OPTO-EDU A50.7045 イオンスパッタコーター＆蒸着コーター

イオンスパッタコーター＆蒸着コーター

10-3paまでの国際一流レベルの高真空

コーティングほぼすべて (25+) 種類の SEM 観察用スパッタターゲット

非常にシンプルなワンキー操作とターゲットの交換

選択のための初心者ユーザーモードと上級ユーザーモード

国際販売のための完全な英語のインターフェースとマニュアル

金属および炭素コーティング用のマグネトロンスパッタリングおよび熱蒸着モードの両方で利用できます。

2 つのモードをワンキーで切り替え、ターゲットキットを交換する必要はありません。

自動制御、タッチスクリーン、簡単操作。

汚染防止設計により、2 つの異なるモードで作業中の相互汚染を回避します。

熱による損傷がなく、さまざまな SEM サンプル前処理に適しています。

作業環境やスペースを選ばないコンパクト設計。

スパッタモードの場合: スパッタリングプロセス中にシャッターが開き、その他のプロセス (パラメータ調整、プレスパッタリングなど) は、スパッタリングアセンブリの直下にあります。

蒸発モードの場合：蒸発プロセス中にシャッターが開き、他のプロセス (脱ガスなど) はスパッタリングアセンブリの直下にあります。

シャッターのすべての動作は、手動操作なしでシステムによって自動的に制御されます。

スパッタリングコーティング工程：
1.デフォルトのターゲットを確認する使用中のものと一致しています。それ以外の場合は、設定インターフェイスに入り、ターゲットを再選択します。
2.サンプルを入れてスパッタ時間を設定(スパッタ電流は自動的に設定されます。システムにより、経験豊富なユーザーも自分で設定できます)。
3.「ポンプのオン/オフ」ボタンを押して、システムは、次のプロセスを自動的に完了します。
1) RVP & TMP ポンプ運転
2) Arフラッシング工程(真空度5E-3Pa到達)：3回
3) プロセスパラメータ調整、プレスパッタ
4) スパッタコーティング
4.コーティングが完了すると、プロンプト音が鳴ります（スイッチがオンの場合）。
5.「ポンプのオン/オフ」ボタンを押します、ベントプロセスは自動的に完了します。
6. サンプルを取り出すことができ、プロセス全体が終了します。

まとめ：イージーシャトル

1.デフォルトのターゲットが使用中のものと同じであることを確認してください

2.サンプルを入れる

3.スパッタ時間を設定

4.「ポンプのオン/オフ」ボタンを押します

5.「ポンプのオン/オフ」ボタンを押します

6.サンプルを取り出す

7.終了した。

蒸着法：
1.デフォルトの加熱モードが正しいことを確認してください;それ以外の場合は、設定インターフェイスに入り、設定します。
2.サンプルを入れて、パルスまたはカーボン量を設定します。(蒸発電圧はシステムによって自動的に設定され、経験豊富なユーザーは自分で設定することもできます);
3.「ポンプのオン/オフ」ボタンを押します、システムは次のプロセスを自動的に完了します。
1) RVP & TMP ポンプ運転;
2) 脱ガス (真空度が 5E-2Pa に達する);
3) 蒸着カーボンコーティング
4.コーティングが完了すると、プロンプト音が鳴ります（スイッチがオンの場合）。
5.「ポンプのオン/オフ」ボタンを押すと、ベントプロセスが自動的に完了します。
6. サンプルを取り出すことができ、プロセス全体が終了します。

光教育 A50.704シリーズイオンコーター＆カーボンコーター、シリーズのコンパクト塗装が可能な塗装システムです。貴金属ゴールドなど（オー）、パラジウム（Pd）、プラチナ（Pt）、および金/パラジウム（Au/Pd）の薄膜を非導電性または導電性の低い試料に。ユニフォーム薄膜微粒子サイズの成形品を短いサイクルタイムで成形します。生成された薄膜は、電子顕微鏡で観る(SEM) 分析、および他の多くのラボ実験nt材料準備作業.デスクマグネトロンコーターは、完全に自動化されたシステムで一貫した再現性の高い結果を提供する生産性の高いツールです。の人間工学に基づいたデザインと小さなフットプリントSEMコーティング装置システムを簡単に使用できます.

要件	推奨機種
金属膜とカーボン膜	A50.7045 (低真空、100000倍未満の倍率に適しています)
金属膜とカーボン膜	A50.7045-T (高真空、100000倍以上の倍率に適しています)
カーボンコーティング（鉱石試料、成分分析用電子プローブ試料調製等、EDS、EBSD ETC）	A50.7043
カーボンコーティング（鉱石試料、成分分析用電子プローブ試料調製等、EDS、EBSD ETC）	A50.7043-T
金属のスパッタリング	A50.7041 (実倍率50000倍以下、タングステンフィラメントSEM、卓上SEM)
(Au、Pt、Cr、Wなど)	A50.7042 (実倍率100000倍以下、フィールドエミッションガンSEM)
	A50.7042-T (実倍率100000倍以上、フィールドエミッションガンSEM)
電極、マイクロ電子デバイスの製造	A50.7041（Au、Ptコーティング）
	A50.7042 (Au、Pt、Ag、Cu、Zn、Im、Snなど)
	A50.7042-T (ほとんどの金属コーティング、ITO、AZO 酸化物など)
グローブボックス	A50.7042 カスタマイズ版
グローブボックス	A50.7042-T カスタマイズ版
円筒コーティング	A50.7042 カスタマイズ版