Magnetron Ion Sputter Coater

Touch screen a colori da 7 pollici con controllo automatico della GUI intuitivo Non è necessario il controllo manuale

Sputtering del magnetron CC, corrente di sputtering 0-100 mA e tempo di sputtering 1-999 s regolabile in continuo

Bersaglio magnetron planare, con schermo per area oscura circostante, incluso bersaglio standard Pt o Au

Inclusa pompa rotativa a palette, (pompa a scorrimento a secco opzionale), velocità di pompaggio 1L/s, vuoto limite ≤1P

Aggiornamento opzionale: monitoraggio dello spessore del film, piattaforma di campionamento con rotazione inclinabile

Opto-Edu A50.704SerieRivestimento ionico e rivestimento in carbonio, è un sistema di verniciatura compatto in serie in grado di rivestiremetalli nobilicome l'oro (Au), palladio (Pd), platino (Pt) e film sottili di oro/palladio (Au/Pd) su campioni non conduttivi o scarsamente conduttivi. Uniformepellicole sottilicon pezzature a grana fine si formano in tempi di ciclo rapidi. Il film sottile prodotto è adatto permicroscopia elettronica a scansione(SEM) analisi e molti altri esperimenti di laboratoriont lavoro di preparazione del materiale. La scrivaniaMagnetron Coaterè uno strumento ad alta produttività che fornisce risultati coerenti e altamente ripetibili nel sistema completamente automatizzato. Il design ergonomico e l'ingombro ridotto delSistema di rivestimento SEMconsente un facile utilizzo delsistema.

Requisiti	Modello consigliato
Pellicola metallica e pellicola di carbonio	A50.7045 (basso vuoto, adatto per ingrandimenti inferiori a 100000x
Pellicola metallica e pellicola di carbonio	A50.7045-T (alto vuoto, adatto per ingrandimenti oltre 100000x)
Carbon Coating (campione di minerali, preparazione del campione di sonda elettronica ecc. per analisi dei componenti, EDS, EBSD ETC)	A50.7043
	A50.7043-T
Metallo sputacchiante	A50.7041 (ingrandimento effettivo inferiore a 50000x, SEM con filamento di tungsteno, SEM da tavolo)
(Au, Pt, Cr, W, ecc.)	A50.7042 (ingrandimento effettivo inferiore a 100000x, pistola a emissione di campo SEM)
	A50.7042-T (ingrandimento effettivo migliore di 100000x, pistola a emissione di campo SEM)
Elettrodo, dispositivo microelettronico fabbricato	A50.7041 (Au, rivestimento Pt)
	A50.7042 (Au, Pt, Ag, Cu, Zn, Im, Sn, ecc.)
	A50.7042-T (la maggior parte del rivestimento metallico, ITO, ossido di azo ecc.)
Scatola di guanti	A50.7042 versione personalizzata
Scatola di guanti	A50.7042-T versione personalizzata
Rivestimento cilindrico	A50.7042 versione personalizzata

Articolo	A50.7041	A50.7042	A50.7042-P	A50.7042-T
Bersaglio Sputtering	Bersaglio magnetron planare, con scudo area oscura circostante	Bersaglio magnetron planare, con scudo area oscura circostante	Bersaglio magnetron planare, con scudo area oscura circostante	Bersaglio magnetron planare, con scudo area oscura circostante
Principio di funzionamento	Sputtering CC	Sputtering di magnetron CC	Sputtering di magnetron CC	Sputtering magnetron CC (sputtering magnetron RF opzionale)
Dimensioni	424（l）×271（D）×255（H）mm	424（l）×271（D）×255（H）mm	420（l）×330（D）×335（H）mm	424（l）×345（D）×420（H）mm
Obiettivi disponibili	Au、Pt ecc	Au、pt、Ag、Cu、Sb ecc	Au、pt、Ag、Cu ecc	Tutto metallo、ITO、AZO、Sì、Te ecc
Obiettivo standard	Au	pt	pt	pt、Cr、W
Dimensione obiettivo	φ57 × 0,12 mm	pt：φ57 × 0,12 mm	φ57 × 0,12 mm	pt：φ57 × 0,12 mm，Altri：φ57×1 mm
Corrente di sputtering	2-30 mA regolabile in continuo	5-45 mA regolabile in continuo, passo 1mA	0-100 mA regolabile in continuo	0-200 mA regolabile in continuo, passo 5 mA
Tempo di sputare	1-999s regolabile in continuo, passo 2s	1-999s regolabile in continuo, passo 1s	1-999s regolabile in continuo, passo 0s	1-999s regolabile in continuo, passo 1s
Camera sottovuoto	Vetro borosilicato alto φ130×130mm	Vetro borosilicato alto φ130×130mm	Vetro borosilicato alto φ200×130mm	Vetro borosilicato alto φ200×130mm
Pompa a vuoto	Pompa rotativa a palette, pompa scroll a secco opzionale	Pompa rotativa a palette, pompa scroll a secco opzionale	Pompa rotativa a palette, pompa scroll a secco opzionale	Pompa molecolare (integrata) + pompa rotativa a palette (esterna)
Velocità di pompaggio	1	≥1L/sec	1,1 l/sec	90L/s (pompa molecolare)+1L/s (pompa rotativa a palette)
Vuoto definitivo	≤1Pa	≤1Pa	≤1Pa	≤5×10-3Pa (entro 8 minuti)
vuoto di lavoro	2-30Pa	2-30Pa (relativo all'obiettivo)	4-20Pa	0.4-2Pa (relativo all'obiettivo)
Schermo	Touch screen a colori da 5 pollici, risoluzione 800×480	Touch screen a colori da 5 pollici, risoluzione 800×480	Touch screen a colori da 7 pollici, risoluzione 800×480	Touch screen a colori da 7 pollici, risoluzione 800×480
potenza nominale	500W	450W	500W	800 W
Alimentazione di tensione in ingresso	Standard 220V/50Hz Opzionale 110V/60Hz	Standard 220V/50Hz Opzionale 110V/60Hz	Standard 220V/50Hz Opzionale 110V/60Hz	Standard 220V/50Hz Opzionale 110V/60Hz
Mezzo di lavoro	Aria o Argon	Aria o Argon	Aria o Argon	Argon di elevata purezza (purezza dell'argon 4N e superiore)
Fase campione	Portacampione in acciaio inossidabile φ64mm	Portacampione in acciaio inossidabile φ64mm	Portacampione in acciaio inossidabile φ125mm	Portacampione in acciaio inossidabile φ125mm
Campione di velocità della fase	Opzionale	Opzionale	4-20 giri regolabili	4-20 giri regolabili
Portacampioni inclinabile e ruotabile	No	Opzionale	Opzionale	Opzionale
Monitoraggio dello spessore del film	No	Opzionale	Opzionale	Opzionale

Pictures

Model No.

A50.7042-P

Distanza di lavoro

格式:1.0,或1.0~2.0

Scala di messa a fuoco

0,000000

Gamma di messa a fuoco

0,000000

Dimensione della fase di lavoro

Dimensione: 100x100 mm, Ø Dia.100 mm

Ingrandimento standard

10x

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