Монгол хэл
English
Pусский
Français
Español
Portugues
Deutsch
lingua italiana
العربية
Melayu
Filipino
dansk
Bahasa indonesia
日本語
한국어
Türk dili
Tiếng Việt
svenska
Nederlands
Norsk språk
| A63.7080, A63.7081 Програм хангамжийн үндсэн функц | ||
| Өндөр хүчдэлийн нэгдсэн ашиглалтанд оруулах | Автомат утас асаах / унтраах | Боломжит шилжилтийн зохицуулалт |
| Гэрэлтүүлгийн тохируулга | Цахилгаанаас төвийн тохируулга | Автомат гэрэлтүүлэг |
| Тодосгогч тохируулга | Объектив линз тохируулга | Автомат фокус |
| Томруулах тохируулга | Объектив задрал | Астигматизмыг автоматаар арилгах |
| Сонгосон газар нутгийг сканнердах горим | Цахилгаан эргэлтийн тохируулга | Микроскопын параметрүүдийг удирдах |
| Цэг хайх горим | Электрон цацрагийн шилжилтийн тохируулга | Сканнердах талбарын хэмжээг бодит цаг хугацаанд харуулах |
| Шугам скан хийх горим | Электрон цацрагийн хазайлтын тохируулга | Бууны линз тохируулга |
| Гадаргууг сканнердах | Сканнердах хурдны тохируулга | Олон сувгийн оролт |
| Өндөр хүчдэлийн хүчийг хянах | Савлуурыг төвлөрүүлэх | Захирагч хэмжилт |
| SEM | A63.7069 & A63.7069-LV | A63.7080 & A63.7080-L & A63.7080-M | A63.7081 |
| Шийдвэр | 3нм@30КВ(SE) 6нм@30КВ(BSE) | 1.5нм@30КВ(SE) 3нм@30КВ(BSE) | 1.0нм@30КВ(SE) 3.0нм@1КВ(SE) 2.5нм@30КВ(BSE) |
| Томруулах | 8x~300000x сөрөг бодит томруулалт | 8x~800000x сөрөг бодит томруулалт | 6x~1000000x сөрөг бодит томруулалт |
| Электрон буу | Урьдчилан төвлөрсөн вольфрамын судалтай хайрцаг | Schottky Field Emission Gun | Schottky Field Emission Gun |
| Хүчдэл | Хурдасгах хүчдэл 0~30КВ, Тасралтгүй тохируулгатай, Тохируулах алхам 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
| Түргэн харах | Зургийг хурдан харах нэг түлхүүр функц | Үгүй | Үгүй |
| Линзний систем | Гурван түвшний цахилгаан соронзон конус линз | Олон түвшний цахилгаан соронзон конус линз | |
| Апертур | 3 молибдений объектив нүх, вакуум системээс гадна тохируулж болно, диафрагмыг өөрчлөхийн тулд объектыг задлах шаардлагагүй | ||
| Вакуум систем | 1 турбо молекулын насос 1 Механик насос Дээжний өрөөний вакуум>2.6E-3Pa Электрон бууны өрөөний вакуум>2.6Е-3Па Бүрэн автомат вакуум удирдлага Вакуум түгжих функц Нэмэлт загвар: A63.7069-LV 1 турбо молекулын насос 2Механик шахуургууд Дээжний өрөөний вакуум>2.6E-3Pa Электрон бууны өрөөний вакуум>2.6Е-3Па Бүрэн автомат вакуум удирдлага Вакуум түгжих функц Бага вакуумХүрээ 10~270Па, 90 секундын дотор хурдан сэлгэн залгахад BSE(LV) | 1 ион шахуургын багц 1 турбо молекулын насос 1 Механик насос Дээжний өрөөний вакуум>6Е-4Па Электрон бууны өрөөний вакуум>2E-7 Па Бүрэн автомат вакуум удирдлага Вакуум түгжих функц | 1 цацагч ион насос 1 Ионы нийлмэл насос 1 турбо молекулын насос 1 Механик насос Дээжний өрөөний вакуум>6Е-4Па Электрон бууны өрөөний вакуум>2E-7 Па Бүрэн автомат вакуум удирдлага Вакуум түгжих функц |
| Илрүүлэгч | SE: Өндөр вакуум хоёрдогч электрон илрүүлэгч (Илрүүлэгчийн хамгаалалттай) | SE: Өндөр вакуум хоёрдогч электрон илрүүлэгч (Илрүүлэгчийн хамгаалалттай) | SE: Өндөр вакуум хоёрдогч электрон илрүүлэгч (Илрүүлэгчийн хамгаалалттай) |
| БХБ: Хагас дамжуулагч 4 сегментчилэл Буцах тархалт илрүүлэгч | Сонголттой | Сонголттой | |
| Нэмэлт загвар: A63.7069-LV BSE(LV): Хагас дамжуулагч 4 сегментчилэл Буцах тархалт илрүүлэгч | |||
| CCD:Хэт улаан туяаны CCD камер | CCD:Хэт улаан туяаны CCD камер | CCD:Хэт улаан туяаны CCD камер | |
| Портыг сунгах | 2 Өргөтгөх портуудыг дээжийн өрөө For EDS, BSD, WDS гэх мэт. | 4 Өргөтгөх портуудыг дээжийн өрөө For BSE, EDS, BSD, WDS гэх мэт. | 4 Өргөтгөх портуудыг дээжийн өрөө For BSE, EDS, BSD, WDS гэх мэт. |
| Сорьцын үе шат | 5 тэнхлэгийн үе шат, 4Автомат+1Гарын авлагаХяналт Аялалын хүрээ: X=70мм, Y=50мм, Z=45мм, R=360°, T=-5°~+90°(Гараар) Сэрэмжлүүлэг, зогсоох функц дээр хүрнэ үү | 5 тэнхлэгАвтоматДундҮе шат Аялалын хүрээ: X=80мм, Y=50мм, Z=30мм, R=360°, T=-5°~+70° Сэрэмжлүүлэг, зогсоох функц дээр хүрнэ үү Нэмэлт загвар: A63.7080-M5 тэнхлэгГарын авлагаҮе шат A63.7080-L5 тэнхлэгАвтоматТомҮе шат | 5 тэнхлэгАвтоматТомҮе шат Аялалын хүрээ: X=150мм, Y=150мм, Z=60мм, R=360°, T=-5°~+70° Сэрэмжлүүлэг, зогсоох функц дээр хүрнэ үү |
| Хамгийн их дээж | Диа.175мм, Өндөр 35мм | Диа.175мм, Өндөр 20мм | Диа.340мм, Өндөр 50мм |
| Зургийн систем | Бодит хөдөлгөөнгүй зургийн хамгийн дээд нарийвчлал 4096x4096 пиксел, Зургийн файлын формат: BMP (Өгөгдмөл), GIF, JPG, PNG, TIF | Бодит хөдөлгөөнгүй зургийн хамгийн дээд нарийвчлал 16384x16384 пиксел, Зургийн файлын формат: TIF(Өгөгдмөл), BMP, GIF, JPG, PNG Видео: Auto Record Digital .AVI видео | Бодит хөдөлгөөнгүй зургийн хамгийн дээд нарийвчлал 16384x16384 пиксел, Зургийн файлын формат: TIF(Өгөгдмөл), BMP, GIF, JPG, PNG Видео: Auto Record Digital .AVI видео |
| Компьютерийн програм хангамж | Компьютерийн ажлын станц Win 10 систем, SEM микроскопын ажиллагааг бүхэлд нь хянах мэргэжлийн зургийн шинжилгээний программ хангамжтай, Компьютерийн үзүүлэлтүүд Inter I5 3.2GHz, 4G санах ой, 24"IPS LCD дэлгэц, 500G хатуу диск, хулгана, гар | ||
| Фото зургийн дэлгэц | Зургийн түвшин нь баялаг бөгөөд нямбай бөгөөд бодит цагийн томруулалт, захирагч, хүчдэл, саарал муруйг харуулж байна | ||
| Хэмжээ & Жин | Микроскопын их бие 800x800x1850мм Ажлын ширээ 1340x850x740mm Нийт жин 400кг | Микроскопын их бие 800x800x1480мм Ажлын ширээ 1340x850x740mm Нийт жин 450кг | Микроскопын их бие 1000x1000x1730мм Ажлын ширээ 1330x850x740mm Нийт жин 550кг |
| Нэмэлт хэрэгслүүд | |||
| Нэмэлт хэрэгслүүд | A50.7002EDS Energy Dispersive X-Ray Spectrometer A50.7011Ион цацагч | A50.7001BSE Буцах тархалтын электрон илрүүлэгч A50.7002EDS Energy Dispersive X-Ray Spectrometer A50.7011Ион цацагч A50.7030Хяналтын самбарыг моторжуулах | A50.7001BSE Буцах тархалтын электрон илрүүлэгч A50.7002EDS Energy Dispersive X-Ray Spectrometer A50.7011Ион цацагч A50.7030Хяналтын самбарыг моторжуулах |
| A50.7001 | BSE илрүүлэгч | Хагас дамжуулагчийн дөрвөн сегментийн арын тархалт илрүүлэгч; Найрлага A+B, Морфологийн мэдээлэл AB-д боломжтой; Алт цацахгүйгээр ажиглалт хийх боломжтой дээж; Саарал өнгийн газрын зургаас бохирдол, тархалтыг шууд ажиглах боломжтой. |
| A50.7002 | EDS (Рентген туяа илрүүлэгч) | Цахиурын нитрид (Si3N4) гэрлийн элементийн шинжилгээнд бага энергийн рентген дамжуулалтыг оновчтой болгох цонх; Маш сайн нягтрал ба дуу чимээ багатай дэвшилтэт электрон төхөөрөмжүүд нь гайхалтай дамжуулалтын гүйцэтгэлийг хангадаг; Жижиг ул мөр нь хамгийн тохиромжтой геометр ба Aata цуглуулгын нөхцлийг хангах уян хатан байдлыг санал болгодог; Илрүүлэгчид 30мм2 чип агуулсан. |
| A50.7003 | EBSD (Электрон цацрагийн эсрэг тархсан дифракц) | Хэрэглэгч болорын чиг баримжаа, болор фаз, материалын микро бүтэц, холбогдох материалын гүйцэтгэл гэх мэтийг шинжлэх боломжтой. EBSD камерын тохиргоог автоматаар оновчтой болгох Мэдээлэл цуглуулах явцад хамгийн их мэдээлэл авахын тулд интерактив бодит цагийн дүн шинжилгээ хийх Бүх өгөгдөл нь цаг хугацааны шошготой байсан бөгөөд үүнийг хүссэн үедээ үзэх боломжтой өндөр нарийвчлалтай 1392 x 1040 x 12 Скан хийх ба индексийн хурд: 198 оноо / сек, Ni стандарт нь 2 ~ 5 нА нөхцөлд индексийн хурдыг ≥99% хангаж чадна; 100пА-д бага гэрлийн гүйдэл, 5кВ-ын бага хүчдэлийн нөхцөлд сайн ажилладаг чиг баримжаа хэмжих нарийвчлал: 0.1 хэмээс илүү Гурвалсан индексийн системийг ашиглах: нэг зурвасын тодорхойлолтод найдах шаардлагагүй, хэв маягийн чанар муутай индексжүүлэлт хийх шаардлагагүй. зориулалтын мэдээллийн сан: Электрон дифракцийн аргаар олж авсан EBSD тусгай мэдээллийн сан: >400 фазын бүтэц Индекс чадвар: Энэ нь 7 болор системийн бүх болор материалыг автоматаар индексжүүлэх боломжтой. Нарийвчилсан сонголтууд нь уян хатан хөшүүн чанар (Уян хөшүүн чанар), Тейлор (Тэйлор) хүчин зүйл, Шмидт (Шмид) хүчин зүйл гэх мэтийг тооцоолох боломжтой. |
| A50.7010 | Бүрэх машин | Шилэн хамгаалах бүрхүүл: ∮250мм; 340 мм өндөр; Шилэн боловсруулах танхим: ∮88мм; 140мм өндөр, ∮88мм; 57 мм өндөр; Загварын шатны хэмжээ: ∮40мм (хамгийн их); Вакуум систем: молекулын насос ба механик насос; Вакуум илрүүлэх: Пирани Гейж; Вакуум:2 X 10-3 Па-аас сайн; Вакуум хамгаалалт: 20 Па микро масштабтай инфляцийн хавхлагатай; Сорьцын хөдөлгөөн: Хавтгайн эргэлт, хазайлт. |
| A50.7011 | Ион цацагч | Шилэн боловсруулах танхим: ∮100мм; 130 мм өндөр; Сорьцын шатны хэмжээ: ∮40мм(6 сорьцын аяга барих) ; Алтан зорилтот хэмжээ: ∮58мм*0,12мм(зузаан); Вакуум илрүүлэх: Пирани Гейж; Вакуум хамгаалалт: 20 Па микро масштабтай инфляцийн хавхлагатай; Дунд зэргийн хий: аргон буюу аргон хийтэй агаар, тусгай агаарын оролттой, бичил масштабаар зохицуулдаг хий. |
| A50.7012 | Аргон ион цацагч | Дээжийг өндөр вакуум дор нүүрстөрөгч, алтаар бүрсэн; Эргэдэг дээжийн хүснэгт, жигд бүрэх, бөөмийн хэмжээ 3-5 нм орчим; Зорилтот материалыг сонгоогүй, дээжийг гэмтээхгүй; Ион цэвэрлэх ба ион нимгэрүүлэх функцийг хэрэгжүүлэх боломжтой. |
| A50.7013 | Чухал цэг хатаагч | Дотоод диаметр: 82 мм, дотоод урт: 82 мм; Даралтын хүрээ: 0-2000psi; Температурын хүрээ: 0°-50° C (32°-122° F) |
| A50.7014 | Электрон цацрагийн литографи | Сканнердах электрон микроскоп дээр тулгуурлан шинэ нано өртөх системийг боловсруулсан; Өөрчлөлт нь нано масштабтай шугамын өргөнтэй зургийг бүтээх бүх семаль функцийг хадгалсан; Өөрчлөгдсөн Ebl системийг микроэлектроник төхөөрөмж, оптоэлектроник төхөөрөмж, квантун төхөөрөмж, микроэлектроникийн системд өргөнөөр ашигладаг. |
| A63.7080, A63.7081 Хэрэглээний стандарт хувцас | |||
| 1 | Талбайн ялгаруулалтын утас | Микроскопод суулгасан | 1 ширхэг |
| 2 | Жишээ аяга | Диа.13мм | 5 ширхэг |
| 3 | Жишээ аяга | Диа.32мм | 5 ширхэг |
| 4 | Нүүрстөрөгчийн хоёр талт дамжуулагч соронзон хальс | 6мм | 1 багц |
| 5 | Вакуум тос | 10 ширхэг | |
| 6 | Үсгүй даавуу | 1 хоолой | |
| 7 | Өнгөлгөөний оо | 1 ширхэг | |
| 8 | Жишээ хайрцаг | 2 уут | |
| 9 | Хөвөн арчдас | 1 ширхэг | |
| 10 | Газрын тосны манан шүүлтүүр | 1 ширхэг | |
| A63.7080, A63.7081 Стандарт хэрэгсэл ба эд ангиудын хувцас | |||
| 1 | Дотор зургаан өнцөгт түлхүүр | 1.5мм~10мм | 1 багц |
| 2 | хясаа | урт 100-120 мм | 1 ширхэг |
| 3 | Ховилтой халив | 2*50мм, 2*125мм | 2 ширхэг |
| 4 | Хөндлөн халив | 2*125мм | 1 ширхэг |
| 5 | Агааржуулах хоолойг цэвэрлэх | Диа.10/6.5мм(Гадна диаметр/Дотоод диаметр) | 5м |
| 6 | Агааржуулалтын даралтыг бууруулах хавхлаг | Гаралтын даралт 0-0.6МПа | 1 ширхэг |
| 7 | Хоол хийх дотоод тэжээлийн хангамж | 0-3А тогтмол гүйдэл | 2 ширхэг |
| 8 | UPS цахилгаан хангамж | 10кВА | 2 ширхэг |
Huang Xin