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| Microscope électronique à balayage de filament de tungstène (MEB) | ||
| A63.7006 | A63.7015 | |
| Résolution | 15nm@30KV(SE) | 5nm@30KV(SE) |
| Grossissement | 20x~60000x | 20x~150000x |
| Canon à électrons | Cartouche de filament de tungstène pré-centrée, système automatique de tension de polarisation | |
| Tension | Accélération de la tension 1KV à 30KV, 1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6 étapes | |
| Système d'objectif | Lentille de condensateur électromagnétique à 2 étages, Lentille d'objectif électromagnétique à 1 étage | |
| Ouverture | Diaphragme d'iris réglable 30/50/50/100um, changez le faisceau électrique pour obtenir une image haute résolution | |
| Système de vide | Pompe rotative, 100Litres/min Pompe moléculaire turbo, 70 litres/sec Temps de pompage <3 minutes Contrôle du vide entièrement automatique | |
| Détecteur | SE : Détecteur d'électrons secondaires | |
| BSE : Détecteur de rétrodiffusion(en option) | ||
| EDS :(facultatif) | ||
| Étape de travail du spécimen | ||
| Système 3 axes, axe X, Y : 35 mm / axe R : 360° | Système 5 axes ， Axe X, Y : 35 mm / Axe R : 360°, Z : 0~22 mm / Axe d'inclinaison : 0~45° | |
| Spécimen maximum | 70 mm de diamètre, 30 mm de hauteur | 80 mm de diamètre, 35 mm de hauteur |
| Décalage d'image | Décalage d'image X, Y ± 150um | |
| Système de numérisation d'images | Numérisation rapide : 320 x 240 (durée de numérisation : 0,1 seconde) Balayage lent : 640 x 480 (durée de balayage : 3 secondes) Mode photo 1 : 1280 x 960 Mode photo 2 : 2560 x 1920 Mode photo 3 : 5120 x 3840 | |
| Format d'image | BMP, JPEG, PNG, TIFF | |
| Fonction automatique | Démarrage automatique, mise au point automatique, luminosité/contraste automatique | |
| Affichage de photos | Grossissement, type de détecteur, accélération de la tension, mode vide, logo (texte), date et heure, marqueur de texte, barre d'échelle, etc. | |
| Logiciel | Station de travail PC système Win 10, avec logiciel d'analyse d'image professionnel pour contrôler entièrement le fonctionnement du microscope SEM, spécification de l'ordinateur pas moins que Inter I5 3,2 GHz, mémoire 4G, écran LCD IPS 24", disque dur 500G, souris, clavier | |
| Taille poids | Corps du microscope 460x600x950mm, poids total 95Kg | |
| A63.7006, A63.7015 Ensemble d'outils et de pièces standard | ||
| 1 | Filament de tungstène pré-centré | 5 pièces/boîte |
| 2 | Diamètre de l'étape de l'échantillon. 15mm | 10 pièces |
| 3 | Diamètre de l'étape de l'échantillon. 25mm | 10 pièces |
| 4 | Diamètre de l'étape de l'échantillon. Inclinaison de 15 mm à 45 ° | 5 pièces |
| 5 | Diamètre de l'étape de l'échantillon. Inclinaison de 15 mm à 90 ° | 5 pièces |
| 6 | Maître de la norme de hauteur | 1 pc |
| sept | Clé Allen | 1 jeu |
| 8 | CD du logiciel SEM | 1 pc |
| 9 | Bande conductrice de carbone) | 1 pc |
| dix | Ciseaux | 1 pc |
| 11 | Aurilave | 1 pc |
| 12 | Pince à épiler | 1 pc |
Huang Xin