| Зүйл | A50.7041 | A50.7042 | A50.7042-P | A50.7042-T |
| Sputtering Target | Хавтгай магнетрон зорилтот, эргэн тойрон дахь харанхуй талбайн бамбай | Хавтгай магнетрон зорилтот, эргэн тойрон дахь харанхуй талбайн бамбай | Хавтгай магнетрон зорилтот, эргэн тойрон дахь харанхуй талбайн бамбай | Хавтгай магнетрон зорилтот, эргэн тойрон дахь харанхуй талбайн бамбай |
| Ажлын зарчим | DC цацах | DC магнетрон цацах | DC магнетрон цацах | DC магнетрон цацах (заавал биш RF магнетрон цацах) |
| Хэмжээ | 424(Л)×271(Д)×255(Х)мм | 424(Л)×271(Д)×255(Х)мм | 420(Л)×330(Д)×335(Х)мм | 424(Л)×345(Д)×420(Х)мм |
| Боломжтой зорилтууд | Au、Pt гэх мэт | Au、Pt、Аг、Cu、Sb гэх мэт | Au、Pt、Аг、Cu гэх мэт | Бүх металл、ITO、АЗО、Си、Те гэх мэт |
| Стандарт зорилт | Au | Pt | Pt | Pt、Кр、В |
| Зорилтот хэмжээ | φ57×0.12мм | Pt:φ57×0.12мм | φ57×0.12мм | Pt:φ57×0.12мм,Бусад:φ57×1мм |
| Шүрших гүйдэл | 2-30мА тасралтгүй тохируулах боломжтой | 5-45 мА тасралтгүй тохируулж, алхамын хэмжээ 1мА | 0-100мА тасралтгүй тохируулах боломжтой | 0-200мА тасралтгүй тохируулж, алхамын хэмжээ 5мА |
| Цацах цаг | 1-999с тасралтгүй тохируулж, алхамын хэмжээ 2с | 1-999с тасралтгүй тохируулж, алхамын хэмжээ 1с | 1-999с тасралтгүй тохируулж, алхамын хэмжээ 0с | 1-999с тасралтгүй тохируулж, алхамын хэмжээ 1с |
| Вакуум танхим | Өндөр боросиликатын шил φ130×130мм | Өндөр боросиликатын шил φ130×130мм | Өндөр боросиликатын шил φ200×130мм | Өндөр боросиликатын шил φ200×130мм |
| Вакуум насос | Эргэдэг сэнстэй насос, нэмэлт хуурай гүйлгэх насос | Эргэдэг сэнстэй насос, нэмэлт хуурай гүйлгэх насос | Эргэдэг сэнстэй насос, нэмэлт хуурай гүйлгэх насос | Молекулын насос (барьсан) + эргэлтэт сэнстэй насос (гадаад) |
| Ус шахах хурд | 1 | ≥1л/с | 1.1л/с | 90л/с (молекулын насос)+1л/с (эргэдэг сэнстэй насос) |
| Эцсийн вакуум | ≤1Па | ≤1Па | ≤1Па | ≤5×10-3Па (8 минутын дотор) |
| ажлын вакуум | 2-30 Па | 2-30Па(зорилттой холбоотой) | 4-20 Па | 0.4-2Па(зорилттой холбоотой) |
| харуулах | 5 инчийн өнгөт мэдрэгчтэй дэлгэц, нягтрал 800 × 480 | 5 инчийн өнгөт мэдрэгчтэй дэлгэц, нягтрал 800 × 480 | 7 инчийн өнгөт мэдрэгчтэй дэлгэц, нягтрал 800 × 480 | 7 инчийн өнгөт мэдрэгчтэй дэлгэц, нягтрал 800 × 480 |
| нэрлэсэн эрчим хүч | 500 Вт | 450 Вт | 500 Вт | 800 Вт |
| Оролтын хүчдэлийн хангамж | Стандарт 220V/50Hz Нэмэлт 110V/60Hz | Стандарт 220V/50Hz Нэмэлт 110V/60Hz | Стандарт 220V/50Hz Нэмэлт 110V/60Hz | Стандарт 220V/50Hz Нэмэлт 110V/60Hz |
| Ажлын орчин | Агаар эсвэл Аргон | Агаар эсвэл Аргон | Агаар эсвэл Аргон | Өндөр цэвэршилттэй аргон (аргоны цэвэршилт 4N ба түүнээс дээш) |
| Жишээ шат | φ64мм зэвэрдэггүй ган дээжийн үе шат | φ64мм зэвэрдэггүй ган дээжийн үе шат | φ125мм зэвэрдэггүй ган дээжийн үе шат | φ125мм зэвэрдэггүй ган дээжийн үе шат |
| Дээжийн шатны хурд | Сонголттой | Сонголттой | 4-20 эрг / мин тохируулж болно | 4-20 эрг / мин тохируулж болно |
| Дээжийн үе шатыг хазайлган эргүүлэх | Үгүй | Сонголттой | Сонголттой | Сонголттой |
| Киноны зузааныг хянах | Үгүй | Сонголттой | Сонголттой | Сонголттой |