ab

Atom Kuvvet Mikroskobu (AFM) Nasıl Seçilir?

Mikroskopların Gelişiminin Kısa Tarihi

• Birinci nesil:Optik mikroskop(17. yüzyılda icat edildi)

• İkinci Nesil: Elektron Mikroskobu (1932)

1933'te Ruska ve Knoll, Almanya: ilk taramalı elektron mikroskobu (SEM), yüksek vakum gerektiren ve atomları ayırt edemeyen;
Transmisyon elektron mikroskobu (TEM), ince tabaka numunelerin yüksek vakum, yığın ve arayüz çalışmaları, yüksek fiyat;
Alan elektron mikroskobu (fem) ve alan iyon mikroskobu (FEM), r<100nm ucundaki atomik yapıyı tespit eder ve numune hazırlama karmaşıktır;

• Üçüncü Nesil: Tarama Probu Mikroskobu(SPM) (1982)

1982 IBM Zurich Laboratory ve Binnig Rohrer, ilk yeni tip yüzey analiz cihazı - Taramalı Tünel Açma Mikroskobu (STM);
1986 Binnig, Quate ve Gerber ilk atomik mikroskobu (AFM) icat etti.

Diğer Mikroskoplarla Karşılaştırıldığında Taramalı Prob Mikroskobu (SPM)

Şu anda ana mikroskobik analiz teknikleri:

Birinci nesil:Optik mikroskop(Girişim, Konfokal ve Dijital Holografi dahil)
İkinci nesil:Elektron mikroskobu(Daha çokSEMveTEM)
Üçüncü Nesil: Tarama Probu Mikroskobu(SPM)

Üç Nesil Mikroskopların Çözünürlüklerinin Karşılaştırılması

Tarama Probu Mikroskobu (SPM) Nedir?

Taramalı Prob Mikroskobu (SPM), adından da anlaşılacağı gibi üçüncü nesil mikroskoptur, tarama + prob + mikroskoptur. SPM'nin prensibi, bir tarama çizgisi ile numunenin yüzeyini taramak için bir prob kullanmak ve numunenin yüzey özelliklerini kaydetmek ve prob ile numune arasındaki etkileşimi algılayarak bir görüntü elde etmektir.

Taramalı Prob Mikroskobunun (SPM) Sınıflandırılması

Prob ve numune arasındaki algılama kuvvetindeki farka göre,Tarama Probu Mikroskobu (SPM)olmak üzere iki kategoriye ayrılabilir.Taramalı Tünel Mikroskobu (STM)algılamak için akımı kullanan veAtomik Kuvvet Mikroskobu (AFM), algılamak için farklı kuvvetler kullanır.

AFMayrıca farklı kuvvetlere göre manyetik kuvvet mikroskobu, sürtünme kuvveti mikroskobu, yanal kuvvet mikroskobu, kimyasal kuvvet mikroskobu, elektrostatik kuvvet mikroskobu ve diğer tiplere ayrılabilir.

Arasındaki farklarSTMveAFMuygulamalar:

Taramalı Tünel Mikroskobu (STM) esas olarak iletkenlerin incelenmesi için kullanılır,
Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM) sadece iletkenlerin incelenmesi için değil, aynı zamanda iletken olmayanların incelenmesi için de kullanılabilir.

Alan Derinliği, Farklı Mikroskoplardan Örnek Hazırlama

Taramalı Prob Mikroskopunun (SPM) Avantajları ve Dezavantajları

Yeni bir mikroskop aracı türü olarak SPM, önceki mikroskop analiz araçlarına kıyasla belirgin avantajlara sahiptir:

• SPM, örnek yüzey yönüne paralel ve dik olan STM gibi son derece yüksek çözünürlüğe sahiptir, 0.1nm ve 0.01nm'ye ulaşabilir.

• SPM, numunenin yüzey yapısını tahmin etmek için dolaylı veya hesaplamalı yöntemlerle bazı analitik araçlardan farklı olan numune yüzeyinin gerçek zamanlı, yüksek çözünürlüklü 3D görüntüsünü elde eder.

• SPM, yüzey kusurlarının, yüzey yeniden şekillenmesinin, yüzey adsorbatlarının morfolojisinin ve konumunun ve adsorbanların neden olduğu yüzey yeniden şekillenmesinin doğrudan gözlemlenmesini sağlar.

• SPM'nin kullanım ortamı gevşektir, sadece vakumda değil, atmosferde, düşük sıcaklıkta, normal sıcaklıkta, yüksek sıcaklıkta ve hatta çözeltide bile çalışabilir.

• SPM, özel numune hazırlama teknikleri gerektirmez ve tespit işlemi numune için temel olarak zararsızdır.

• Taramalı tünelleme spektroskopisi ile bağlantılı olarak, yüzeyin farklı seviyelerindeki durumların yoğunluğu, yüzey elektron tuzakları, yüzey potansiyel bariyerlerindeki değişiklikler vb. gibi yüzey yapısı hakkında bilgiler elde edilebilir.

• Aynı zamanda SPM'nin bazı dezavantajları da vardır.

• Tarama hızı. Çalışma prensibi, tarama görüntüleme için belirli bir kalitede bir probu kontrol etmek olduğundan, tarama hızı sınırlıdır ve tespit verimliliği diğer mikroskopi yöntemlerine göre daha düşüktür.

• Tarama aralığı. Piezoelektrik seramiklerin esneme aralığı ile sınırlı olan SPM'nin maksimum tarama aralığı, onlarca ila yüzlerce mikron aralığındadır.

• Konumlandırma doğruluğu. Piezoelektrik seramikler, konumlandırma doğruluğunu sağlama öncülüğünde küçük bir hareket aralığına sahip olduklarından ve mekanik ayar doğruluğu buna bağlanamadığından, elektron mikroskopları gibi büyük ölçekli sürekli yakınlaştırma elde edemez ve yerini bulmak ve karakteristik bulmak zordur. yapılar.

• Örnek yüzey pürüzlülüğü. Boru şeklindeki piezoelektrik tarayıcılar günümüzde yaygın olarak kullanılmaktadır ve dikey esneme aralığı düzlemsel tarama aralığının 1/10'u kadardır. Test edilecek numunenin yüzey dalgalanması, tarama tüpünün genişleme ve büzülme aralığını aşarsa, sistemin arızalanmasına ve hatta proba zarar vermesine neden olur.

• İğne keskinliği. Sistem numuneyi tararken probun hareket yörüngesini algılayarak yüzey topografyasını çıkardığı için probun geometrik genişliği, eğrilik yarıçapı ve anizotropisi görüntü bozulmasına neden olacaktır.

Atomik Kuvvet Mikroskobunun (AFM) Temel Prensipleri

Zayıf kuvvete karşı son derece hassas olan konsolun bir ucu sabitlenmiş, diğer ucu ise küçük bir iğne ucuna sahiptir. İğne ucu numune yüzeyi ile hafif temas halindedir. İğne ucundaki atomlar ile numune yüzeyindeki atomlar arasındaki son derece zayıf itme kuvveti nedeniyle, tarama sırasında bunu kontrol ederek. Kuvvet sabit olduğunda, ucu olan konsol, uç ile numunenin yüzey atomları arasındaki kuvvetin eş düzlemine karşılık gelen numunenin yüzeyine dik yönde dalgalanacaktır. Optik algılama yöntemi veya tünel akımı algılama yöntemi kullanılarak, her bir tarama noktasına karşılık gelen mikro konsolun konum değişikliği ölçülebilir, böylece numunenin yüzey topografyası bilgisi elde edilebilir.

Atomik Kuvvet Mikroskobunun (AFM) Bileşimi ve Çalışma Şeması

Atomik kuvvet mikroskobu AFM sistemi dört bölüme ayrılmıştır: kuvvet algılama bölümü, konum algılama bölümü, geri besleme elektronik sistemi, piezoelektrik tarama sistemi.

1. Kuvvet Algılama Konsolu

Bir atomik kuvvet mikroskobu (AFM) sisteminde, tespit edilecek kuvvet, atomlar arasındaki van der Waals kuvvetidir. Yani bu sistemde, atomlar arasındaki kuvvet değişimini tespit etmek için küçük bir konsol (Konsol) kullanılır. Küçük konsolun uzunluğu, genişliği, elastik modülü ve ucun şekli gibi belirli özellikleri vardır ve bu özelliklerin seçimi numunenin özelliklerine ve farklı çalışma modlarına dayanır ve farklı tipte problar seçilir.

2. Pozisyona Duyarlı Fotodedektör

İğne ucu numune ile etkileşime girdiğinde, konsol sallanacaktır, bu nedenle lazer konsolun ucunu ışınladığında, konsolun sallanması nedeniyle yansıyan ışığın konumu da değişecektir. , bu da bir ofset ile sonuçlanır. Tüm sistemde, ofseti kaydetmek ve kontrolörün sinyal işleme yapması için bunu bir elektrik sinyaline dönüştürmek için lazer nokta konum dedektörü kullanılır.

3. Geri Besleme Elektronik Sistemi: Geri Besleme Döngüsü

AFM geri besleme kontrolü bilgisayar sistemi ve elektronik devre ile tamamlanır. AFM'nin çalışması, yüksek hızlı ve güçlü bilgisayarın kontrolü altında gerçekleştirilir. Kontrol sisteminin iki ana işlevi vardır: (1) Piezoelektrik dönüştürücünün XY yönü taramasını kontrol etmek için tahrik voltajını sağlamak; (2) Sabit kuvvet modunda mikroskop algılama döngüsünden gelen analog giriş sinyalinin sabit bir değerini koruyun. Bilgisayar, A/D dönüşümü yoluyla döngü voltajını (yani, ayarlanan değer ile gerçek ölçülen değer arasındaki farkı) okur ve karşılaştırır. Farklı voltaj değerlerine göre, kontrol sistemi, A/D dönüştürücüye okunan sapmayı düzeltmek için piezoelektrik sensörün genişleme ve büzülmesini ayarlamak için sürekli olarak karşılık gelen voltajı verir, böylece karşılaştırma döngüsünün çıkış voltajını korur devamlı.
Elektronik devre sistemi, bilgisayarı ve tarama sistemini birbirine bağlama rolünü oynar. Elektronik devre, piezoelektrik seramik tüp için voltaj sağlar, konuma duyarlı cihazdan sinyal alır ve iğne ucu ile numune arasındaki mesafeyi kontrol etmek için bir geri besleme sistemi oluşturur.

4. Piezoelektrik Tarayıcı

Numunenin AFM taramasının hassas kontrolü tarayıcı tarafından sağlanır. Tarayıcıya bir piezoelektrik dönüştürücü yerleştirilmiştir ve piezoelektrik cihaz, numunenin veya sondanın konumunu X, Y ve Z'nin üç yönünde hassas bir şekilde kontrol eder.
Şu anda, tarayıcının matris malzemesi esas olarak kurşun zirkonat titanattan [Pb(Ti,Zr)O3] yapılmış bir piezoelektrik seramik malzemedir. Piezoelektrik seramiklerin piezoelektrik etkisi vardır, yani bir voltaj uygulandığında büzülme özelliklerine sahiptirler ve büzülme derecesi uygulanan voltajla orantılıdır. Piezoelektrik seramikler, 1mV ile 1000V arasında değişen voltaj sinyallerini bir nanometrenin onda biri ile birkaç mikrometre arasında değişen yer değiştirmelere dönüştürebilir.

Atomik Kuvvet Mikroskobunun (AFM) Kuvvet ve Çalışma Modu

AFM'nin ucu ile numune arasında aşağıdaki tabloda listelenen birkaç farklı etkileşim kuvveti vardır. Farklı kuvvetlere göre, AFM çeşitli çalışma modlarına genişletilebilir: faz modu, manyetik mod, elektrostatik kuvvet modu, genişletilmiş direnç, yanal kuvvet, kuvvet modülasyonu vb.

AFM'nin çalışma modları, prob ve numune arasındaki kuvvet şeklinde sınıflandırılır. Üç ana çalışma modu vardır: Temas Modu, Temassız Mod ve Dokunma Modu.

İletişim Modu

Temas modu, AFM'nin en doğrudan görüntüleme modudur. Tüm tarama görüntüleme işlemi sırasında, prob ucu her zaman numune yüzeyi ile yakın temas halindedir ve ikisi arasındaki etkileşim kuvveti bir itme kuvvetidir ve kuvvetin büyüklüğü 10-10 ila 10-6N arasında değişir. Tarama sırasında, konsol tarafından uç üzerine uygulanan kuvvet, bu nedenle numunenin yüzey yapısına zarar verme potansiyeline sahiptir. Temas modu, yumuşak yüzeyli numuneleri test etmek için uygun değildir.

Avantajlar:Hızlı tarama hızı, "atomik çözünürlükte" görüntüler elde edebilen tek mod.
dezavantaj:Yanal kuvvet görüntü kalitesini etkiler. Havada, numune yüzeyinde adsorbe edilen sıvı tabakasının kılcal etkisi nedeniyle, iğne ucu ile numune arasındaki yapışma çok büyüktür. Yanal kuvvet ve yapışkan kuvvetin birleşik kuvveti, görüntünün uzamsal çözünürlüğünde bir azalmaya yol açar. Ayrıca numunenin uç ile çizilmesi yumuşak numunelere (biyolojik numuneler, polimerler vb.) zarar verebilir.

Temassız Mod

Numune yüzeyi temassız modda problandığında, konsol numune yüzeyinin 5-10 nm üzerinde salınım yapar. Şu anda, numune ve iğne ucu arasındaki etkileşim, genellikle 10 - 12 N olan van der Waals kuvveti tarafından kontrol edilir, numune tahrip olmaz ve iğne ucu kontamine olmaz, özellikle yüzeyi incelemek için uygundur yumuşak nesneler. Bu çalışma modunun dezavantajı, bu modun oda sıcaklığındaki atmosferde elde edilmesinin çok zor olmasıdır. Numunenin yüzeyinde kaçınılmaz olarak ince bir su tabakası biriktiğinden, numune ile uç arasında küçük bir kılcal köprü oluşturarak ucu ve yüzeyi birbirine çekerek, ucun yüzeye olan basıncını arttırır.

Avantaj:Numune yüzeyine hiçbir kuvvet etki etmez.
dezavantaj:Genellikle sadece sudan çok korkan numuneler için kullanılır. İğne ucu numuneden ayrıldığı için yanal çözünürlük düşüktür; Adsorpsiyon tabakası ile teması önlemek ve iğne ucunun yapışmasına neden olmak için, tarama hızı, Vurma Modu ve Temas Modu AFM'den daha düşüktür ve numune yüzeyindeki adsorpsiyon sıvısı tabakası, eğer çok ince ise, çok ince olmalıdır. kalın, iğne ucu sıvı katmana batabilir, bu da geri besleme dengesizliğine ve numunenin çizilmesine neden olabilir.

Dokunma Modu

Dokunma modu, temas modu ile hibrit bir konsept olan temassız mod arasındadır. Konsol, numune yüzeyinin üzerinde kendi rezonans frekansında salınır ve uç, numune yüzeyine yalnızca kısa süreli ve periyodik olarak dokunur/dokunur. Bu, numuneye temas eden uç tarafından oluşturulan yanal kuvvetin önemli ölçüde azaldığı anlamına gelir. Bu nedenle, ihale numunelerini tespit ederken AFM'nin kılavuz çekme modu en iyi seçeneklerden biridir. AFM numuneyi görüntülemeye ve taramaya başladığında, cihaz daha sonra nesnenin yüzey analizi için yüzey pürüzlülüğü, ortalama yükseklik, tepeler ve vadiler arasındaki maksimum mesafe vb. gibi ilgili verileri sisteme girecektir. Aynı zamanda AFM, uç ile numune arasındaki kuvveti belirlemek için konsolun bükülme derecesini ölçerek kuvvet ölçüm işini de tamamlayabilir.

Avantajlar:Yanal kuvvetin etkisi iyi bir şekilde ortadan kaldırılır, adsorpsiyon sıvı tabakasının neden olduğu kuvvet azalır ve görüntü çözünürlüğü yüksektir. Yüzeye zarar vermeden yumuşak, kırılgan veya yapışkan numuneleri görüntülemek için idealdir.
dezavantaj:temas modundan daha yavaş tarama hızı.

Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM) Uygulama Alanları

Malzeme Bilimi:Esas olarak metaller, alaşımlar, ince filmler, kristaller, seramikler, polimerler, kompozit malzemeler vb. dahil olmak üzere mikro-nano malzemelerin yüzey morfolojisi, pürüzlülüğü, mekanik özellikleri, yerel elektriksel özellikleri vb.;

Yarı iletken ve mikroelektronik:Çip veya gofret yüzeyinin 3 boyutlu yapısı, pürüzlülük, kusur tespiti, yerel elektriksel özellikler vb.;

Biyoloji ve tıp:DNA, protein, hücre, virüs, biyolojik makromoleküler in situ görüntüleme ve araştırma vb.;
Fizik ve Kimya: Malzeme yüzeyinin atomik yapısını tespit edin, atomlar arasındaki etkileşim kuvvetini, yüzey kimyasal reaksiyonlarını inceleyin, kimyasal reaksiyonların atomik düzeydeki değişikliklerini gözlemleyin, vb.;

Nano öğretim eğitimi:nanoteknoloji öğretimi, malzemelerin yüzeyindeki nanoyapıları gözlemleme, nanometrelerin temel teorik bilgilerini öğrenme ve öğrencilerin bilimsel araştırmalara olan ilgilerini geliştirme vb.

Atomik Kuvvet Mikroskobunun (AFM) Avantajı

• AFM, üç boyutlu görüntüleme yapabilen, hem yanal hem de dikey yönlerde son derece yüksek çözünürlüğe sahip olup, yanal yönde 0,2 nm'ye ve dikey yönde 0,05 nm'ye ulaşabilmektedir;

• AFM, bazı yazılım algoritmaları aracılığıyla numunenin yüzey yapısını çıkaran bazı analitik araçlardan farklı olarak, numune yüzeyinin gerçek zamanlı, gerçek üç boyutlu görüntüsünü elde eder;

• AFM'nin gözlemlenen örneklerin yansıtma ve iletkenliği konusunda herhangi bir kısıtlaması yoktur. İletken numuneleri, iletken olmayan numuneleri ve biyolojik numuneleri ölçebilir.

• AFM'nin kullanım ortamı gevşektir, sadece vakumda değil, atmosferde, düşük sıcaklıkta, normal sıcaklıkta, yüksek sıcaklıkta ve hatta çözeltide bile çalışabilir;

• AFM, özel numune hazırlama teknolojisi gerektirmez ve tespit süreci temelde numuneye zarar vermez;

• Numune yüzeyinin üç boyutlu morfolojisini, pürüzlülüğünü, parçacık boyutunu, film kalınlığını, yüzey kusurlarını vb. gözlemlemeye ek olarak, AFM ayrıca mikroskobik maddelerin mekanik, elektriksel ve termal özelliklerini de tespit edebilir.

• Opto-Edu Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM) Modelleri

A64.4500 Öğretim Düzeyi, Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM)

Öğretim Düzeyi Ayrı kontrolör ve ana gövde tasarımı, Dokunma Modu, 4x Amaç, öğretim için ekonomik model.

◆ Minyatür ve çıkarılabilir tasarım, taşıması ve öğretmesi çok kolay

◆ Lazer algılama kafası ve numune tarama aşaması entegre edilmiştir, yapı çok kararlıdır ve parazit önleyici güçlüdür

◆ Hassas prob konumlandırma cihazı, lazer nokta hizalama ayarı çok kolaydır

◆ Tek eksenli sürücü numunesi, iğne ucunun numune taramasına dik olması için otomatik olarak proba dikey olarak yaklaşır

◆ Motor kontrollü basınçlı piezoelektrik seramik otomatik algılamanın akıllı iğne besleme yöntemi, probu ve numuneyi korur

◆ Otomatik optik konumlandırma, odaklanmaya gerek yok, gerçek zamanlı gözlem ve prob numunesi tarama alanının konumlandırılması

◆ Yaylı süspansiyon darbeye dayanıklı yöntem, basit ve pratik, iyi darbeye dayanıklı etki

◆ Entegre tarayıcı doğrusal olmayan düzeltme kullanıcı editörü, nanometre karakterizasyonu ve ölçüm doğruluğu %98'den daha iyi

A62.4500 detaylarını görmek için tıklayın

A62.4501 Temel Seviye, Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM)

Temel Seviye, Ayrı kontrolör ve ana gövde tasarımı, Temas Modu, Dokunma Modu, 4x Hedef ile.

1. Tarama probu ve numune aşaması entegre edilmiştir ve parazit önleme özelliği güçlüdür;

2. Hassas lazer ve prob konumlandırma cihazı, probu değiştirmek ve noktayı ayarlamak basit ve kullanışlıdır;

3. İğne ucunun numune taramasına dik olması için numuneye yaklaşan prob yöntemini kullanın;

4. Motorun otomatik darbe kontrolü, tarama alanının hassas konumlandırılmasını sağlamak için numuneyi sondaya dikey olarak yaklaşmaya yönlendirir;

5. 4X objektif lens optik konumlandırma, odaklanmaya gerek yok, prob numunesi tarama alanının gerçek zamanlı gözlemi ve konumlandırılması;

6. Yaylı süspansiyon darbeye dayanıklı yöntem basit ve pratiktir ve güçlü parazit önleme özelliğine sahiptir.

A62.4501 detaylarını görmek için tıklayın

A62.4503 Araştırma Düzeyi, Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM), Hepsi Bir Arada Tasarım

Temas Modu, Dokunma Modu, 10x Hedef ile Araştırma Seviyesi, Kombine kontrolör ve ana gövde tasarımı.

1. Tarama probu ve numune aşaması entegre edilmiştir ve parazit önleme özelliği güçlüdür;

2. Hassas lazer ve prob konumlandırma cihazı, probu değiştirmek ve noktayı ayarlamak basit ve kullanışlıdır;

3. İğne ucunun numune taramasına dik olması için numuneye yaklaşan prob yöntemini kullanın;

4. Yüksek hassasiyetli ve büyük ölçekli piezoelektrik seramik tarayıcılar, farklı doğruluk ve tarama aralığı gereksinimlerine göre seçilebilir;

5. 10X APO objektif lensinin optik konumlandırması, odaklanmaya gerek yok, prob numunesi tarama alanının gerçek zamanlı gözlemi ve konumlandırılması;

6. Yaylı süspansiyon darbeye dayanıklı yöntem basit ve pratiktir ve güçlü parazit önleme özelliğine sahiptir.

A62.4503 detaylarını görmek için tıklayın

A62.4505 Optik + Atomik Kuvvet Mikroskobu

Kombine optik mikroskop + AFM Hepsi Bir Arada, A62.4505, Infinity Plan LWD APO objektifi 5x10x20x50x, Mercek 10x, 5.0M Dijital Kamera, ölçüm fonksiyonlu 10" LCD Monitör, numuneyi hem optik modda hem de optik modda izlemek için LED kohler aydınlatmaya sahiptir. AFM modu.

1. Optik mikroskop ve atomik kuvvet mikroskobunun entegre tasarımı, entegre fotoelektrik kontrol;

2. Birbirini etkilemeden aynı anda taranabilen ve görüntülenebilen hem optik hem de atomik kuvvet mikroskobu görüntüleme işlevlerine sahiptir;

3. Aynı zamanda, optik iki boyutlu ölçüm ve atomik kuvvet mikroskobu üç boyutlu ölçüm işlevlerine sahiptir;

4. Dikey optik yol tasarımı benimsenmiştir ve gaz-sıvı çift amaçlı prob tutucu aynı anda hava veya sıvı içinde kullanılabilir;

5. Yüksek büyütmeli optik konumlandırma sistemi, prob ve numune tarama alanının hassas konumlandırılmasını sağlamak için kullanılır;

6. Taşınabilir lazer nokta ayarlama yöntemi, optik CCD penceresinden noktayı gerçek zamanlı olarak gözlemleyebilir ve ayarlayabilir;

7. Güçlü anti-parazit özelliğine sahip ve cihazın çalışmasını etkilemeyen bir pnömatik şok emici masa ile donatılmıştır;

A62.4505 detaylarını görmek için tıklayın

Opto-Edu Portal Tipi Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM)

A62.4510 Prob Taramalı Atomik Kuvvet Mikroskobu

A62.4511 Düzlem Taramalı Atomik Kuvvet Mikroskobu

A62.4510 + Piezoelektrik Kaydırma Tarama Aşaması =A62.4511

◆ Numuneyi sabit tutan ve sondayı hareket ettiren ve tarayan Çin'deki ilk atomik kuvvet mikroskobu;

◆Çin'de geniş bir aralıkta yüksek hassasiyetle tarama yapabilen kapalı döngü üç eksenli bağımsız bir basınç kaydırma tarayıcısı kullanan ilk;

◆Numune boyutu ve ağırlığı temelde sınırsızdır, özellikle büyük numunelerin tespiti için uygundur; örnek ilgi alanı;

◆Gantry tarama kafası tasarımı, mermer taban, vakum adsorpsiyon aşaması;

◆Probları ve numuneleri korumak için motor kontrollü piezoelektrik seramiklerin otomatik tespiti ile akıllı iğne besleme yöntemi;

◆Otomatik optik konumlandırma, odak ayarlamaya gerek yok, gerçek zamanlı gözlem ve konumlandırma probu örnek tarama alanı;

◆Kapalı metal kalkan, pnömatik şok emici masa, güçlü parazit önleme özelliği ile donatılmıştır;

◆Entegre tarayıcı doğrusal olmayan düzeltme kullanıcı editörü, nanometre karakterizasyonu ve ölçüm doğruluğu %98'den daha iyidir.

A62.4510 detaylarını görmek için tıklayın
A62.4511 detaylarını görmek için tıklayın

Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM) Örnek Resimleri