| Artikel | A50.7041 | A50.7042 | A50.7042-P | A50.7042-T |
| Sputtrande mål | Plan magnetronmål, med omgivande mörkområdessköld | Plan magnetronmål, med omgivande mörkområdessköld | Plan magnetronmål, med omgivande mörkområdessköld | Plan magnetronmål, med omgivande mörkområdessköld |
| Arbetsprincip | DC sputtering | DC magnetron sputtering | DC magnetron sputtering | DC-magnetronförstoftning (tillval RF-magnetronförstoftning) |
| Mått | 424(L)×271(D)×255(H)mm | 424(L)×271(D)×255(H)mm | 420(L)×330(D)×335(H)mm | 424(L)×345(D)×420(H)mm |
| Tillgängliga mål | Au、Pt osv | Au、Pt、Ag、Cu、Sb osv | Au、Pt、Ag、Cu osv | Helt i metall、ITO、AZO、Si、Te osv |
| Standardmål | Au | Pt | Pt | Pt、Cr、W |
| Målstorlek | φ57×0,12 mm | Pt:φ57×0,12 mm | φ57×0,12 mm | Pt:φ57×0,12 mm,Andra:φ57×1 mm |
| Sputtering ström | 2-30mA steglöst justerbar | 5-45 mA steglöst justerbar, stegstorlek 1mA | 0-100mA steglöst justerbar | 0-200mA steglöst justerbar, stegstorlek 5mA |
| Sputtering Time | 1-999s steglöst justerbar, stegstorlek 2s | 1-999s steglöst justerbar, stegstorlek 1s | 1-999s steglöst justerbar, stegstorlek 0s | 1-999s steglöst justerbar, stegstorlek 1s |
| Vakuumkammare | Högt borosilikatglas φ130×130mm | Högt borosilikatglas φ130×130mm | Högt borosilikatglas φ200×130mm | Högt borosilikatglas φ200×130mm |
| Vakuumpump | Roterande skovelpump, valfri torrscrollpump | Roterande skovelpump, valfri torrscrollpump | Roterande skovelpump, valfri torrscrollpump | Molekylär pump (inbyggd) + roterande skovelpump (extern) |
| Pumphastighet | 1 | ≥1 l/s | 1,1 l/s | 90L/s (molekylär pump)+1L/s (roterande lamellpump) |
| Ultimat vakuum | ≤1 Pa | ≤1 Pa | ≤1 Pa | ≤5×10-3Pa (inom 8 minuter) |
| fungerande vakuum | 2-30 Pa | 2-30Pa (relaterat till målet) | 4-20 Pa | 0,4-2Pa (relaterat till målet) |
| visa | 5-tums färgpekskärm, upplösning 800×480 | 5-tums färgpekskärm, upplösning 800×480 | 7-tums färgpekskärm, upplösning 800×480 | 7-tums färgpekskärm, upplösning 800×480 |
| märkeffekt | 500W | 450W | 500W | 800W |
| Ingångsspänning | Standard 220V/50Hz Tillval 110V/60Hz | Standard 220V/50Hz Tillval 110V/60Hz | Standard 220V/50Hz Tillval 110V/60Hz | Standard 220V/50Hz Tillval 110V/60Hz |
| Arbetsmedium | Luft eller argon | Luft eller argon | Luft eller argon | Argon med hög renhet (argonrenhet 4N och högre) |
| Provscen | φ64mm provsteg i rostfritt stål | φ64mm provsteg i rostfritt stål | φ125 mm provsteg i rostfritt stål | φ125 mm provsteg i rostfritt stål |
| Sample Stage Speed | Frivillig | Frivillig | Justerbar 4-20rpm | Justerbar 4-20rpm |
| Luta-rotera provsteg | Nej | Frivillig | Frivillig | Frivillig |
| Övervakning av filmtjocklek | Nej | Frivillig | Frivillig | Frivillig |