A63.7010

Цуглуулахтай адил

EBL электрон цацраг литографийн машин

Schottky талбайн ялгаруулах буу, хурдатгалын хүчдэл 20V~30KV
n-Lens электрон илрүүлэгч, <1нм@15КВ; <1.5нм@1КВ, хамгийн бага цацрагийн цэгийн хэмжээ <2нм
Бичгийн талбар <500x500um, График Гемератор өндөр гүйцэтгэлтэй FPGA
Хамгийн их скан хийх хурд 50 МГц, дэмжигдсэн бичих талбар 10um~500um, хамгийн бага суух хугацаа 10 ns нэмэгдэнэ
Интерферометрийн шатны хэмжээ 4 инч, Аялал <105мм, Шугамын хамгийн бага өргөн 10нм

Электрон цацрагийн литографийн машины танилцуулга

Хятадын EBL литографийн машиныг ялгах

Тайзны үзүүлэлтүүд
Стандарт тоног төхөөрөмж	Лазер интерферометрийн үе шат
Тайзны аялал	≤105 мм
Электрон буу ба дүрслэлийн үзүүлэлтүүд
Schottky Field Emission Gun	Хурдатгалын хүчдэл 2ОВ~ 30кВ хажуугийн хоёрдогч электрон илрүүлэгч ба Линз доторх электрон илрүүлэгч
Зургийн нягтрал	≤1нм@15кВ;≤1.5нм@1кВ
Цацрагийн гүйдлийн нягт	>5300 А/см2
Цацрагийн хамгийн бага хэмжээ	≤2 нм
Литографийн үзүүлэлтүүд
Электрон цацрагийн хаалт	Өсөх хугацаа < 100 ns< 100 ns
Бичгийн талбар	≤500х500 мм
Хамгийн бага нэг өртөлтийн шугамын өргөн	10±2нм
Скан хийх хурд	25 МГц/ 50 МГц
График генераторын параметрүүд
Хяналтын цөм	Өндөр хүчин чадалтай FPGA
Хамгийн их скан хийх хурд	50 МГц
D/A тогтоол	20-бит
Дэмжигдсэн бичих талбарын хэмжээ	10-500 ум
Цацрагийн Хөшигний дэмжлэг	5VTTL
Хамгийн бага суух хугацааны өсөлт	10 ns
Дэмжигдсэн файлын форматууд	GDSIl, DXF, BMP гэх мэт.
Фарадей цомын цацрагийн одоогийн хэмжилт	Оруулсан
Ойролцоох нөлөөний залруулга	Нэмэлт
Лазер интерферометрийн үе шат	Нэмэлт
Скан хийх горимууд	Дараалсан (Z-төрөл), Серпентин (S-төрөл), Спираль болон бусад вектор скан хийх горимууд
Өртөх горимууд	Талбайн шалгалт тохируулга, талбайн оёдол, давхарлах, олон давхаргат автомат өртөлтийг дэмждэг
Гадаад сувгийн дэмжлэг	электрон цацраг сканнердах, үе шатын хөдөлгөөн, цацрагийн хаалтыг хянах, хоёрдогч электрон илрүүлэхийг дэмждэг.

Хятадын электрон цацрагийн литографийн машины онцлог

Лазер интерферометрийн үе шат

Лазер интерферометрийн үе шат: Том хэмжээний цус харвалт, өндөр нарийвчлалтай оёдол, давхаргын шаардлагыг хангасан дэвшилтэт лазер интерферометрийн шат

Талбайн ялгаруулах буу

Өндөр нарийвчлалтай хээрийн ялгаруулалтын буу нь литографийн чанарын чухал баталгаа юм

График үүсгэгч

Хэт амжилтанд хүрдэгөндөр нарийвчлалтайхэт өндөр хурдны сканнерыг хангахын зэрэгцээ загвар зурах

A63.7010 VS Raith 150 Хоёр
Төхөөрөмжийн загвар	OPTO-EDU A63.7010 (Хятад)	Raith 150 Two (Герман)
Хурдатгалын хүчдэл (кВ)	30	30
Мин. Цацрагийн цэгийн диаметр (нм)	2	1.6
Тайзны хэмжээ (инч)	4	4
Хамгийн бага шугамын өргөн (нм)	10	8
Оёдлын нарийвчлал (нм)	50(35нм)	35
Давхардсан нарийвчлал (нм)	50(35нм)	35

Pictures
Model No.	A63.7010
Бусад тодорхойлолт	Бүрэн автомат өндөр вакуум хугацаа <2 минут
Нэмэлт дагалдах хэрэгсэл	A50.7002 EDS Эрчим хүчний тархалттай рентген спектрометр A50.7011 Ион цацагч бүрээс
Системийн дэмжлэг	Win11 Win10
Гэрэл дамжуулах	Вольфрамын судалтай хайрцаг, Хүчдэл 0~15КВ
Конденсатор	Суурилуулсан конденсатор, гар аргаар диафрагмыг тохируулах шаардлагагүй (LaB6 нэмэлт)
Ажлын үе шат	XY Автомат шат, Хөдөлгөөнт 30x30мм, Нэмэлт 5 тэнхлэг, Speicmen Max Ф50xH35mm
Зорилго	Илрүүлэгч SE+BSE+CCD
Стандарт томруулалт	150000x
Бүтээгдэхүүний шинэ жил	2021 он
	SEM系列 2025 市场价格=零售价格 /4.5 市场价格对外展示标准报价=销售价5格 /5.市场价格83折, 报备后标准报价代理折扣=最低限价 /6.4 市场价格75折, 只价格75折, 只仐圐巻

онлайн үйлчилгээ

Бид онлайнаар дэмжлэг үзүүлэхээр энд байна!

Зурвас илгээх

Нэр

улс орон

шуудангийн хайрцаг

утас

Зурвасын агуулга

Нарийвчилсан күүки тохиргоо

Чухал күүки

Эдгээр күүки нь аюулгүй байдал, хувийн мэдээллийг баталгаажуулах, сүлжээний менежмент зэрэг үндсэн функцуудыг идэвхжүүлдэг. Эдгээр күүкиг идэвхгүй болгох боломжгүй.

Маркетингийн күүки идэвхжүүлэх

Эдгээр күүки нь зар сурталчилгааны гүйцэтгэлийг хянах, зар сурталчилгаатай холбоотой хэрэглэгчийн өгөгдлийг Google-д илгээхийг зөвшөөрөх, илүү хамааралтай үйлчилгээ үзүүлэхийн тулд вэбсайтад хувийн зар сурталчилгаа үзүүлэхийг зөвшөөрөхөд ашиглагддаг.

Функциональ күүки идэвхжүүлэх

Эдгээр күүки нь хэрэглэгчийн сайжруулж, илүү хувийн туршлагыг бий болгохын тулд хийсэн сонголтуудыг санахын тулд өгөгдлийг цуглуулдаг.

Аналитик күүки идэвхжүүлэх

Эдгээр күүки нь зочдод манай вэбсайттай хэрхэн харьцаж байгааг ойлгох, алдааг олж илрүүлэх, ерөнхий дүн шинжилгээ хийхэд тусалдаг.