| Artículo | A50.7041 | A50.7042 | A50.7042-P | A50.7042-T |
| objetivo de pulverización catódica | Objetivo de magnetrón planar, con escudo de área oscura circundante | Objetivo de magnetrón planar, con escudo de área oscura circundante | Objetivo de magnetrón planar, con escudo de área oscura circundante | Objetivo de magnetrón planar, con escudo de área oscura circundante |
| Principio de funcionamiento | pulverización de CC | Pulverización por magnetrón de CC | Pulverización por magnetrón de CC | Pulverización por magnetrón de CC (pulverización por magnetrón de RF opcional) |
| Dimensiones | 424(L)×271(D)×255(H)milímetro | 424(L)×271(D)×255(H)milímetro | 420(L)×330(D)×335(H)milímetro | 424(L)×345(D)×420(H)milímetro |
| Objetivos disponibles | Au、punto etc | Au、punto、Agricultura、cobre、etc. | Au、punto、Agricultura、etc. | Todo el metal、ITO、AZO、Si、te etc |
| Objetivo estándar | Au | punto | punto | punto、cr、W |
| Tamaño objetivo | φ57 × 0,12 mm | punto:φ57 × 0,12 mm | φ57 × 0,12 mm | punto:φ57 × 0,12 mm,Otros:φ57 × 1 mm |
| Corriente de pulverización catódica | 2-30mA continuamente ajustable | 5-45 mA continuamente ajustable, tamaño de paso 1mA | 0-100mA continuamente ajustable | 0-200mA continuamente ajustable, tamaño de paso 5mA |
| Tiempo de pulverización | 1-999s continuamente ajustable, tamaño de paso 2s | 1-999s continuamente ajustable, tamaño de paso 1s | 1-999s continuamente ajustable, tamaño de paso 0s | 1-999s continuamente ajustable, tamaño de paso 1s |
| Cámara de vacío | Vidrio de borosilicato alto φ130 × 130 mm | Vidrio de borosilicato alto φ130 × 130 mm | Vidrio de alto borosilicato φ200×130mm | Vidrio de alto borosilicato φ200×130mm |
| Bomba aspiradora | Bomba rotativa de paletas, bomba scroll seca opcional | Bomba rotativa de paletas, bomba scroll seca opcional | Bomba rotativa de paletas, bomba scroll seca opcional | Bomba molecular (incorporada) + bomba rotativa de paletas (externa) |
| Velocidad de bombeo | 1 | ≥1L/s | 1,1 l/s | 90L/s (bomba molecular)+1L/s (bomba rotativa de paletas) |
| Vacío definitivo | ≤1Pa | ≤1Pa | ≤1Pa | ≤5×10-3Pa (dentro de 8 minutos) |
| vacío de trabajo | 2-30Pa | 2-30 Pa (relacionado con el objetivo) | 4-20Pa | 0.4-2Pa (relacionado con el objetivo) |
| mostrar | Pantalla táctil a color de 5 pulgadas, resolución 800×480 | Pantalla táctil a color de 5 pulgadas, resolución 800×480 | Pantalla táctil a color de 7 pulgadas, resolución 800×480 | Pantalla táctil a color de 7 pulgadas, resolución 800×480 |
| potencia nominal | 500W | 450W | 500W | 800W |
| Suministro de voltaje de entrada | Estándar 220V/50Hz Opcional 110V/60Hz | Estándar 220V/50Hz Opcional 110V/60Hz | Estándar 220V/50Hz Opcional 110V/60Hz | Estándar 220V/50Hz Opcional 110V/60Hz |
| Medio de trabajo | Aire o Argón | Aire o Argón | Aire o Argón | Argón de alta pureza (pureza de argón 4N y superior) |
| Etapa de muestra | Platina de muestra de acero inoxidable de φ64 mm | Platina de muestra de acero inoxidable de φ64 mm | Etapa de muestra de acero inoxidable de φ125 mm | Etapa de muestra de acero inoxidable de φ125 mm |
| Velocidad de la etapa de muestra | Opcional | Opcional | 4-20 rpm ajustable | 4-20 rpm ajustable |
| Etapa de muestra de inclinación y rotación | No | Opcional | Opcional | Opcional |
| Monitoreo del espesor de la película | No | Opcional | Opcional | Opcional |