| Öğe | A50.7041 | A50.7042 | A50.7042-P | A50.7042-T |
| Püskürtme Hedefi | Çevreleyen karanlık alan kalkanı ile düzlemsel magnetron hedefi | Çevreleyen karanlık alan kalkanı ile düzlemsel magnetron hedefi | Çevreleyen karanlık alan kalkanı ile düzlemsel magnetron hedefi | Çevreleyen karanlık alan kalkanı ile düzlemsel magnetron hedefi |
| Çalışma prensibi | DC püskürtme | DC magnetron püskürtme | DC magnetron püskürtme | DC magnetron püskürtme (isteğe bağlı RF magnetron püskürtme) |
| boyutlar | 424(L)×271(D)×255(H)mm | 424(L)×271(D)×255(H)mm | 420(L)×330(D)×335(H)mm | 424(L)×345(D)×420(H)mm |
| Mevcut Hedefler | au、Nokta vb. | au、nokta、Ag、cu、vb. | au、nokta、Ag、Cu vb. | Hepsi metal、İTO、AZO、Si、vb. |
| Standart Hedef | au | nokta | nokta | nokta、cr、W |
| Hedef Boyut | φ57×0.12mm | nokta:φ57×0.12mm | φ57×0.12mm | nokta:φ57×0.12mm,Diğerleri:φ57×1mm |
| Püskürtme Akımı | 2-30mA sürekli ayarlanabilir | 5-45 mA sürekli ayarlanabilir, adım boyutu 1mA | 0-100mA sürekli ayarlanabilir | 0-200mA sürekli ayarlanabilir, adım boyutu 5mA |
| Püskürtme Süresi | 1-999s sürekli ayarlanabilir, adım boyutu 2s | 1-999s sürekli ayarlanabilir, adım boyutu 1s | 1-999s sürekli ayarlanabilir, adım boyutu 0s | 1-999s sürekli ayarlanabilir, adım boyutu 1s |
| Vakum Odası | Yüksek borosilikat cam φ130×130mm | Yüksek borosilikat cam φ130×130mm | Yüksek borosilikat cam φ200×130mm | Yüksek borosilikat cam φ200×130mm |
| Vakum pompası | Döner kanatlı pompa, isteğe bağlı kuru kaydırmalı pompa | Döner kanatlı pompa, isteğe bağlı kuru kaydırmalı pompa | Döner kanatlı pompa, isteğe bağlı kuru kaydırmalı pompa | Moleküler pompa (yerleşik) + döner kanatlı pompa (harici) |
| Pompalama Hızı | 1 | ≥1L/s | 1,1 L/sn | 90L/sn (moleküler pompa)+1L/sn (döner kanatlı pompa) |
| Nihai Vakum | ≤1 Pa | ≤1 Pa | ≤1 Pa | ≤5×10-3Pa (8 dakika içinde) |
| çalışma vakumu | 2-30Pa | 2-30Pa(hedef ile ilgili) | 4-20 Pa | 0.4-2Pa(hedef ile ilgili) |
| Görüntüle | 5 inç renkli dokunmatik ekran, çözünürlük 800×480 | 5 inç renkli dokunmatik ekran, çözünürlük 800×480 | 7 inç renkli dokunmatik ekran, çözünürlük 800×480 | 7 inç renkli dokunmatik ekran, çözünürlük 800×480 |
| Anma gücü | 500W | 450W | 500W | 800W |
| Giriş Gerilimi Beslemesi | Standart 220V/50Hz Opsiyonel 110V/60Hz | Standart 220V/50Hz Opsiyonel 110V/60Hz | Standart 220V/50Hz Opsiyonel 110V/60Hz | Standart 220V/50Hz Opsiyonel 110V/60Hz |
| Çalışma Ortamı | Hava veya Argon | Hava veya Argon | Hava veya Argon | Yüksek saflıkta argon (argon saflığı 4N ve üstü) |
| Örnek Aşama | φ64mm paslanmaz çelik numune tablası | φ64mm paslanmaz çelik numune tablası | φ125mm paslanmaz çelik numune tablası | φ125mm paslanmaz çelik numune tablası |
| Örnek Sahne Hızı | İsteğe bağlı | İsteğe bağlı | 4-20rpm ayarlanabilir | 4-20rpm ayarlanabilir |
| Eğme-döndürme Numune Aşaması | Numara | İsteğe bağlı | İsteğe bağlı | İsteğe bağlı |
| Film Kalınlığı İzleme | Numara | İsteğe bağlı | İsteğe bağlı | İsteğe bağlı |