Máy phún xạ ion Magnetron

Màn hình cảm ứng màu 7” với GUI thân thiện Điều khiển tự động Không cần điều khiển thủ công

Phún xạ DC Magnetron, Dòng phún xạ 0-100mA & Thời gian phún xạ 1-999 giây Điều chỉnh liên tục

Mục tiêu Magnetron phẳng, với lá chắn vùng tối xung quanh, bao gồm mục tiêu tiêu chuẩn Pt hoặc Au

Bao gồm Bơm cánh gạt quay, (Bơm cuộn khô tùy chọn), Tốc độ bơm 1L/s, Độ chân không tối đa ≤1P

Nâng cấp tùy chọn: Giám sát độ dày màng, Bàn mẫu xoay nghiêng

Opto-Edu A50.704LoạtMáy phủ ion & Máy phủ carbon, là một loạt các hệ thống lớp phủ nhỏ gọn có thể phủkim loại quýchẳng hạn như vàng (âu), màng mỏng palađi (Pd), bạch kim (Pt) và vàng/palađi (Au/Pd) trên các mẫu vật không dẫn điện hoặc dẫn điện kém. Đồng phụcphim mỏngvới kích thước hạt mịn được hình thành trong thời gian chu kỳ nhanh. Màng mỏng được sản xuất phù hợp vớikính hiển vi điện tử quét(SEM) phân tích và nhiều thử nghiệm trong phòng thí nghiệm kháccông việc chuẩn bị vật liệu nt. Bàn làm việcMáy phủ Magnetronlà một công cụ năng suất cao mang lại kết quả nhất quán và có độ lặp lại cao trong hệ thống hoàn toàn tự động. Thiết kế công thái học và dấu chân nhỏ củaHệ thống phủ SEMcho phép sử dụng dễ dànghệ thống.

Yêu cầu	Đề xuất mô hình
Phim kim loại và phim Carbon	A50.7045 (Chân không thấp, phù hợp với độ phóng đại nhỏ hơn100000x
Phim kim loại và phim Carbon	A50.7045-T (Độ chân không cao, phù hợp với độ phóng đại trên 100000x)
Lớp phủ carbon (mẫu quặng, chuẩn bị mẫu đầu dò điện tử, v.v. để phân tích thành phần, EDS, EBSD, v.v.)	A50.7043
	A50.7043-T
phún xạ kim loại	A50.7041 (Độ phóng đại thực tế nhỏ hơn 50000x, SEM dây tóc vonfram, SEM mặt bàn)
(Au, Pt, Cr, W, v.v.)	A50.7042 (Độ phóng đại thực tế nhỏ hơn 100000x, Súng phát xạ trường SEM)
	A50.7042-T (Độ phóng đại thực tế tốt hơn 100000x, Súng phát xạ trường SEM)
Chế Tạo Điện Cực, Vi Điện Tử	A50.7041 (lớp phủ Au, Pt)
	A50.7042 (Au, Pt, Ag, Cu, Zn, Im, Sn, v.v.)
	A50.7042-T (Hầu hết lớp phủ kim loại, ITO, AZO Oxide, v.v.)
hộp găng tay	A50.7042 phiên bản tùy chỉnh
hộp găng tay	Phiên bản tùy chỉnh A50.7042-T
lớp phủ hình trụ	A50.7042 phiên bản tùy chỉnh

Mục	A50.7041	A50.7042	A50.7042-P	A50.7042-T
mục tiêu phún xạ	Mục tiêu nam châm phẳng, với lá chắn vùng tối xung quanh	Mục tiêu nam châm phẳng, với lá chắn vùng tối xung quanh	Mục tiêu nam châm phẳng, với lá chắn vùng tối xung quanh	Mục tiêu nam châm phẳng, với lá chắn vùng tối xung quanh
nguyên tắc làm việc	phún xạ DC	phún xạ magnetron DC	phún xạ magnetron DC	Phún xạ magnetron DC (phun xạ magnetron RF tùy chọn)
kích thước	424（L）×271（Đ.）×255（h）mm	424（L）×271（Đ.）×255（h）mm	420（L）×330（Đ.）×335（h）mm	424（L）×345（Đ.）×420（h）mm
Mục tiêu có sẵn	âu、Pt vv	âu、Pt、Ag、cu、Sb, v.v.	âu、Pt、Ag、Củ v.v.	Tất cả các kim loại、ITO、AZO、sĩ、Tế v.v.
Mục tiêu tiêu chuẩn	âu	Pt	Pt	Pt、Cr、W
Kích thước mục tiêu	φ57×0,12mm	Pt：φ57×0,12mm	φ57×0,12mm	Pt：φ57×0,12mm，Người khác：φ57×1mm
phún xạ hiện tại	2-30mA liên tục điều chỉnh	Điều chỉnh liên tục 5-45 mA, kích thước bước 1mA	0-100mA liên tục điều chỉnh	Điều chỉnh liên tục 0-200mA, kích thước bước 5mA
thời gian phún xạ	Điều chỉnh liên tục 1-999s, kích thước bước 2s	Điều chỉnh liên tục 1-999s, kích thước bước 1s	Điều chỉnh liên tục 1-999s, kích thước bước 0s	Điều chỉnh liên tục 1-999s, kích thước bước 1s
Buồng chân không	Thủy tinh borosilicate cao φ130×130mm	Thủy tinh borosilicate cao φ130×130mm	Thủy tinh borosilicate cao φ200×130mm	Thủy tinh borosilicate cao φ200×130mm
Bơm chân không	Bơm cánh gạt quay, bơm cuộn khô tùy chọn	Bơm cánh gạt quay, bơm cuộn khô tùy chọn	Bơm cánh gạt quay, bơm cuộn khô tùy chọn	Bơm phân tử (tích hợp) + bơm cánh quạt quay (bên ngoài)
Tốc độ bơm	1	≥1L/giây	1.1L/giây	90L/s (bơm phân tử)+1L/s (bơm cánh quạt quay)
chân không cuối cùng	≤1Pa	≤1Pa	≤1Pa	≤5×10-3Pa (trong vòng 8 phút)
làm việc chân không	2-30Pa	2-30Pa (liên quan đến mục tiêu)	4-20Pa	0,4-2Pa (liên quan đến mục tiêu)
trưng bày	Màn hình cảm ứng màu 5 inch, độ phân giải 800×480	Màn hình cảm ứng màu 5 inch, độ phân giải 800×480	Màn hình cảm ứng màu 7 inch, độ phân giải 800×480	Màn hình cảm ứng màu 7 inch, độ phân giải 800×480
công suất định mức	500W	450W	500W	800W
Cung cấp điện áp đầu vào	Tiêu chuẩn 220V/50Hz Tùy chọn 110V/60Hz	Tiêu chuẩn 220V/50Hz Tùy chọn 110V/60Hz	Tiêu chuẩn 220V/50Hz Tùy chọn 110V/60Hz	Tiêu chuẩn 220V/50Hz Tùy chọn 110V/60Hz
Phương tiện làm việc	Không khí hoặc Argon	Không khí hoặc Argon	Không khí hoặc Argon	Argon độ tinh khiết cao (độ tinh khiết argon 4N trở lên)
giai đoạn mẫu	Bàn mẫu thép không gỉ φ64mm	Bàn mẫu thép không gỉ φ64mm	Bàn mẫu thép không gỉ φ125mm	Bàn mẫu thép không gỉ φ125mm
Tốc độ giai đoạn mẫu	Không bắt buộc	Không bắt buộc	4-20rpm có thể điều chỉnh	4-20rpm có thể điều chỉnh
Bàn mẫu nghiêng-xoay	Không	Không bắt buộc	Không bắt buộc	Không bắt buộc
Giám sát độ dày màng	Không	Không bắt buộc	Không bắt buộc	Không bắt buộc

Pictures

Model No.

A50.7042-P

Khoảng cách làm việc

格式:1.0, 或1.0~2.0

Quy mô tập trung

0,000000

Phạm vi lấy nét

0,000000

Kích thước giai đoạn làm việc

Kích thước: 100x100mm, Dia.100mm

Độ phóng đại tiêu chuẩn

gấp 10 lần

Cài đặt cookie nâng cao

Cookie thiết yếu

Những cookie này kích hoạt chức năng cốt lõi như bảo mật, xác minh danh tính và quản lý mạng. Không thể tắt những cookie này.

Kích hoạt cookie tiếp thị

Những cookie này được sử dụng để theo dõi hiệu suất quảng cáo, đồng ý gửi dữ liệu người dùng liên quan đến quảng cáo tới Google và đồng ý cho phép trang web phân phát quảng cáo được cá nhân hóa để cung cấp các dịch vụ phù hợp hơn.

Kích hoạt cookie chức năng

Những cookie này thu thập dữ liệu để ghi nhớ những lựa chọn mà người dùng thực hiện nhằm cải thiện và mang lại trải nghiệm cá nhân hóa hơn.

Bật cookie phân tích

Những cookie này giúp chúng tôi hiểu cách khách truy cập tương tác với trang web của chúng tôi, phát hiện lỗi và cung cấp phân tích tổng thể tốt hơn.

A50.7042-P

Máy phún xạ ion Magnetron

dịch vụ trực tuyến

gửi tin nhắn

What's New

Liên hệ với chúng tôi

Service

SO SáNH SảN PHẩM

Cài đặt cookie nâng cao

Cookie thiết yếu

Kích hoạt cookie tiếp thị

Kích hoạt cookie chức năng

Bật cookie phân tích