| Item | A50.7041 | A50.7042 | A50.7042-P | A50.7042-T |
| Sputterend doelwit | Planair magnetrondoel, met omringend donker gebiedsscherm | Planair magnetrondoel, met omringend donker gebiedsscherm | Planair magnetrondoel, met omringend donker gebiedsscherm | Planair magnetrondoel, met omringend donker gebiedsscherm |
| Werkend principe | DC sputteren | DC-magnetron sputteren | DC-magnetron sputteren | DC magnetron sputteren (optionele RF magnetron sputteren) |
| Dimensies | 424(L)×271(D)×255(H)mm | 424(L)×271(D)×255(H)mm | 420(L)×330(D)×335(H)mm | 424(L)×345(D)×420(H)mm |
| Beschikbare doelen | Au、Pt enz | Au、Pt、Ag、Cu、Sb enz | Au、Pt、Ag、Cu enz | Volledig metaal、ITO、AZO、Si、Te enz |
| Standaard doel | Au | Pt | Pt | Pt、Kr、W |
| Doelgrootte | φ57×0,12 mm | Pt:φ57×0,12 mm | φ57×0,12 mm | Pt:φ57×0,12 mm,Anderen:φ57×1 mm |
| Sputterende stroom | 2-30mA traploos instelbaar | 5-45 mA traploos instelbaar, stapgrootte 1mA | 0-100mA traploos instelbaar | 0-200mA traploos instelbaar, stapgrootte 5mA |
| Sputterende tijd | 1-999s traploos instelbaar, stapgrootte 2s | 1-999s traploos instelbaar, stapgrootte 1s | 1-999s traploos instelbaar, stapgrootte 0s | 1-999s traploos instelbaar, stapgrootte 1s |
| Vacuüm kamer | Hoog borosilicaatglas φ130×130mm | Hoog borosilicaatglas φ130×130mm | Hoog borosilicaatglas φ200×130mm | Hoog borosilicaatglas φ200×130mm |
| Vacuum pomp | Draaischuifpomp, optionele droge scroll-pomp | Draaischuifpomp, optionele droge scroll-pomp | Draaischuifpomp, optionele droge scroll-pomp | Moleculaire pomp (ingebouwd) + schottenpomp (extern) |
| Pompsnelheid | 1 | ≥1L/sec | 1,1 l/sec | 90L/s (moleculaire pomp)+1L/s (roterende schoepenpomp) |
| Ultiem vacuüm | ≤1Pa | ≤1Pa | ≤1Pa | ≤5×10-3Pa (binnen 8 minuten) |
| werkend vacuüm | 2-30Pa | 2-30Pa (gerelateerd aan het doel) | 4-20Pa | 0.4-2Pa (gerelateerd aan het doel) |
| Scherm | 5-inch kleuren touchscreen, resolutie 800×480 | 5-inch kleuren touchscreen, resolutie 800×480 | 7-inch kleuren touchscreen, resolutie 800×480 | 7-inch kleuren touchscreen, resolutie 800×480 |
| nominaal vermogen | 500W | 450W | 500W | 800W |
| Ingangsspanning | Standaard 220V/50Hz Optioneel 110V/60Hz | Standaard 220V/50Hz Optioneel 110V/60Hz | Standaard 220V/50Hz Optioneel 110V/60Hz | Standaard 220V/50Hz Optioneel 110V/60Hz |
| Werkend medium | Lucht of Argon | Lucht of Argon | Lucht of Argon | Zeer zuiver argon (argonzuiverheid 4N en hoger) |
| Voorbeeld fase | φ64 mm roestvrijstalen monstertafel | φ64 mm roestvrijstalen monstertafel | φ125 mm roestvrijstalen monstertafel | φ125 mm roestvrijstalen monstertafel |
| Voorbeeld fasesnelheid | Optioneel | Optioneel | 4-20rpm instelbaar | 4-20rpm instelbaar |
| Kantel-roteer monstertafel | Nee | Optioneel | Optioneel | Optioneel |
| Laagdiktebewaking | Nee | Optioneel | Optioneel | Optioneel |