Norsk språk
English
Pусский
Français
Español
Portugues
Deutsch
lingua italiana
العربية
Melayu
Filipino
Монгол хэл
dansk
Bahasa indonesia
日本語
한국어
Türk dili
Tiếng Việt
svenska
Nederlands
| Punkt | A50.7041 | A50.7042 | A50.7042-P | A50.7042-T |
| Sputtering mål | Plan magnetronmål, med omgivende mørkt områdeskjold | Plan magnetronmål, med omgivende mørkt områdeskjold | Plan magnetronmål, med omgivende mørkt områdeskjold | Plan magnetronmål, med omgivende mørkt områdeskjold |
| Arbeidsprinsipp | DC sputtering | DC magnetron sputtering | DC magnetron sputtering | DC magnetron sputtering (valgfri RF magnetron sputtering) |
| Dimensjoner | 424（L）×271（D）×255（H）mm | 424（L）×271（D）×255（H）mm | 420（L）×330（D）×335（H）mm | 424（L）×345（D）×420（H）mm |
| Tilgjengelige mål | Au、Pt osv | Au、Pt、Ag、Cu、Sb osv | Au、Pt、Ag、Cu osv | Helt metall、ITO、AZO、Si、Te osv |
| Standard mål | Au | Pt | Pt | Pt、Cr、W |
| Målstørrelse | φ57×0,12 mm | Pt：φ57×0,12 mm | φ57×0,12 mm | Pt：φ57×0,12 mm，Andre：φ57×1 mm |
| Sputtering Strøm | 2-30mA trinnløst justerbar | 5-45 mA trinnløst justerbar, trinnstørrelse 1mA | 0-100mA trinnløst justerbar | 0-200mA trinnløst justerbar, trinnstørrelse 5mA |
| Sputtering Time | 1-999s trinnløst justerbar, trinnstørrelse 2s | 1-999s trinnløst justerbar, trinnstørrelse 1s | 1-999s kontinuerlig justerbar, trinnstørrelse 0s | 1-999s trinnløst justerbar, trinnstørrelse 1s |
| Vakuum-kammer | Høyt borosilikatglass φ130×130mm | Høyt borosilikatglass φ130×130mm | Høyt borosilikatglass φ200×130mm | Høyt borosilikatglass φ200×130mm |
| Støvsuger pumpe | Roterende vingepumpe, valgfri tørrscrollpumpe | Roterende vingepumpe, valgfri tørrscrollpumpe | Roterende vingepumpe, valgfri tørrscrollpumpe | Molekylær pumpe (innebygd) + roterende vingepumpe (ekstern) |
| Pumpehastighet | 1 | ≥1L/s | 1,1 l/s | 90L/s (molekylær pumpe)+1L/s (roterende vingepumpe) |
| Ultimativt vakuum | ≤1 Pa | ≤1 Pa | ≤1 Pa | ≤5×10-3Pa (innen 8 minutter) |
| arbeidsvakuum | 2-30 Pa | 2-30Pa (relatert til målet) | 4-20 Pa | 0,4-2Pa (relatert til målet) |
| vise | 5-tommers fargeberøringsskjerm, oppløsning 800×480 | 5-tommers fargeberøringsskjerm, oppløsning 800×480 | 7-tommers fargeberøringsskjerm, oppløsning 800×480 | 7-tommers fargeberøringsskjerm, oppløsning 800×480 |
| nominell effekt | 500W | 450W | 500W | 800W |
| Inngangsspenningsforsyning | Standard 220V/50Hz Valgfri 110V/60Hz | Standard 220V/50Hz Valgfri 110V/60Hz | Standard 220V/50Hz Valgfri 110V/60Hz | Standard 220V/50Hz Valgfri 110V/60Hz |
| Arbeidsmedium | Luft eller argon | Luft eller argon | Luft eller argon | Høyrent argon (argonrenhet 4N og høyere) |
| Eksempel på scenen | φ64mm prøvetrinn i rustfritt stål | φ64mm prøvetrinn i rustfritt stål | φ125mm prøvetrinn i rustfritt stål | φ125mm prøvetrinn i rustfritt stål |
| Sample Stage Speed | Valgfri | Valgfri | Justerbar 4-20rpm | Justerbar 4-20rpm |
| Tilt-roter Sample Stage | Nei | Valgfri | Valgfri | Valgfri |
| Overvåking av filmtykkelse | Nei | Valgfri | Valgfri | Valgfri |
| Ion Sputter Coater | |||||
   
|  | Arbeidsprinsipp: DC sputtering | |||
| Tilgjengelige mål: Au, Pt etc. | |||||
| Vakuumkammer: Høyt borosilikatglass φ130×130mm | |||||
| Ultimativt vakuum: ≤1 Pa | |||||
| Prøvetrinn: φ64mm prøvetrinn i rustfritt stål | |||||
| A50.7042 | Arbeidsprinsipp: DC magnetronsputtering | ||||
| Tilgjengelige mål: Au, Pt, Ag, Cu, Sb etc. | |||||
| Standard mål: Pt, φ57×0,12 mm (kan erstattes med et gullmål gratis) | |||||
| Valgfritt: Filmtykkelsesmonitor, Tilt-roter prøvetrinn | |||||
| A50.7042-P | Arbeidsprinsipp: DC magnetronsputtering | ||||
| Tilgjengelige mål: Au, Pt, Ag, Cu etc. | |||||
| Standard mål: Pt, φ57×0,12 mm (kan erstattes med et gullmål gratis) | |||||
| Valgfritt: Filmtykkelsesmonitor, Tilt-roter prøvetrinn | |||||
| A50.7042-T | Arbeidsprinsipp: DC-magnetronsputtering (valgfri RF-magnetronsputtering) | ||||
| Tilgjengelige mål: Helt metall, ITO, AZO, Si, Te, etc. | |||||
| Standard målmateriale: Pt, Cr, W, ett edelt metall, to ikke-edle metaller | |||||
| Valgfritt: Filmtykkelsesmonitor, Tilt-roter prøvetrinn | |||||
  
| |||||
| A50.7043 | Arbeidsmodus: Termisk fordampning | ||||
| Fordampningsmodus: Kontinuerlig og pulsmodus | |||||
| Karbonfiber: Karbonfiber 10 stk, Dia.0,8mm, lengde 1m. | |||||
| Valgfritt: Filmtykkelsesmonitor, Tilt-roter prøvetrinn | |||||
| A50.7043-T | Arbeidsmodus: Termisk fordampning | ||||
| Fordampningsmodus: Kontinuerlig og pulsmodus | |||||
| Karbonfiber: Karbonfiber 10 stk, Dia.0,8mm, lengde 1m. | |||||
| Valgfritt: Filmtykkelsesmonitor, Tilt-roter prøvetrinn | |||||
| |||||
| A50.7045 |  | Arbeidsmodus: Sputtering Coating + Termisk fordampning Carbon Coating | |||
| Standard mål: Pt eller Au 1 stk, φ57×0,12mm | |||||
| Valgfritt: Filmtykkelsesmonitor, Tilt-roter prøvetrinn | |||||
| A50.7045-T | Arbeidsmodus: Sputtering Coating + Termisk fordampning Carbon Coating | ||||
| Standard mål: Pt, Cr, W, hver 1 stk; Pt：φ57×0,12 mm; Cr, B：φ57×1mm | |||||
| Valgfritt: Filmtykkelsesmonitor, Tilt-roter prøvetrinn | |||||
| Krav | Anbefaler modell |
| Metallfilm og karbonfilm | A50.7045 (Lavt vakuum, egnet for forstørrelse mindre enn 100 000x |
| A50.7045-T (høyvakuum, egnet for forstørrelse over 100 000x) | |
| Karbonbelegg (malmprøve, klargjøring av elektronsondeprøver etc for komponentanalyse, EDS, EBSD ETC) | A50.7043 |
| A50.7043-T | |
| Sputtering metall | A50.7041 (Faktisk forstørrelse mindre enn 50 000x, Tungsten filament SEM, bordplate SEM) |
| (Au, Pt, Cr, W, etc.) | A50.7042 (faktisk forstørrelse mindre enn 100 000x, feltemisjonspistol SEM) |
| A50.7042-T (faktisk forstørrelse bedre enn 100 000x, feltemisjonspistol SEM) | |
| Elektrode, mikroelektronisk enhetsfabrikasjon | A50.7041 (Au, Pt-belegg) |
| A50.7042 (Au, Pt, Ag, Cu, Zn, Im, Sn, etc.) | |
| A50.7042-T (Det meste av metallbelegget, ITO, AZO Oxide etc.) | |
| Hanskerom | A50.7042 tilpasset versjon |
| A50.7042-T tilpasset versjon | |
| Sylindrisk belegg | A50.7042 tilpasset versjon |
Huang Xin