| Vare | A50.7041 | A50.7042 | A50.7042-P | A50.7042-T |
| Sputtering Target | Plan magnetronmål med omgivende mørkt område skjold | Plan magnetronmål med omgivende mørkt område skjold | Plan magnetronmål med omgivende mørkt område skjold | Plan magnetronmål med omgivende mørkt område skjold |
| Arbejdsprincip | DC sputtering | DC magnetron sputtering | DC magnetron sputtering | DC magnetron sputtering (valgfri RF magnetron sputtering) |
| Dimensioner | 424(L)×271(D)× 255(H)mm | 424(L)×271(D)× 255(H)mm | 420(L)×330(D)×335(H)mm | 424(L)×345(D)×420(H)mm |
| Tilgængelige mål | Au、Pt osv | Au、Pt、Ag、Cu、Sb osv | Au、Pt、Ag、Cu osv | Alt i metal、ITO、AZO、Si、Te osv |
| Standardmål | Au | Pt | Pt | Pt、Cr、W |
| Målstørrelse | φ57×0,12 mm | Pt:φ57×0,12 mm | φ57×0,12 mm | Pt:φ57×0,12 mm,Andre:φ57×1 mm |
| Sputtering Strøm | 2-30mA trinløst justerbar | 5-45 mA trinløst justerbar, trinstørrelse 1mA | 0-100mA trinløst justerbar | 0-200mA trinløst justerbar, trinstørrelse 5mA |
| Sputtering Time | 1-999s trinløst justerbar, trinstørrelse 2s | 1-999s trinløst justerbar, trinstørrelse 1s | 1-999s trinløst justerbar, trinstørrelse 0s | 1-999s trinløst justerbar, trinstørrelse 1s |
| Vakuumkammer | Højt borosilikatglas φ130×130mm | Højt borosilikatglas φ130×130mm | Højt borosilikatglas φ200×130mm | Højt borosilikatglas φ200×130mm |
| Vakuum pumpe | Roterende vingepumpe, valgfri tørscrollpumpe | Roterende vingepumpe, valgfri tørscrollpumpe | Roterende vingepumpe, valgfri tørscrollpumpe | Molekylær pumpe (indbygget) + roterende vingepumpe (ekstern) |
| Pumpehastighed | 1 | ≥1 l/s | 1,1 l/s | 90L/s (molekylær pumpe)+1L/s (roterende vingepumpe) |
| Ultimativt vakuum | ≤1 Pa | ≤1 Pa | ≤1 Pa | ≤5×10-3Pa (inden for 8 minutter) |
| arbejdsvakuum | 2-30 Pa | 2-30Pa (relateret til målet) | 4-20 Pa | 0,4-2Pa (relateret til målet) |
| Skærm | 5-tommer farvetouchskærm, opløsning 800×480 | 5-tommer farvetouchskærm, opløsning 800×480 | 7-tommer farvetouchskærm, opløsning 800×480 | 7-tommer farvetouchskærm, opløsning 800×480 |
| nominel effekt | 500W | 450W | 500W | 800W |
| Indgangsspændingsforsyning | Standard 220V/50Hz Valgfri 110V/60Hz | Standard 220V/50Hz Valgfri 110V/60Hz | Standard 220V/50Hz Valgfri 110V/60Hz | Standard 220V/50Hz Valgfri 110V/60Hz |
| Arbejdsmedium | Luft eller argon | Luft eller argon | Luft eller argon | Højrenhedsargon (argonrenhed 4N og derover) |
| Prøvestadie | φ64 mm prøvetrin i rustfrit stål | φ64 mm prøvetrin i rustfrit stål | φ125 mm prøvetrin i rustfrit stål | φ125 mm prøvetrin i rustfrit stål |
| Sample Stage Speed | Valgfri | Valgfri | Justerbar 4-20 rpm | Justerbar 4-20 rpm |
| Vip-roter prøvetrin | Ingen | Valgfri | Valgfri | Valgfri |
| Overvågning af filmtykkelse | Ingen | Valgfri | Valgfri | Valgfri |