| Punkt | A50.7041 | A50.7042 | A50.7042-P | A50.7042-T |
| Sputtering mål | Plan magnetronmål, med omgivende mørkt områdeskjold | Plan magnetronmål, med omgivende mørkt områdeskjold | Plan magnetronmål, med omgivende mørkt områdeskjold | Plan magnetronmål, med omgivende mørkt områdeskjold |
| Arbeidsprinsipp | DC sputtering | DC magnetron sputtering | DC magnetron sputtering | DC magnetron sputtering (valgfri RF magnetron sputtering) |
| Dimensjoner | 424(L)×271(D)×255(H)mm | 424(L)×271(D)×255(H)mm | 420(L)×330(D)×335(H)mm | 424(L)×345(D)×420(H)mm |
| Tilgjengelige mål | Au、Pt osv | Au、Pt、Ag、Cu、Sb osv | Au、Pt、Ag、Cu osv | Helt metall、ITO、AZO、Si、Te osv |
| Standard mål | Au | Pt | Pt | Pt、Cr、W |
| Målstørrelse | φ57×0,12 mm | Pt:φ57×0,12 mm | φ57×0,12 mm | Pt:φ57×0,12 mm,Andre:φ57×1 mm |
| Sputtering Strøm | 2-30mA trinnløst justerbar | 5-45 mA trinnløst justerbar, trinnstørrelse 1mA | 0-100mA trinnløst justerbar | 0-200mA trinnløst justerbar, trinnstørrelse 5mA |
| Sputtering Time | 1-999s trinnløst justerbar, trinnstørrelse 2s | 1-999s trinnløst justerbar, trinnstørrelse 1s | 1-999s kontinuerlig justerbar, trinnstørrelse 0s | 1-999s trinnløst justerbar, trinnstørrelse 1s |
| Vakuum-kammer | Høyt borosilikatglass φ130×130mm | Høyt borosilikatglass φ130×130mm | Høyt borosilikatglass φ200×130mm | Høyt borosilikatglass φ200×130mm |
| Støvsuger pumpe | Roterende vingepumpe, valgfri tørrscrollpumpe | Roterende vingepumpe, valgfri tørrscrollpumpe | Roterende vingepumpe, valgfri tørrscrollpumpe | Molekylær pumpe (innebygd) + roterende vingepumpe (ekstern) |
| Pumpehastighet | 1 | ≥1L/s | 1,1 l/s | 90L/s (molekylær pumpe)+1L/s (roterende vingepumpe) |
| Ultimativt vakuum | ≤1 Pa | ≤1 Pa | ≤1 Pa | ≤5×10-3Pa (innen 8 minutter) |
| arbeidsvakuum | 2-30 Pa | 2-30Pa (relatert til målet) | 4-20 Pa | 0,4-2Pa (relatert til målet) |
| vise | 5-tommers fargeberøringsskjerm, oppløsning 800×480 | 5-tommers fargeberøringsskjerm, oppløsning 800×480 | 7-tommers fargeberøringsskjerm, oppløsning 800×480 | 7-tommers fargeberøringsskjerm, oppløsning 800×480 |
| nominell effekt | 500W | 450W | 500W | 800W |
| Inngangsspenningsforsyning | Standard 220V/50Hz Valgfri 110V/60Hz | Standard 220V/50Hz Valgfri 110V/60Hz | Standard 220V/50Hz Valgfri 110V/60Hz | Standard 220V/50Hz Valgfri 110V/60Hz |
| Arbeidsmedium | Luft eller argon | Luft eller argon | Luft eller argon | Høyrent argon (argonrenhet 4N og høyere) |
| Eksempel på scenen | φ64mm prøvetrinn i rustfritt stål | φ64mm prøvetrinn i rustfritt stål | φ125mm prøvetrinn i rustfritt stål | φ125mm prøvetrinn i rustfritt stål |
| Sample Stage Speed | Valgfri | Valgfri | Justerbar 4-20rpm | Justerbar 4-20rpm |
| Tilt-roter Sample Stage | Nei | Valgfri | Valgfri | Valgfri |
| Overvåking av filmtykkelse | Nei | Valgfri | Valgfri | Valgfri |