Tiếng Việt
English
Pусский
Français
Español
Portugues
Deutsch
lingua italiana
العربية
Melayu
Filipino
Монгол хэл
dansk
Bahasa indonesia
日本語
한국어
Türk dili
svenska
Nederlands
Norsk språk
| Mục | A50.7041 | A50.7042 | A50.7042-P | A50.7042-T |
| Mục tiêu phún xạ | Mục tiêu bằng magnetron phẳng, với lá chắn vùng tối xung quanh | Mục tiêu bằng magnetron phẳng, với lá chắn vùng tối xung quanh | Mục tiêu bằng magnetron phẳng, với lá chắn vùng tối xung quanh | Mục tiêu bằng magnetron phẳng, với lá chắn vùng tối xung quanh |
| Nguyên tắc làm việc | Phún xạ DC | Phún xạ magnetron DC | Phún xạ magnetron DC | Phún xạ magnetron DC (phún xạ magnetron RF tùy chọn) |
| Kích thước | 424（L）× 271（D）× 255（H）mm | 424（L）× 271（D）× 255（H）mm | 420（L）× 330（D）× 335（H）mm | 424（L）×345（D）×420（H）mm |
| Các mục tiêu có sẵn | Au、Pt vv | Au、Pt、Ag、Cu、Sb vv | Au、Pt、Ag、Cu vv | Tất cả các kim loại、ITO、AZO、Si、Te vv |
| Mục tiêu tiêu chuẩn | Au | Pt | Pt | Pt、Cr、W |
| Kích thước mục tiêu | φ57 × 0,12mm | Pt：φ57 × 0,12mm | φ57 × 0,12mm | Pt：φ57 × 0,12mm，Khác：φ57 × 1mm |
| Phún xạ hiện tại | 2-30mA có thể điều chỉnh liên tục | 5-45 mA có thể điều chỉnh liên tục, kích thước bước 1mA | 0-100mA liên tục có thể điều chỉnh | 0-200mA có thể điều chỉnh liên tục, kích thước bước 5mA |
| Thời gian phún xạ | Điều chỉnh liên tục 1-999 giây, kích thước bước 2 giây | Điều chỉnh liên tục 1-999 giây, kích thước bước 1 giây | Điều chỉnh liên tục 1-999 giây, kích thước bước 0 giây | Điều chỉnh liên tục 1-999 giây, kích thước bước 1 giây |
| Buồng chân không | Thủy tinh borosilicat cao φ130 × 130mm | Thủy tinh borosilicat cao φ130 × 130mm | Thủy tinh borosilicat cao φ200 × 130mm | Thủy tinh borosilicat cao φ200 × 130mm |
| Bơm chân không | Bơm cánh gạt, bơm cuộn khô tùy chọn | Bơm cánh gạt, bơm cuộn khô tùy chọn | Bơm cánh gạt, bơm cuộn khô tùy chọn | Bơm phân tử (gắn trong) + bơm cánh quay (ngoài) |
| Tốc độ bơm | 1 | ≥1L / s | 1.1L / s | 90L / s (bơm phân tử) + 1L / s (bơm cánh quay) |
| Chân không tối ưu | ≤1Pa | ≤1Pa | ≤1Pa | ≤5 × 10-3Pa (trong vòng 8 phút) |
| chân không làm việc | 2-30Pa | 2-30Pa (liên quan đến mục tiêu) | 4-20Pa | 0,4-2Pa (liên quan đến mục tiêu) |
| trưng bày | Màn hình cảm ứng màu 5 inch, độ phân giải 800 × 480 | Màn hình cảm ứng màu 5 inch, độ phân giải 800 × 480 | Màn hình màu cảm ứng 7 inch, độ phân giải 800 × 480 | Màn hình màu cảm ứng 7 inch, độ phân giải 800 × 480 |
| công suất định mức | 500W | 450W | 500W | 800W |
| Cung cấp điện áp đầu vào | Tiêu chuẩn 220V / 50Hz Tùy chọn 110V / 60Hz | Tiêu chuẩn 220V / 50Hz Tùy chọn 110V / 60Hz | Tiêu chuẩn 220V / 50Hz Tùy chọn 110V / 60Hz | Tiêu chuẩn 220V / 50Hz Tùy chọn 110V / 60Hz |
| Phương tiện làm việc | Air hoặc Argon | Air hoặc Argon | Air hoặc Argon | Argon có độ tinh khiết cao (độ tinh khiết của argon 4N trở lên) |
| Giai đoạn mẫu | Giai đoạn mẫu thép không gỉ φ64mm | Giai đoạn mẫu thép không gỉ φ64mm | Giai đoạn mẫu thép không gỉ φ125mm | Giai đoạn mẫu thép không gỉ φ125mm |
| Tốc độ giai đoạn mẫu | Không bắt buộc | Không bắt buộc | 4-20 vòng / phút có thể điều chỉnh | 4-20 vòng / phút có thể điều chỉnh |
| Giai đoạn mẫu xoay nghiêng | Không | Không bắt buộc | Không bắt buộc | Không bắt buộc |
| Giám sát độ dày màng | Không | Không bắt buộc | Không bắt buộc | Không bắt buộc |
| Bộ phủ sóng ion | |||||
   
|  | Nguyên lý làm việc: phún xạ DC | |||
| Các mục tiêu có sẵn: Au, Pt, v.v. | |||||
| Buồng chân không: Thủy tinh borosilicat cao φ130 × 130mm | |||||
| Chân không cuối cùng: ≤1Pa | |||||
| Giai đoạn mẫu: Giai đoạn mẫu thép không gỉ φ64mm | |||||
| A50.7042 | Nguyên lý làm việc: phún xạ magnetron DC | ||||
| Các mục tiêu có sẵn: Au, Pt, Ag, Cu, Sb, v.v. | |||||
| Mục tiêu tiêu chuẩn: Pt, φ57 × 0,12mm (có thể được thay thế bằng mục tiêu vàng miễn phí) | |||||
| Tùy chọn: Màn hình độ dày màng, Giai đoạn mẫu xoay nghiêng | |||||
| A50.7042-P | Nguyên lý làm việc: phún xạ magnetron DC | ||||
| Các mục tiêu có sẵn: Au, Pt, Ag, Cu, v.v. | |||||
| Mục tiêu tiêu chuẩn: Pt, φ57 × 0,12mm (có thể được thay thế bằng mục tiêu vàng miễn phí) | |||||
| Tùy chọn: Màn hình độ dày màng, Giai đoạn mẫu xoay nghiêng | |||||
| A50.7042-T | Nguyên lý làm việc: phún xạ magnetron DC (phún xạ magnetron RF tùy chọn) | ||||
| Các mục tiêu có sẵn: Tất cả kim loại, ITO, AZO, Si, Te, v.v. | |||||
| Vật liệu mục tiêu tiêu chuẩn: Pt, Cr, W, một kim loại quý, hai kim loại không quý | |||||
| Tùy chọn: Màn hình độ dày màng, Giai đoạn mẫu xoay nghiêng | |||||
  
| |||||
| A50.7043 | Chế độ làm việc: Bốc hơi nhiệt | ||||
| Chế độ bay hơi: Chế độ liên tục và xung | |||||
| Sợi carbon: Sợi carbon 10 chiếc, Đường kính 0,8mm, chiều dài 1m. | |||||
| Tùy chọn: Màn hình độ dày màng, Giai đoạn mẫu xoay nghiêng | |||||
| A50.7043-T | Chế độ làm việc: Bốc hơi nhiệt | ||||
| Chế độ bay hơi: Chế độ liên tục và xung | |||||
| Sợi carbon: Sợi carbon 10 chiếc, Đường kính 0,8mm, chiều dài 1m. | |||||
| Tùy chọn: Màn hình độ dày màng, Giai đoạn mẫu xoay nghiêng | |||||
| |||||
| A50.7045 |  | Chế độ làm việc: Lớp phủ phún xạ + Lớp phủ carbon bay hơi nhiệt | |||
| Mục tiêu tiêu chuẩn: Pt hoặc Au 1 pc, φ57 × 0,12mm | |||||
| Tùy chọn: Màn hình độ dày màng, Giai đoạn mẫu xoay nghiêng | |||||
| A50.7045-T | Chế độ làm việc: Lớp phủ phún xạ + Lớp phủ carbon bay hơi nhiệt | ||||
| Mục tiêu tiêu chuẩn: Pt, Cr, W, mỗi 1 viên; Pt ： φ57 × 0,12mm; Cr, W ： φ57 × 1mm | |||||
| Tùy chọn: Màn hình độ dày màng, Giai đoạn mẫu xoay nghiêng | |||||
| Yêu cầu | Đề xuất mô hình |
| Phim kim loại và phim Carbon | A50.7045 (Chân không thấp, thích hợp cho độ phóng đại dưới 100000x |
| A50.7045-T (Chân không cao, thích hợp để phóng đại trên 100000x) | |
| Lớp phủ carbon (mẫu quặng, chuẩn bị mẫu đầu dò điện tử, v.v. để phân tích thành phần, EDS, EBSD ETC) | A50.7043 |
| A50.7043-T | |
| Kim loại bắn tung tóe | A50.7041 (Độ phóng đại thực tế nhỏ hơn 50000x, SEM bằng sợi vonfram, SEM đầu bảng) |
| (Au, Pt, Cr, W, v.v.) | A50.7042 (Độ phóng đại thực tế nhỏ hơn 100000x, Súng phát xạ trường SEM) |
| A50.7042-T (Độ phóng đại thực tế tốt hơn 100000x, Súng phát xạ trường SEM) | |
| Điện cực, chế tạo thiết bị vi điện tử | A50.7041 (Au, lớp phủ Pt) |
| A50.7042 (Au, Pt, Ag, Cu, Zn, Im, Sn, v.v.) | |
| A50.7042-T (Hầu hết các lớp phủ kim loại, ITO, AZO Oxit, v.v.) | |
| Hộp găng tay | A50.7042 phiên bản tùy chỉnh |
| A50.7042-T phiên bản tùy chỉnh | |
| Lớp phủ hình trụ | A50.7042 phiên bản tùy chỉnh |
Huang Xin