| item | A50.7041 | A50.7042 | A50.7042-P | A50.7042-T |
| Sasaran Sputtering | Sasaran magnetron planar, dengan perisai kawasan gelap di sekeliling | Sasaran magnetron planar, dengan perisai kawasan gelap di sekeliling | Sasaran magnetron planar, dengan perisai kawasan gelap di sekeliling | Sasaran magnetron planar, dengan perisai kawasan gelap di sekeliling |
| Prinsip Kerja | DC terpercik | DC magnetron terpercik | DC magnetron terpercik | Sputtering magnetron DC (sputtering magnetron RF pilihan) |
| Dimensi | 424(L)×271(D)×255(H)mm | 424(L)×271(D)×255(H)mm | 420(L)×330(D)×335(H)mm | 424(L)×345(D)×420(H)mm |
| Sasaran Tersedia | Au、Pt dll | Au、Pt、Ag、Cu、Sb dll | Au、Pt、Ag、Cu dll | Semua logam、ITO、AZO、Si、Te dll |
| Sasaran Standard | Au | Pt | Pt | Pt、Cr、W |
| Saiz Sasaran | φ57×0.12mm | Pt:φ57×0.12mm | φ57×0.12mm | Pt:φ57×0.12mm,Lain-lain:φ57×1mm |
| Arus Sputtering | 2-30mA boleh laras secara berterusan | 5-45 mA boleh laras berterusan, saiz langkah 1mA | 0-100mA boleh laras secara berterusan | 0-200mA boleh laras berterusan, saiz langkah 5mA |
| Masa Sputtering | 1-999s boleh laras berterusan, saiz langkah 2s | 1-999s boleh laras berterusan, saiz langkah 1s | 1-999s boleh laras berterusan, saiz langkah 0s | 1-999s boleh laras berterusan, saiz langkah 1s |
| Bilik Vakum | Kaca borosilikat tinggi φ130×130mm | Kaca borosilikat tinggi φ130×130mm | Kaca borosilikat tinggi φ200×130mm | Kaca borosilikat tinggi φ200×130mm |
| Pam Vakum | Pam ram berputar, pam skrol kering pilihan | Pam ram berputar, pam skrol kering pilihan | Pam ram berputar, pam skrol kering pilihan | Pam molekul (terbina dalam) + pam ram berputar (luaran) |
| Kelajuan Mengepam | 1 | ≥1L/s | 1.1L/s | 90L/s (pam molekul)+1L/s (pam ram berputar) |
| Vakum muktamad | ≤1Pa | ≤1Pa | ≤1Pa | ≤5×10-3Pa (dalam masa 8 minit) |
| vakum bekerja | 2-30Pa | 2-30Pa (berkaitan dengan sasaran) | 4-20Pa | 0.4-2Pa (berkaitan dengan sasaran) |
| paparan | Skrin sentuh berwarna 5 inci, resolusi 800×480 | Skrin sentuh berwarna 5 inci, resolusi 800×480 | Skrin sentuh berwarna 7-inci, resolusi 800×480 | Skrin sentuh berwarna 7-inci, resolusi 800×480 |
| kuasa undian | 500W | 450W | 500W | 800W |
| Bekalan Voltan Masukan | 220V/50Hz Standard 110V/60Hz Pilihan | 220V/50Hz Standard 110V/60Hz Pilihan | 220V/50Hz Standard 110V/60Hz Pilihan | 220V/50Hz Standard 110V/60Hz Pilihan |
| Medium Kerja | Udara atau Argon | Udara atau Argon | Udara atau Argon | Argon ketulenan tinggi (ketulenan argon 4N dan ke atas) |
| Peringkat Sampel | Peringkat sampel keluli tahan karat φ64mm | Peringkat sampel keluli tahan karat φ64mm | Peringkat sampel keluli tahan karat φ125mm | Peringkat sampel keluli tahan karat φ125mm |
| Contoh Kelajuan Peringkat | Pilihan | Pilihan | 4-20rpm boleh laras | 4-20rpm boleh laras |
| Peringkat Sampel Pusing condong | Tidak | Pilihan | Pilihan | Pilihan |
| Pemantauan Ketebalan Filem | Tidak | Pilihan | Pilihan | Pilihan |