارات عند اكتشاف عينات العطاء. بمجرد أن يبدأ AFM في تصوير العينة ومسحها ضوئيًا ، سيقوم الجهاز بعد ذلك بإدخال البيانات ذات الصلة في النظام ، مثل خشونة السطح ، ومتوسط الارتفاع ، والحد الأقصى للمسافة بين القمم والوديان ، وما إلى ذلك ، لتحليل سطح الكائن. في الوقت نفسه ، يمكن لـ AFM أيضًا إكمال عمل قياس القوة ، وقياس درجة الانحناء للناتئ لتحديد القوة بين الطرف والعينة.

مزايا:يتم التخلص من تأثير القوة الجانبية جيدًا ، ويتم تقليل القوة الناتجة عن طبقة الامتصاص السائلة ، وتكون دقة الصورة عالية. مثالية لعرض العينات اللينة أو الهشة أو اللزجة دون الإضرار بالسطح.
العيب:سرعة مسح أبطأ من وضع الاتصال.

مجالات تطبيق مجهر القوة الذرية (AFM)

علم المواد:التشكل السطحي ، الخشونة ، الخواص الميكانيكية ، الخواص الكهربائية المحلية ، وما إلى ذلك للمواد الدقيقة النانوية ، بما في ذلك بشكل أساسي المعادن ، والسبائك ، والأغشية الرقيقة ، والبلورات ، والسيراميك ، والبوليمرات ، والمواد المركبة ، وما إلى ذلك ؛

أشباه الموصلات والإلكترونيات الدقيقة:هيكل ثلاثي الأبعاد لسطح الرقاقة أو الرقاقة ، الخشونة ، كشف الخلل ، الخواص الكهربائية المحلية ، إلخ ؛

علم الأحياء والطب:الحمض النووي والبروتين والخلية والفيروسات والتصوير والبحث البيولوجي الجزيئي في الموقع ، وما إلى ذلك ؛
الفيزياء والكيمياء: كشف التركيب الذري لسطح المادة ، ودراسة قوة التفاعل بين الذرات ، والتفاعلات الكيميائية السطحية ، ومراقبة التغيرات على المستوى الذري للتفاعلات الكيميائية ، وما إلى ذلك ؛

تعليم التدريس بالنانو:تدريس تكنولوجيا النانو ، ومراقبة الهياكل النانوية على سطح المواد ، وتعلم المعرفة النظرية الأساسية للنانومتر ، وتنمية اهتمام الطلاب بالبحث العلمي ، إلخ.

ميزة مجهر القوة الذرية (AFM)

• يمكن أن يقوم AFM بتصوير ثلاثي الأبعاد ، وله دقة عالية للغاية في كلا الاتجاهين الجانبي والرأسي ، والتي يمكن أن تصل إلى 0.2 نانومتر في الاتجاه الجانبي و 0.05 نانومتر في الاتجاه الرأسي ؛

• يحصل AFM على صورة ثلاثية الأبعاد حقيقية في الوقت الحقيقي لسطح العينة ، والتي تختلف عن بعض الأدوات التحليلية التي تستنتج بنية سطح العينة من خلال بعض خوارزميات البرامج ؛

• لا يوجد لدى AFM أي قيود على الانعكاسية والتوصيلية للعينات المرصودة. يمكنه قياس العينات الموصلة والعينات غير الموصلة والعينات البيولوجية.

• بيئة استخدام AFM فضفاضة ، ويمكن أن تعمل ليس فقط في الفراغ ، ولكن أيضًا في الغلاف الجوي ، ودرجة الحرارة المنخفضة ، ودرجة الحرارة العادية ، ودرجة الحرارة المرتفعة ، وحتى في المحلول ؛

• لا يتطلب AFM تقنية خاصة لإعداد العينات ، وعملية الكشف لا تلحق الضرر بالعينة ؛

• بالإضافة إلى مراقبة الشكل ثلاثي الأبعاد ، والخشونة ، وحجم الجسيمات ، وسمك الفيلم ، وعيوب السطح ، وما إلى ذلك لسطح العينة ، يمكن لـ AFM أيضًا اكتشاف الخصائص الميكانيكية والكهربائية والحرارية للمواد المجهرية.

• نماذج مجهر القوة الذرية البصري Edu (AFM)

A64.4500 المستوى التعليمي ، مجهر القوة الذرية (AFM)

مستوى التدريس وحدة تحكم منفصلة وتصميم الجسم الرئيسي ، مع وضع التنصت ، 4 × الهدف ، نموذج اقتصادي للتدريس.

◆ تصميم مصغر وقابل للفصل ، يسهل حمله وتعليمه

تم دمج رأس الكشف عن الليزر ومرحلة مسح العينة ، والهيكل مستقر للغاية ، ومقاومة التداخل قوية

◆ جهاز تحديد موقع المسبار الدقيق ، ضبط محاذاة البقعة بالليزر سهل للغاية

◆ تقترب عينة القيادة أحادية المحور تلقائيًا من المسبار عموديًا ، بحيث يكون طرف الإبرة متعامدًا مع فحص العينة

طريقة التغذية بالإبرة الذكية للكشف التلقائي عن السيراميك الكهروضغطي المضغوط المضغوط الذي يتم التحكم فيه عن طريق المحرك يحمي المسبار والعينة

◆ تحديد المواقع البصري التلقائي ، لا حاجة للتركيز ، والمراقبة في الوقت الحقيقي وتحديد موقع منطقة مسح عينة التحقيق

◆ طريقة تعليق الربيع للصدمات ، بسيطة وعملية ، تأثير جيد للصدمات

◆ محرر مستخدم تصحيح غير خطي للماسح الضوئي المدمج ، توصيف نانومتر ودقة قياس أفضل من 98٪

انقر لمشاهدة تفاصيل A62.4500

A62.4501 المستوى الأساسي ، مجهر القوة الذرية (AFM)

المستوى الأساسي ، وحدة تحكم منفصلة وتصميم الجسم الرئيسي ، مع وضع الاتصال ، وضع التنصت ، هدف 4x.

1. تم دمج مسبار المسح ومرحلة العينة ، والقدرة على مقاومة التداخل قوية ؛

2. جهاز تحديد المواقع بالليزر والمسبار بدقة ، من السهل والمريح استبدال المسبار وضبط البقعة.

3. استخدم طريقة فحص تقترب العينة ، بحيث يكون طرف الإبرة متعامدًا مع مسح العينة ؛

4. إن التحكم الأوتوماتيكي في النبض للمحرك يقود العينة إلى الاقتراب من المسبار عموديًا لتحقيق تحديد موقع دقيق لمنطقة المسح ؛

5. 4X تحديد المواقع البصرية للعدسة الموضوعية ، لا حاجة للتركيز ، والمراقبة في الوقت الحقيقي وتحديد موقع منطقة مسح عينة التحقيق ؛

6. طريقة التعليق الزنبركي المقاومة للصدمات بسيطة وعملية ، ولها قدرة قوية على مقاومة التداخل.

انقر لمشاهدة تفاصيل A62.4501

A62.4503 مستوى البحث ، مجهر القوة الذرية (AFM) ، تصميم الكل في واحد

مستوى البحث ، وحدة التحكم المدمجة وتصميم الجسم الرئيسي ، مع وضع الاتصال ، وضع التنصت ، هدف 10x.

1. تم دمج مسبار المسح ومرحلة العينة ، والقدرة على مقاومة التداخل قوية ؛

2. جهاز تحديد المواقع بالليزر والمسبار بدقة ، من السهل والمريح استبدال المسبار وضبط البقعة.

3. استخدم طريقة فحص تقترب العينة ، بحيث يكون طرف الإبرة متعامدًا مع مسح العينة ؛

4. يمكن اختيار الماسحات الضوئية الخزفية الكهروإجهادية عالية الدقة وذات المقياس الكبير وفقًا لدقة مختلفة ومتطلبات نطاق المسح.

5. تحديد المواقع البصرية من العدسة الموضوعية 10X APO ، لا حاجة للتركيز ، والمراقبة في الوقت الحقيقي وتحديد المواقع من منطقة مسح عينة التحقيق ؛

6. طريقة التعليق الزنبركي المقاومة للصدمات بسيطة وعملية ، ولها قدرة قوية على مقاومة التداخل.

انقر لمشاهدة تفاصيل A62.4503

A62.4505 بصري + مجهر القوة الذرية

مجهر بصري مدمج + AFM All-in-One ، A62.4505 يحتوي على خطة Infinity LWD APO الموضوعية 5x10x20x50x ، عدسة 10x ، كاميرا رقمية 5.0M ، شاشة LCD 10 بوصة مع وظيفة القياس ، إضاءة LED kohler لمشاهدة العينة تحت كل من الوضع البصري و وضع AFM.

1. تصميم متكامل للمجهر الضوئي ومجهر القوة الذرية ، تحكم كهروضوئي متكامل ؛

2. له وظائف تصوير مجهر القوة الضوئية والذرية ، وكلاهما يمكن مسحه وتصويره في نفس الوقت دون التأثير على بعضهما البعض.

3. في نفس الوقت ، له وظائف القياس البصري ثنائي الأبعاد والقياس ثلاثي الأبعاد لمجهر القوة الذرية.

4. تم اعتماد تصميم المسار البصري العمودي ، ويمكن استخدام حامل المجس الغازي السائل ثنائي الغرض في الهواء أو السائل في نفس الوقت ؛

5. يتم استخدام نظام تحديد المواقع البصري عالي التكبير لتحقيق تحديد المواقع بدقة للمسبار ومنطقة مسح العينة.

6. يمكن لطريقة تعديل بقعة الليزر المحمولة مراقبة وضبط البقعة في الوقت الحقيقي من خلال نافذة CCD البصرية.

7. مُجهزة بطاولة امتصاص الصدمات الهوائية ، والتي تتمتع بقدرة قوية على مقاومة التداخل ولا تؤثر على تشغيل الجهاز ؛

انقر لمشاهدة تفاصيل A62.4505

مجهر القوة الذرية من نوع Opto-Edu (AFM)

A62.4510 مسبار مسح القوة الذرية المجهر

A62.4511 مجهر القوة الذرية لمسح الطائرة

A62.4510 + مرحلة مسح التحول الكهرضغطية = A62.4511

◆ أول مجهر للقوة الذرية في الصين لإبقاء العينة ثابتة والمسبار يتحرك ويمسح ؛

◆ أول جهاز في الصين يستخدم ماسح ضوئي متحرك للضغط مستقل ثلاثي المحاور مغلق الحلقة ، يمكنه المسح بدقة عالية في نطاق واسع ؛

◆ حجم العينة ووزنها غير محدود بشكل أساسي ، ومناسبين بشكل خاص لاكتشاف العينات الكبيرة ؛ عينة مجال الاهتمام ؛

تصميم رأس المسح الضوئي العملاقة ، قاعدة رخامية ، مرحلة الامتزاز بالفراغ ؛

◆ طريقة التغذية الذكية بالإبرة مع الكشف التلقائي عن السيراميك الكهروضغطي الذي يتحكم فيه المحرك لحماية المجسات والعينات ؛

◆ تحديد المواقع البصرية التلقائي ، لا حاجة لضبط التركيز ، والمراقبة في الوقت الحقيقي وتحديد منطقة مسح عينة التحقيق ؛

◆ مجهزة بدرع معدني مغلق ، وطاولة امتصاص الصدمات الهوائية ، وقدرة قوية على مقاومة التدخل ؛

◆ محرر مستخدم للتصحيح اللاخطي للماسح الضوئي المدمج ، توصيف النانومتر ودقة القياس أفضل من 98٪.

انقر لمشاهدة تفاصيل A62.4510
انقر لمشاهدة تفاصيل A62.4511

عينة من صور مجهر القوة الذرية (AFM)