آلة الطباعة الحجرية بالشعاع الإلكتروني EBL

• مسدس شوتكي للانبعاث الميداني، جهد التسارع 20 فولت ~ 30 كيلو فولت
• كاشف الإلكترون ذو العدسة n، <1nm@15KV؛ <1.5nm@1KV، الحد الأدنى لحجم بقعة الشعاع <2nm
• مجال الكتابة <500x500um، Graphic Gemerator عالي الأداء FPGA
• أقصى سرعة للمسح 50 ميجا هرتز، مجال الكتابة المدعوم 10um~500um، الحد الأدنى لزيادة وقت المكوث 10ns
• حجم مسرح مقياس التداخل 4 بوصة، السفر <105 مم، الحد الأدنى لعرض الخط 10 نانومتر

كمية：

خدمة الإنترنت أضف إلى السلة

أضف للمقارنة