A63.7006

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텅스텐 필라멘트 주사 전자 현미경, SE, 20x~60000x

20x~60000x 분해능 15nm(검출기 SE 포함), BSE, EDS, CCD(옵션)
표준 X/Y/R 3축 작업 스테이지, 옵션 5축 작업 스테이지 X/Y/Z/R/T
2단 전자 집광 렌즈, 1단 전자 대물 렌즈
진공 시스템: 터보 분자 펌프 1개+ 기계식 로터리 펌프 1개
자동 시작, 자동 초점, 자동 밝기, 대비 조정

텅스텐 필라멘트 주사 전자 현미경(SEM)
	A63.7006	A63.7015
해결	15nm@30KV(SE)	5nm@30KV(SE)
확대	20x~60000x	20x~150000x
전자총	사전 중심 텅스텐 필라멘트 카트리지, 바이어스 전압 자동 시스템
전압	가속 전압 1KV ~ 30KV, 1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6 단계
렌즈 시스템	2단 전자기 콘덴서 렌즈, 1단 전자대물렌즈
구멍	조정 가능한 조리개 다이어프램 30/50/50/100um, 고해상도 이미지를 얻기 위해 전자빔 변경
진공 시스템	로터리 펌프, 100Liters/min 터보 분자 펌프, 70Liters/sec 펌프 다운 Ttime <3분 완전 자동 진공 제어
탐지기	SE: 2차 전자 검출기
	광우병: 후방 산란 감지기(선택 과목)
	EDS:(선택 과목)
표본 작업 단계
표본 작업 단계	3축 시스템，X, Y축 : 35mm / R축 : 360°	5축 시스템 ， X, Y축 : 35mm / R축 : 360°, Z : 0~22mm / 틸트축 : 0~45°
최대 표본	직경 70mm, 높이 30mm	직경 80mm, 높이 35mm
이미지 이동	X, Y 이미지 시프트 ±150um
이미지 스캐닝 시스템	고속 스캔: 320x240(스캔 시간: 0.1초) 저속 스캔: 640x480(스캔 시간: 3초) 사진 모드 1: 1280x960 사진 모드 2: 2560x1920 사진 모드 3: 5120x3840
이미지 형식	BMP, JPEG, PNG, TIFF
자동 기능	자동 시작, 자동 초점, 자동 밝기/대비
사진 디스플레이	배율, 검출기 유형, 가속 전압, 진공 모드, 로고(텍스트), 날짜 및 시간, 텍스트 마커, 스케일 바 등
컴퓨터 소프트웨어	PC 워크 스테이션 Win 10 시스템, 전체 SEM 현미경 작동을 완전히 제어하는 전문 이미지 분석 소프트웨어, 컴퓨터 사양 Inter I5 3.2GHz, 4G 메모리, 24"IPS LCD 모니터, 500G 하드 디스크, 마우스, 키보드 이상
크기 및 무게	현미경 본체 460x600x950mm, 총 중량 95Kg
A63.7006, A63.7015 표준 도구 및 부품 복장
1	사전 중심 텅스텐 필라멘트	5개/상자
2	샘플 스테이지 직경 15mm	10개
3	샘플 스테이지 직경 25mm	10개
4	샘플 스테이지 직경 15mm 45° 틸트	5개
5	샘플 스테이지 직경 15mm 90° 틸트	5개
6	높이 표준 마스터	1개
7	앨런 렌치	1 세트
8	SEM 소프트웨어 CD	1개
9	탄소 전도성 테이프)	1개
10	가위	1개
11	아우리라브	1개
12	족집게	1개

Pictures
Model No.	A63.7006
기타 사양	로터리 펌프, 100Liters/min 터보 분자 펌프, 70Liters/sec 펌프 다운 Ttime <3분 완전 자동 진공 제어
시스템 지원	Win10
빛을 전송	가속 전압 1KV ~ 30KV, 1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6 단계
콘덴서 특징	자동화된
작업 단계	3축 시스템, X, Y축 : 35mm / R축 : 360° 최대 시편 직경 70mm, 높이 30mm
작업 단계 유형	전동 스테이지
객관적인	감지기 SE 옵션 BSE EDS
표준 배율	20x~60000x
특징	전동 스테이지
신제품 연도	2021년