Монгол хэл
English
Pусский
Français
Español
Portugues
Deutsch
lingua italiana
العربية
Melayu
Filipino
dansk
Bahasa indonesia
日本語
한국어
Türk dili
Tiếng Việt
svenska
Nederlands
Norsk språk
| Зүйл | A50.7041 | A50.7042 | A50.7042-P | A50.7042-T |
| Sputtering Target | Хавтгай магнетрон зорилтот, эргэн тойрон дахь харанхуй талбайн бамбай | Хавтгай магнетрон зорилтот, эргэн тойрон дахь харанхуй талбайн бамбай | Хавтгай магнетрон зорилтот, эргэн тойрон дахь харанхуй талбайн бамбай | Хавтгай магнетрон зорилтот, эргэн тойрон дахь харанхуй талбайн бамбай |
| Ажлын зарчим | DC цацах | DC магнетрон цацах | DC магнетрон цацах | DC магнетрон цацах (заавал биш RF магнетрон цацах) |
| Хэмжээ | 424（Л）×271（Д）×255（Х）мм | 424（Л）×271（Д）×255（Х）мм | 420（Л）×330（Д）×335（Х）мм | 424（Л）×345（Д）×420（Х）мм |
| Боломжтой зорилтууд | Au、Pt гэх мэт | Au、Pt、Аг、Cu、Sb гэх мэт | Au、Pt、Аг、Cu гэх мэт | Бүх металл、ITO、АЗО、Си、Те гэх мэт |
| Стандарт зорилт | Au | Pt | Pt | Pt、Кр、В |
| Зорилтот хэмжээ | φ57×0.12мм | Pt：φ57×0.12мм | φ57×0.12мм | Pt：φ57×0.12мм，Бусад：φ57×1мм |
| Шүрших гүйдэл | 2-30мА тасралтгүй тохируулах боломжтой | 5-45 мА тасралтгүй тохируулж, алхамын хэмжээ 1мА | 0-100мА тасралтгүй тохируулах боломжтой | 0-200мА тасралтгүй тохируулж, алхамын хэмжээ 5мА |
| Цацах цаг | 1-999с тасралтгүй тохируулж, алхамын хэмжээ 2с | 1-999с тасралтгүй тохируулж, алхамын хэмжээ 1с | 1-999с тасралтгүй тохируулж, алхамын хэмжээ 0с | 1-999с тасралтгүй тохируулж, алхамын хэмжээ 1с |
| Вакуум танхим | Өндөр боросиликатын шил φ130×130мм | Өндөр боросиликатын шил φ130×130мм | Өндөр боросиликатын шил φ200×130мм | Өндөр боросиликатын шил φ200×130мм |
| Вакуум насос | Эргэдэг сэнсний насос, нэмэлт хуурай гүйлгэх насос | Эргэдэг сэнсний насос, нэмэлт хуурай гүйлгэх насос | Эргэдэг сэнсний насос, нэмэлт хуурай гүйлгэх насос | Молекулын насос (барьсан) + эргэлтэт сэнстэй насос (гадаад) |
| Ус шахах хурд | 1 | ≥1л/с | 1.1л/с | 90л/с (молекулын насос)+1л/с (эргэдэг сэнстэй насос) |
| Эцсийн вакуум | ≤1Па | ≤1Па | ≤1Па | ≤5×10-3Па (8 минутын дотор) |
| ажлын вакуум | 2-30 Па | 2-30Па(зорилттой холбоотой) | 4-20 Па | 0.4-2Па(зорилттой холбоотой) |
| харуулах | 5 инчийн өнгөт мэдрэгчтэй дэлгэц, нягтрал 800 × 480 | 5 инчийн өнгөт мэдрэгчтэй дэлгэц, нягтрал 800 × 480 | 7 инчийн өнгөт мэдрэгчтэй дэлгэц, нягтрал 800 × 480 | 7 инчийн өнгөт мэдрэгчтэй дэлгэц, нягтрал 800 × 480 |
| нэрлэсэн эрчим хүч | 500 Вт | 450 Вт | 500 Вт | 800 Вт |
| Оролтын хүчдэлийн хангамж | Стандарт 220V/50Hz Нэмэлт 110V/60Hz | Стандарт 220V/50Hz Нэмэлт 110V/60Hz | Стандарт 220V/50Hz Нэмэлт 110V/60Hz | Стандарт 220V/50Hz Нэмэлт 110V/60Hz |
| Ажлын орчин | Агаар эсвэл Аргон | Агаар эсвэл Аргон | Агаар эсвэл Аргон | Өндөр цэвэршилттэй аргон (аргоны цэвэршилт 4N ба түүнээс дээш) |
| Жишээ шат | φ64мм зэвэрдэггүй ган дээжийн үе шат | φ64мм зэвэрдэггүй ган дээжийн үе шат | φ125мм зэвэрдэггүй ган дээжийн үе шат | φ125мм зэвэрдэггүй ган дээжийн үе шат |
| Дээжийн шатны хурд | Сонголттой | Сонголттой | 4-20 эрг / мин тохируулж болно | 4-20 эрг / мин тохируулж болно |
| Дээжийн үе шатыг хазайлган эргүүлэх | Үгүй | Сонголттой | Сонголттой | Сонголттой |
| Киноны зузааныг хянах | Үгүй | Сонголттой | Сонголттой | Сонголттой |
| Ион цацагч | |||||
   
|  | Ажиллах зарчим: тогтмол гүйдлийн шүрших | |||
| Боломжтой зорилтууд: Au, Pt гэх мэт. | |||||
| Вакуум камер: Өндөр боросиликатын шил φ130×130мм | |||||
| Хамгийн дээд вакуум: ≤1Па | |||||
| Дээжийн үе шат: φ64мм зэвэрдэггүй ган дээжийн үе шат | |||||
| A50.7042 | Ажлын зарчим: тогтмол гүйдлийн магнетрон цацах | ||||
| Боломжтой зорилтууд: Au, Pt, Ag, Cu, Sb гэх мэт. | |||||
| Стандарт зорилт: Pt, φ57×0.12мм(алтан байгаар үнэ төлбөргүй сольж болно) | |||||
| Нэмэлт: Киноны зузааныг хянах, Налуу эргүүлэх дээжийн үе шат | |||||
| A50.7042-P | Ажлын зарчим: тогтмол гүйдлийн магнетрон цацах | ||||
| Боломжтой зорилтууд: Au, Pt, Ag, Cu гэх мэт. | |||||
| Стандарт зорилт: Pt, φ57×0.12мм(алтан байгаар үнэ төлбөргүй сольж болно) | |||||
| Нэмэлт: Киноны зузааныг хянах, Налуу эргүүлэх дээжийн үе шат | |||||
| A50.7042-T | Ажиллах зарчим: DC магнетрон цацах (заавал биш RF магнетрон цацах) | ||||
| Боломжтой зорилтууд: Бүх металл, ITO, AZO, Si, Te гэх мэт. | |||||
| Стандарт зорилтот материал: Pt, Cr, W, нэг үнэт металл, хоёр үнэт бус металл | |||||
| Нэмэлт: Киноны зузааныг хянах, Налуу эргүүлэх дээжийн үе шат | |||||
  
| |||||
| A50.7043 | Ажлын горим: Дулааны ууршилт | ||||
| Ууршилтын горим: Тасралтгүй болон импульсийн горимууд | |||||
| Нүүрстөрөгчийн шилэн: Нүүрстөрөгчийн файбер 10 ширхэг, Диа.0.8мм, урт 1м. | |||||
| Нэмэлт: Киноны зузааныг хянах, Налуу эргүүлэх дээжийн үе шат | |||||
| A50.7043-T | Ажлын горим: Дулааны ууршилт | ||||
| Ууршилтын горим: Тасралтгүй болон импульсийн горимууд | |||||
| Нүүрстөрөгчийн шилэн: Нүүрстөрөгчийн файбер 10 ширхэг, Диа.0.8мм, урт 1м. | |||||
| Нэмэлт: Киноны зузааныг хянах, Налуу эргүүлэх дээжийн үе шат | |||||
| |||||
| A50.7045 |  | Ажлын горим: Шүрших бүрэх + Дулаан ууршуулах нүүрстөрөгчийн бүрэх | |||
| Стандарт зорилтот: Pt эсвэл Au 1 pc, φ57×0.12мм | |||||
| Нэмэлт: Киноны зузааныг хянах, Налуу эргүүлэх дээжийн үе шат | |||||
| A50.7045-T | Ажлын горим: Шүрших бүрэх + Дулаан ууршуулах нүүрстөрөгчийн бүрэх | ||||
| Стандарт зорилтот: Pt, Cr, W, тус бүр 1 ширхэг; Pt:φ57×0.12мм; Cr, W:φ57×1мм | |||||
| Нэмэлт: Киноны зузааныг хянах, Налуу эргүүлэх дээжийн үе шат | |||||
| Шаардлага | Санал болгож буй загвар |
| Металл хальс ба нүүрстөрөгчийн хальс | A50.7045 (Бага вакуум, 100000x-ээс бага томруулахад тохиромжтой |
| A50.7045-T (Өндөр вакуум, 100000x-аас дээш томруулахад тохиромжтой) | |
| Нүүрстөрөгчийн бүрээс (хүдрийн дээж, бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн шинжилгээнд зориулж электрон сорьцын дээж бэлтгэх, EDS, EBSD гэх мэт) | A50.7043 |
| A50.7043-T | |
| Металл цацах | A50.7041 (Бодит томруулалт 50000x-аас бага, гянт болдын судалтай SEM, ширээний дээд SEM) |
| (Au, Pt, Cr, W гэх мэт) | A50.7042 (Бодит томруулалт 100000x-аас бага, Хээрийн ялгаруулалтын бууны SEM) |
| A50.7042-T (Бодит томруулалт нь 100000x-аас илүү, Хээрийн ялгаруулалтын бууны SEM) | |
| Электрод, микро электрон төхөөрөмж үйлдвэрлэх | A50.7041 (Au, Pt бүрэх) |
| A50.7042 (Au, Pt, Ag, Cu, Zn, Im, Sn гэх мэт) | |
| A50.7042-T (Ихэнх металл бүрээс, ITO, AZO оксид гэх мэт) | |
| Бээлий хайрцаг | A50.7042 тохируулсан хувилбар |
| A50.7042-T тохируулсан хувилбар | |
| Цилиндр бүрхүүл | A50.7042 тохируулсан хувилбар |
Huang Xin