A63.7010

Nais na mangolekta

EBL Electron Beam Lithography Machine

Schottky Field Emission Gun, Acceleration Voltage 20V~30KV
n-Lens Electron Detector, <1nm@15KV; <1.5nm@1KV, Minimum Beam Spot Size <2nm
Field ng Pagsusulat <500x500um, Graphic Gemerator High Performance FPGA
Max na Bilis ng Pag-scan 50Mhz, Sinusuportahang Writing Field 10um~500um, Minimum Dwell Time Increment 10ns
Laki ng Stage ng Interferometer 4 Inch, Travel <105mm, Minimum Linewidth 10nm

Panimula ng Electron Beam Lithography Machine

Sepcification ng Chinese EBL Lithography Machine

Mga Detalye ng Stage
Karaniwang Kagamitan	Yugto ng Laser Interferometer
Paglalakbay sa Yugto	≤105 mm
Electron Gun at Imaging Specitications
Schottky Field Emission Gun	Acceleration Voltage 2OV~ 30kVSside Secondary ElectronDetector at In-Lens Electron Detector
Resolusyon ng Larawan	≤1nm@15kV;≤1.5nm@1kV
Kasalukuyang Densit ng Beam	>5300 A/cm2
Pinakamababang Laki ng Beam Spot	≤2 nm
Mga Pagtutukoy sa Lithography
Electron Beam Shutter	Oras ng Pagtaas < 100 ns< 100 ns
Larangan ng Pagsulat	≤500x500 um
Minimum na Single Exposure na Lapad ng Linya	10±2nm
Bilis ng Pag-scan	25 MHz/ 50 MHz
Mga Parameter ng Tagabuo ng Graphics
Control Core	Mataas na pagganap ng FPGA
Pinakamataas na bilis ng Pag-scan	50 MHz
D/A Resolution	20-bit
Mga Sinusuportahang Laki ng Field ng Pagsusulat	10 um~500 um
Suporta sa Beam Shutter	5VTTL
Minimum na Pagdagdag sa Oras ng Pagtira	10ns
Mga Sinusuportahang Format ng File	GDSil, DXF, BMP, atbp.
Kasalukuyang Pagsukat ng Faraday Cup Beam	Kasama
Proximity Effect Correction	Opsyonal
Yugto ng Laser Interferometer	Opsyonal
Mga Mode ng Pag-scan	Sequential (Z-type), Serpentine (S-type), Spiral, at iba pang vector scan mode
Mga Mode ng Exposure	Sinusuportahan ang field calibration, field stitching, overlay, at multi-layer na awtomatikong exposure
Panlabas na Suporta sa Channel	Sinusuportahan ang pag-scan ng electron beam, paggalaw ng entablado, kontrol ng beam shutter, at pangalawang pagtuklas ng elektron

Mga Tampok ng Chinese Electron Beam Lithography Machine

Yugto ng Laser Interferometer

Laser Interferometer Stage: Isang advanced na laser interferometer stage na nakakatugon sa mga kinakailangan para sa large-stroke, high-precision stitching at overlay

Field Emission Gun

Ang isang high-resolution na field emission gun ay isang mahalagang garantiya para sa kalidad ng lithography

Tagabuo ng Graphics

Nakakamit ang ultra-mataas na resolutionpattern drawing habang tinitiyak ang ultra-high-speed scanning

A63.7010 VS Raith 150 Dalawa
Modelo ng Device	OPTO-EDU A63.7010 (China)	Raith 150 Two (Germany)
Acceleration Voltage (kV)	30	30
Min. Beam SpotDiameter (nm)	2	1.6
Laki ng Stage (pulgada)	4	4
Minimum na Linewidth (nm)	10	8
Katumpakan ng Pagtahi (nm)	50(35nm)	35
Katumpakan ng Overlay (nm)	50(35nm)	35

Pictures
Model No.	A63.7010
Iba pang Pagtutukoy	Full Auto High Vaccum Time <2 Minuto
Opsyonal na Accessory	A50.7002 EDS Energy Dispersive X-Ray Spectrometer A50.7011 Ion Sputtering Coater
Suporta sa System	Panalo11 Win10
Magpadala ng Liwanag	Tungsten Filament Catridge, Boltahe 0~15KV
Condenser	Built-in na Condenser Hindi Kailangan ng Manu-manong Pagsasaayos ng Aperture (LaB6 Opsyonal)
Yugto ng Paggawa	XY Auto Stage, Paglipat ng 30x30mm, Opsyonal na 5 Axes, Speicmen Max Ф50xH35mm
Layunin	Detector SE+BSE+CCD
Standard Magnification	150000x
Bagong Taon ng Produkto	2021
	SEM系列 2025 市场价格=零售价格 /4.5 市场价格对外展示标准报价=销售价格 /5.5.5格报备后标准报价代理折扣=最低限价 /6.4 市场价格75折, 只给深度合作代理

online na serbisyo

Nandito kami online para suportahan!

Ipadala ang Mensahe

Pangalan

bansa

Mailbox

telepono

Nilalaman ng mensahe

Mga Advanced na Setting ng Cookie

Mahahalagang Cookies

Ang mga cookies na ito ay nagbibigay-daan sa pangunahing functionality tulad ng seguridad, pag-verify ng pagkakakilanlan at pamamahala ng network. Hindi maaaring i-disable ang cookies na ito.

Paganahin ang Marketing Cookies

Ginagamit ang cookies na ito upang subaybayan ang pagganap ng advertising, pagpayag sa pagpapadala ng data ng user na nauugnay sa advertising sa Google, at pagpayag para sa website na maghatid ng personalized na pag-advertise upang magbigay ng mga mas nauugnay na serbisyo.

Paganahin ang Functional Cookies

Nangongolekta ng data ang cookies na ito para matandaan ang mga pagpipiliang ginagawa ng mga user para mapabuti at magbigay ng mas personalized na karanasan.

Paganahin ang Analytics Cookies

Tinutulungan kami ng cookies na ito na maunawaan kung paano nakikipag-ugnayan ang mga bisita sa aming website, tumuklas ng mga error at magbigay ng mas mahusay na pangkalahatang analytics.