| item | A50.7041 | A50.7042 | A50.7042-P | A50.7042-T |
| Sputtering Target | Planar magnetron target, na may nakapaligid na madilim na lugar na kalasag | Planar magnetron target, na may nakapaligid na madilim na lugar na kalasag | Planar magnetron target, na may nakapaligid na madilim na lugar na kalasag | Planar magnetron target, na may nakapaligid na madilim na lugar na kalasag |
| Prinsipyo sa Paggawa | DC sputtering | DC magnetron sputtering | DC magnetron sputtering | DC magnetron sputtering (opsyonal na RF magnetron sputtering) |
| Mga sukat | 424(L)×271(D)×255(H)mm | 424(L)×271(D)×255(H)mm | 420(L)×330(D)×335(H)mm | 424(L)×345(D)×420(H)mm |
| Magagamit na Mga Target | Au、Pt atbp | Au、Pt、Ag、Cu、Sb atbp | Au、Pt、Ag、Cu atbp | Lahat ng metal、ITO、AZO、Si、Te atbp |
| Karaniwang Target | Au | Pt | Pt | Pt、Cr、W |
| Laki ng Target | φ57×0.12mm | Pt:φ57×0.12mm | φ57×0.12mm | Pt:φ57×0.12mm,Ang iba:φ57×1mm |
| Sputtering Current | 2-30mA patuloy na adjustable | 5-45 mA patuloy na naaayos, laki ng hakbang 1mA | 0-100mA patuloy na adjustable | 0-200mA patuloy na adjustable, laki ng hakbang 5mA |
| Oras ng Sputtering | 1-999s na patuloy na nababagay, 2s ang laki ng hakbang | 1-999s na patuloy na nababagay, 1s ang laki ng hakbang | 1-999s na patuloy na nababagay, 0s ang laki ng hakbang | 1-999s na patuloy na nababagay, 1s ang laki ng hakbang |
| Vacuum Chamber | Mataas na borosilicate glass φ130×130mm | Mataas na borosilicate glass φ130×130mm | Mataas na borosilicate glass φ200×130mm | Mataas na borosilicate glass φ200×130mm |
| Vacuum Pump | Rotary vane pump, opsyonal na dry scroll pump | Rotary vane pump, opsyonal na dry scroll pump | Rotary vane pump, opsyonal na dry scroll pump | Molecular pump (built-in) + rotary vane pump (panlabas) |
| Bilis ng pumping | 1 | ≥1L/s | 1.1L/s | 90L/s (molecular pump)+1L/s (rotary vane pump) |
| Ultimate Vacuum | ≤1Pa | ≤1Pa | ≤1Pa | ≤5×10-3Pa (sa loob ng 8 minuto) |
| gumaganang vacuum | 2-30Pa | 2-30Pa (na may kaugnayan sa target) | 4-20Pa | 0.4-2Pa(na may kaugnayan sa target) |
| display | 5-inch color touch screen, resolution 800x480 | 5-inch color touch screen, resolution 800x480 | 7-inch color touch screen, resolution 800x480 | 7-inch color touch screen, resolution 800x480 |
| na-rate na kapangyarihan | 500W | 450W | 500W | 800W |
| Supply ng Input Voltage | Karaniwang 220V/50Hz Opsyonal 110V/60Hz | Karaniwang 220V/50Hz Opsyonal 110V/60Hz | Karaniwang 220V/50Hz Opsyonal 110V/60Hz | Karaniwang 220V/50Hz Opsyonal 110V/60Hz |
| Medium sa Paggawa | Hangin o Argon | Hangin o Argon | Hangin o Argon | High-purity argon (argon purity 4N at mas mataas) |
| Halimbawang Yugto | φ64mm hindi kinakalawang na asero sample stage | φ64mm hindi kinakalawang na asero sample stage | φ125mm hindi kinakalawang na asero sample stage | φ125mm hindi kinakalawang na asero sample stage |
| Halimbawang Bilis ng Yugto | Opsyonal | Opsyonal | 4-20rpm adjustable | 4-20rpm adjustable |
| I-tilt-rotate ang Sample na Yugto | Hindi | Opsyonal | Opsyonal | Opsyonal |
| Pagsubaybay sa Kapal ng Pelikula | Hindi | Opsyonal | Opsyonal | Opsyonal |