A63 SEM 走査電子
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SEM,走査型電子顕微鏡は、主に試料表面の外観分析に適用されます。組成分析に用いるエネルギースペクトルを搭載し、試料の表面処理を補助する小型イオンスパッタ装置を搭載しています。 |
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