マグネトロンイオンスパッタコーター

使いやすい GUI を備えた 7 インチカラータッチスクリーン自動制御手動制御は不要

DC マグネトロンスパッタリング、スパッタリング電流 0-100mA & スパッタリング時間 1-999s 連続調整可能

平面マグネトロンターゲット、周囲のダークエリアシールド付き、標準ターゲット Pt または Au を含む

ロータリーベーンポンプ（オプションのドライスクロールポンプ）を含む、排気速度1L/s、到達真空度≤1P

オプションのアップグレード: 膜厚モニタリング、チルト回転サンプルステージ

光教育 A50.704シリーズイオンコーター＆カーボンコーター、シリーズのコンパクト塗装が可能な塗装システムです。貴金属ゴールドなど（オー）、パラジウム（Pd）、プラチナ（Pt）、および金/パラジウム（Au/Pd）の薄膜を非導電性または導電性の低い試料に。ユニフォーム薄膜微粒子サイズの成形品を短いサイクルタイムで成形します。生成された薄膜は、電子顕微鏡で観る(SEM) 分析、および他の多くのラボ実験nt材料準備作業.デスクマグネトロンコーターは、完全に自動化されたシステムで一貫した再現性の高い結果を提供する生産性の高いツールです。の人間工学に基づいたデザインと小さなフットプリントSEMコーティング装置を簡単に使用できます。システム.

要件	推奨機種
金属膜とカーボン膜	A50.7045 (低真空、100000倍未満の倍率に適しています)
金属膜とカーボン膜	A50.7045-T (高真空、100000倍以上の倍率に適しています)
カーボンコーティング（鉱石試料、成分分析用電子プローブ試料調製等、EDS、EBSD ETC）	A50.7043
カーボンコーティング（鉱石試料、成分分析用電子プローブ試料調製等、EDS、EBSD ETC）	A50.7043-T
金属のスパッタリング	A50.7041 (実倍率50000倍以下、タングステンフィラメントSEM、卓上SEM)
(Au、Pt、Cr、Wなど)	A50.7042 (実倍率100000倍以下、フィールドエミッションガンSEM)
	A50.7042-T (実倍率100000倍以上、フィールドエミッションガンSEM)
電極、マイクロ電子デバイスの製造	A50.7041（Au、Ptコーティング）
	A50.7042 (Au、Pt、Ag、Cu、Zn、Im、Snなど)
	A50.7042-T (ほとんどの金属コーティング、ITO、AZO 酸化物など)
グローブボックス	A50.7042 カスタマイズ版
グローブボックス	A50.7042-T カスタマイズ版
円筒コーティング	A50.7042 カスタマイズ版

アイテム	A50.7041	A50.7042	A50.7042-P	A50.7042-T
スパッタリングターゲット	平面マグネトロンターゲット、周囲のダークエリアシールド付き	平面マグネトロンターゲット、周囲のダークエリアシールド付き	平面マグネトロンターゲット、周囲のダークエリアシールド付き	平面マグネトロンターゲット、周囲のダークエリアシールド付き
動作原理	DCスパッタリング	DCマグネトロンスパッタリング	DCマグネトロンスパッタリング	DC マグネトロンスパッタリング (オプションの RF マグネトロンスパッタリング)
寸法	424（L）×271（D）×255（H）んん	424（L）×271（D）×255（H）んん	420（L）×330（D）×335（H）んん	424（L）×345（D）×420（H）んん
利用可能なターゲット	オー、点など	オー、ポイント、Ag、銅、Sbなど	オー、ポイント、Ag、銅など	すべての金属、伊藤、あぞ、シ、てなど
標準ターゲット	オー	ポイント	ポイント	ポイント、クロム、W
対象サイズ	φ57×0.12mm	ポイント：φ57×0.12mm	φ57×0.12mm	ポイント：φ57×0.12mm，その他：φ57×1mm
スパッタリング電流	2-30mA 連続調整可能	5 ～ 45 mA 連続調整可能、ステップサイズ 1 mA	0-100mA 連続調整可能	0-200mA 連続調整可能、ステップサイズ 5mA
スパッタリング時間	1 ～ 999 秒の連続調整可能、ステップサイズ 2 秒	1 ～ 999 秒の連続調整可能、ステップサイズ 1 秒	1 ～ 999 秒の連続調整可能、ステップサイズ 0 秒	1 ～ 999 秒の連続調整可能、ステップサイズ 1 秒
真空室	高ホウケイ酸ガラス φ130×130mm	高ホウケイ酸ガラス φ130×130mm	高ホウケイ酸ガラス φ200×130mm	高ホウケイ酸ガラス φ200×130mm
真空ポンプ	ロータリーベーンポンプ、オプションのドライスクロールポンプ	ロータリーベーンポンプ、オプションのドライスクロールポンプ	ロータリーベーンポンプ、オプションのドライスクロールポンプ	分子ポンプ（内蔵）＋ロータリーベーンポンプ（外付け）
排気速度	1	≥1L/秒	1.1L/秒	90L/s（分子ポンプ）+1L/s（ロータリーベーンポンプ）
究極の真空	≤1Pa	≤1Pa	≤1Pa	≤5×10-3Pa（8分以内）
作業真空	2～30Pa	2～30Pa(対象物に対して)	4～20Pa	0.4～2Pa(対象物に対して)
画面	5インチカラータッチスクリーン、解像度800×480	5インチカラータッチスクリーン、解像度800×480	7型カラータッチスクリーン、解像度800×480	7型カラータッチスクリーン、解像度800×480
定格出力	500W	450W	500W	800W
入力電圧供給	標準 220V/50Hz オプション 110V/60Hz	標準 220V/50Hz オプション 110V/60Hz	標準 220V/50Hz オプション 110V/60Hz	標準 220V/50Hz オプション 110V/60Hz
ワーキングメディア	空気またはアルゴン	空気またはアルゴン	空気またはアルゴン	高純度アルゴン（アルゴン純度4N以上）
サンプルステージ	φ64mmステンレス製試料台	φ64mmステンレス製試料台	φ125mmステンレス製試料台	φ125mmステンレス製試料台
サンプルステージ速度	オプション	オプション	4-20rpm 調整可能	4-20rpm 調整可能
チルト回転サンプルステージ	いいえ	オプション	オプション	オプション
膜厚モニタリング	いいえ	オプション	オプション	オプション