A63.7010

Toplamak gibi

EBL Elektron Işını Litografi Makinesi

Schottky Saha Emisyon Tabancası, Hızlanma Gerilimi 20V~30KV
n-Lens Elektron Dedektörü, <1nm@15KV; <1,5nm@1KV, Minimum Işın Noktası Boyutu <2nm
Yazma Alanı <500x500um, Grafik Gemerator Yüksek Performanslı FPGA
Maksimum Tarama Hızı 50Mhz, Desteklenen Yazma Alanı 10um~500um, Minimum Bekleme Süresi Artışı 10ns
İnterferometre Tablası Boyutu 4 İnç, Hareket <105 mm, Minimum Çizgi Genişliği 10 nm

Elektron Işını Litografi Makinesinin Tanıtımı

Çin EBL Litografi Makinesinin Ayrılması

Sahne Özellikleri
Standart Ekipman	Lazer İnterferometre Aşaması
Sahne Seyahati	≤105mm
Elektron Tabancası ve Görüntüleme Özellikleri
Schottky Saha Emisyon Tabancası	Hızlanma Gerilimi 2OV~ 30kVYan İkincil Elektron Dedektörü ve Lens İçi Elektron Dedektörü
Görüntü Çözünürlüğü	≤1nm@15kV;≤1,5nm@1kV
Işın Akım Yoğunluğu	>5300 A/cm2
Minimum Işın Noktası Boyutu	≤2 deniz mili
Litografi Özellikleri
Elektron Işın Deklanşörü	Yükselme Süresi < 100 ns< 100 ns
Yazı Alanı	≤500x500 um
Minimum Tek Pozlama Çizgi Genişliği	10±2nm
Tarama Hızı	25 MHz/ 50 MHz
Grafik Oluşturucu Parametreleri
Kontrol Çekirdeği	Yüksek performanslı FPGA
Maksimum Tarama hızı	50 MHz
D/A Çözünürlüğü	20 bit
Desteklenen Yazma Alanı Boyutları	10 um~500 um
Işın Deklanşör Desteği	5VTTL
Minimum Bekleme Süresi Artışı	10ns
Desteklenen Dosya Formatları	GDSIL, DXF, BMP, vb.
Faraday Kupası Işın Akımı Ölçümü	Dahil
Yakınlık Etkisi Düzeltme	İsteğe bağlı
Lazer İnterferometre Aşaması	İsteğe bağlı
Tarama Modları	Sıralı (Z tipi), Serpantin (S tipi), Spiral ve diğer vektör tarama modları
Pozlama Modları	Saha kalibrasyonunu, saha birleştirmeyi, kaplamayı ve çok katmanlı otomatik pozlamayı destekler
Harici Kanal Desteği	Elektron ışın taramasını, sahne hareketini, ışın deklanşör kontrolünü ve ikincil elektron tespitini destekler

Çin Elektron Işını Litografi Makinesinin Özellikleri

Lazer İnterferometre Aşaması

Lazer İnterferometre Tablası: Büyük stroklu, yüksek hassasiyetli dikiş ve kaplama gereksinimlerini karşılayan gelişmiş bir lazer interferometre tablası

Saha Emisyon Tabancası

Yüksek çözünürlüklü saha emisyon tabancası, litografi kalitesinin önemli bir garantisidir

Grafik Oluşturucu

Ultra'ya ulaşıryüksek çözünürlükUltra yüksek hızlı taramayı sağlarken desen çizimi

A63.7010 VS Raith 150 İki
Cihaz Modeli	OPTO-EDU A63.7010 (Çin)	Raith 150 İki (Almanya)
Hızlanma Gerilimi (kV)	30	30
Min. Işın Noktası Çapı (nm)	2	1.6
Sahne Boyutu (inç)	4	4
Minimum Çizgi Genişliği (nm)	10	8
Dikiş Hassasiyeti (nm)	50(35nm)	35
Kaplama Doğruluğu (nm)	50(35nm)	35

Pictures
Model No.	A63.7010
Diğer Şartname	Tam Otomatik Yüksek Vakum Süresi <2 Dakika
Opsiyonel Aksesuar	A50.7002 EDS Enerji Dağılımlı X-Işını Spektrometresi A50.7011 İyon Püskürtme Kaplayıcı
Sistem Desteği	Win11 Win10
Işığı İlet	Tungsten Filament Kartuşu, Gerilim 0~15KV
kondansatör	Dahili Kondenser Açıklığın Manuel Olarak Ayarlanmasına Gerek Yok (LaB6 Opsiyonel)
Çalışma Aşaması	XY Otomatik Kademeli, Hareketli 30x30mm, Opsiyonel 5 Eksen, Speicmen Max Ф50xH35mm
Amaç	Dedektör SE+BSE+CCD
Standart Büyütme	150000x
Yeni Ürün Yılı	2021
	SEM系列 2025 市场价格=零售价格 /4.5 市场价格对外展示标准报价=销售价格 /5.5市场价格83折, 报备后标准报价代理折扣=最低限价 /6.4 市场价格75折, 只给深度合作代理

çevrimiçi servis

Destek için çevrimiçi olarak buradayız!

Mesaj Gönder

isim

ülke

posta kutusu

telefon

Mesaj içeriği

Gelişmiş Çerez Ayarları

Temel Çerezler

Bu çerezler güvenlik, kimlik doğrulama ve ağ yönetimi gibi temel işlevleri sağlar. Bu çerezler devre dışı bırakılamaz.

Pazarlama Çerezlerini Etkinleştir

Bu çerezler, reklam performansını izlemek, reklamla ilgili kullanıcı verilerinin Google'a gönderilmesine izin vermek ve web sitesinin daha alakalı hizmetler sunması için kişiselleştirilmiş reklamlar sunmasına izin vermek için kullanılır.

İşlevsel Çerezleri Etkinleştir

Bu çerezler, kullanıcıların iyileştirme ve daha kişiselleştirilmiş bir deneyim sunma amacıyla yaptıkları seçimleri hatırlamak için veri toplar.

Analitik Çerezlerini Etkinleştir

Bu çerezler, ziyaretçilerin web sitemizle nasıl etkileşim kurduğunu anlamamıza, hataları keşfetmemize ve daha iyi bir genel analiz sunmamıza yardımcı olur.