| Предмет | А50.7041 | А50.7042 | А50.7042-П | А50.7042-Т |
| Распыление мишени | Планарная магнетронная мишень с окружающим затемненным экраном | Планарная магнетронная мишень с окружающим затемненным экраном | Планарная магнетронная мишень с окружающим затемненным экраном | Планарная магнетронная мишень с окружающим затемненным экраном |
| Принцип работы | напыление постоянным током | Магнетронное напыление постоянного тока | Магнетронное напыление постоянного тока | Магнетронное напыление постоянным током (дополнительное ВЧ-магнетронное напыление) |
| Размеры | 424（л）×271（Д）×255（ЧАС）мм | 424（л）×271（Д）×255（ЧАС）мм | 420（л）×330（Д）×335（ЧАС）мм | 424（л）×345（Д）×420（ЧАС）мм |
| Доступные цели | Au、Пт и т. д. | Au、Пт、Аг、Cu、Сб и т.д. | Au、Пт、Аг、Cu и т. д. | Все металлические、ИТО、АЗО、Си、Те и т.д. |
| Стандартная цель | Au | Пт | Пт | Пт、Кр、Вт |
| Целевой размер | φ57×0,12 мм | Пт：φ57×0,12 мм | φ57×0,12 мм | Пт：φ57×0,12 мм，Другие：φ57×1мм |
| Ток распыления | 2-30 мА с плавной регулировкой | 5-45 мА с плавной регулировкой, размер шага 1 мА | 0-100 мА с плавной регулировкой | 0-200 мА с плавной регулировкой, размер шага 5 мА |
| Время распыления | 1-999 с плавная регулировка, размер шага 2 с | 1-999с с плавной регулировкой, размер шага 1с | 1-999 с плавная регулировка, размер шага 0 с | 1-999с с плавной регулировкой, размер шага 1с |
| Вакуумная камера | Высококачественное боросиликатное стекло φ130×130 мм | Высококачественное боросиликатное стекло φ130×130 мм | Высококачественное боросиликатное стекло φ200×130 мм | Высококачественное боросиликатное стекло φ200×130 мм |
| Вакуумный насос | Ротационно-пластинчатый насос, дополнительный сухой спиральный насос | Ротационно-пластинчатый насос, дополнительный сухой спиральный насос | Ротационно-пластинчатый насос, дополнительный сухой спиральный насос | Молекулярный насос (встроенный) + пластинчато-роторный насос (внешний) |
| Скорость откачки | 1 | ≥1л/с | 1,1 л/с | 90 л/с (молекулярный насос)+1 л/с (пластинчатый насос) |
| Абсолютный вакуум | ≤1Па | ≤1Па | ≤1Па | ≤5×10-3 Па (в течение 8 минут) |
| рабочий вакуум | 2-30 Па | 2-30 Па (относительно цели) | 4-20Па | 0,4-2 Па (относительно цели) |
| отображать | 5-дюймовый цветной сенсорный экран, разрешение 800×480 | 5-дюймовый цветной сенсорный экран, разрешение 800×480 | 7-дюймовый цветной сенсорный экран, разрешение 800×480 | 7-дюймовый цветной сенсорный экран, разрешение 800×480 |
| номинальная мощность | 500 Вт | 450 Вт | 500 Вт | 800 Вт |
| Входное напряжение питания | Стандарт 220 В/50 Гц Дополнительно 110 В/60 Гц | Стандарт 220 В/50 Гц Дополнительно 110 В/60 Гц | Стандарт 220 В/50 Гц Дополнительно 110 В/60 Гц | Стандарт 220 В/50 Гц Дополнительно 110 В/60 Гц |
| Рабочая среда | Воздух или аргон | Воздух или аргон | Воздух или аргон | Аргон высокой чистоты (чистота аргона 4N и выше) |
| Этап образца | Предметный стол из нержавеющей стали диаметром 64 мм | Предметный стол из нержавеющей стали диаметром 64 мм | Столик для образцов из нержавеющей стали диаметром 125 мм | Столик для образцов из нержавеющей стали диаметром 125 мм |
| Скорость этапа выборки | По желанию | По желанию | 4-20 об/мин регулируемый | 4-20 об/мин регулируемый |
| Наклонно-поворотный столик для образцов | Нет | По желанию | По желанию | По желанию |
| Мониторинг толщины пленки | Нет | По желанию | По желанию | По желанию |
Pусский
English
Français
Español
Portugues
Deutsch
lingua italiana
العربية
Melayu
Filipino
Монгол хэл
dansk
Bahasa indonesia
日本語
한국어
Türk dili
Tiếng Việt
svenska
Nederlands
Norsk språk
Huang Xin