마그네트론 이온 스퍼터 코터

7' 친절한 GUI 자동 통제를 가진 색깔 터치스크린 필요 수동 통제 없음

DC 마그네트론 스퍼터링, 스퍼터링 전류 0-100mA 및 스퍼터링 시간 1-999s 지속적으로 조정 가능

표준 대상 Pt 또는 Au를 포함하여 어두운 영역 실드를 둘러싸는 평면 마그네트론 대상

로터리 베인 펌프(건식 스크롤 펌프 옵션) 포함, 펌핑 속도 1L/s, 최종 진공 ≤1P

선택적 업그레이드: 필름 두께 모니터링, 틸트-회전 샘플 스테이지

옵토에듀 A50.704시리즈이온 코터 및 카본 코터, 코팅이 가능한 시리즈 콤팩트 코팅 시스템입니다.귀금속예를 들어 금(금), 팔라듐(Pd), 백금(Pt) 및 금/팔라듐(Au/Pd) 박막을 비전도성 또는 저전도성 시편에 도포합니다. 제복박막미세한 입자 크기로 빠른 사이클 시간에 형성됩니다. 생산된 박막은주사 전자 현미경(SEM) 분석 및 기타 많은 실험실 실험NT 재료 준비 작업. 책상마그네트론 코터완전 자동화된 시스템에서 일관되고 반복 가능한 결과를 제공하는 생산성이 높은 도구입니다. 인체 공학적 디자인과 작은 설치 공간SEM 코팅 시스템쉽게 사용할 수 있습니다.체계.

요구 사항	모델 추천
금속 필름 및 탄소 필름	A50.7045(저진공, 배율 100000배 이하에 적합)
금속 필름 및 탄소 필름	A50.7045-T (고진공, 100000x 이상의 배율에 적합)
Carbon Coating (광석시료, 성분분석을 위한 전자탐침 시료준비 등, EDS, EBSD 등)	A50.7043
Carbon Coating (광석시료, 성분분석을 위한 전자탐침 시료준비 등, EDS, EBSD 등)	A50.7043-T
스퍼터링 메탈	A50.7041(실배율 50000배 이하, 텅스텐 필라멘트 SEM, 탁상 SEM)
(Au, Pt, Cr, W 등)	A50.7042(실배율 100000x 이하, Field emission gun SEM)
	A50.7042-T (실배율 100000배 이상, Field emission gun SEM)
전극, 마이크로전자소자 제작	A50.7041(Au, Pt 코팅)
	A50.7042(Au, Pt, Ag, Cu, Zn, Im, Sn 등)
	A50.7042-T (대부분의 금속코팅, ITO, AZO Oxide 등)
글러브 박스	A50.7042 맞춤형 버전
글러브 박스	A50.7042-T 맞춤형 버전
원통형 코팅	A50.7042 맞춤형 버전

안건	A50.7041	A50.7042	A50.7042-P	A50.7042-T
스퍼터링 타겟	주변의 어두운 영역 실드가 있는 평면 마그네트론 타겟	주변의 어두운 영역 실드가 있는 평면 마그네트론 타겟	주변의 어두운 영역 실드가 있는 평면 마그네트론 타겟	주변의 어두운 영역 실드가 있는 평면 마그네트론 타겟
작동 원리	DC 스퍼터링	DC 마그네트론 스퍼터링	DC 마그네트론 스퍼터링	DC 마그네트론 스퍼터링(RF 마그네트론 스퍼터링 옵션)
치수	424（엘）×271（디）×255（시간）mm	424（엘）×271（디）×255（시간）mm	420（엘）×330（디）×335（시간）mm	424（엘）×345（디）×420（시간）mm
사용 가능한 대상	금、태평양 표준시 등	금、백금、Ag、Cu、Sb 등	금、백금、Ag、구리 등	모든 금속、이토、아조、시、테 등
표준 대상	금	백금	백금	백금、크롬、여
대상 크기	φ57×0.12mm	백금：φ57×0.12mm	φ57×0.12mm	백금：φ57×0.12mm，기타：φ57×1mm
스퍼터링 전류	2-30mA 연속 조절 가능	5-45mA 연속 조절 가능, 단계 크기 1mA	0-100mA 연속 조절 가능	0-200mA 연속 조정 가능, 단계 크기 5mA
스퍼터링 시간	1-999s 연속 조정 가능, 단계 크기 2s	1-999초 연속 조정 가능, 단계 크기 1초	1-999s 연속 조정 가능, 단계 크기 0s	1-999초 연속 조정 가능, 단계 크기 1초
진공 챔버	높은 붕규산 유리 φ130×130mm	높은 붕규산 유리 φ130×130mm	높은 붕규산 유리 φ200×130mm	높은 붕규산 유리 φ200×130mm
진공 펌프	로터리 베인 펌프, 건식 스크롤 펌프 옵션	로터리 베인 펌프, 건식 스크롤 펌프 옵션	로터리 베인 펌프, 건식 스크롤 펌프 옵션	분자 펌프(내장) + 로터리 베인 펌프(외장)
펌핑 속도	1	≥1L/s	1.1L/s	90L/s(분자 펌프)+1L/s(로터리 베인 펌프)
궁극의 진공	≤1Pa	≤1Pa	≤1Pa	≤5×10-3Pa (8분이내)
작업 진공	2-30Pa	2-30Pa(대상과 관련)	4-20Pa	0.4-2Pa(목표물 관련)
표시하다	5인치 컬러 터치스크린, 해상도 800×480	5인치 컬러 터치스크린, 해상도 800×480	7인치 컬러 터치스크린, 해상도 800×480	7인치 컬러 터치스크린, 해상도 800×480
정격 전력	500W	450W	500W	800W
입력 전압 공급	표준 220V/50Hz 옵션 110V/60Hz	표준 220V/50Hz 옵션 110V/60Hz	표준 220V/50Hz 옵션 110V/60Hz	표준 220V/50Hz 옵션 110V/60Hz
작동 매체	공기 또는 아르곤	공기 또는 아르곤	공기 또는 아르곤	고순도 아르곤(아르곤 순도 4N 이상)
샘플 스테이지	φ64mm 스테인리스 스틸 샘플 스테이지	φ64mm 스테인리스 스틸 샘플 스테이지	φ125mm 스테인리스 스틸 샘플 스테이지	φ125mm 스테인리스 스틸 샘플 스테이지
샘플 단계 속도	선택 과목	선택 과목	4-20rpm 조절 가능	4-20rpm 조절 가능
틸트-회전 샘플 스테이지	아니	선택 과목	선택 과목	선택 과목
필름 두께 모니터링	아니	선택 과목	선택 과목	선택 과목