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이온 스퍼터 코터 및 증발 코터
이온 스퍼터 코터 및 증발 코터

이온 스퍼터 코터 및 증발 코터

  • 5' 친절한 GUI 자동 통제를 가진 색깔 터치스크린 필요 수동 통제 없음
  • DC 마그네트론 스퍼터링, 스퍼터링 전류 2-30mA 및 스퍼터링 시간 1-999s 지속적으로 조정 가능
  • 표준 대상 Pt 또는 Au를 포함하여 어두운 영역 실드를 둘러싸는 평면 마그네트론 대상
  • 로터리 베인 펌프(건식 스크롤 펌프 옵션) 포함, 펌핑 속도 1L/s, 최종 진공 ≤1P
  • 선택적 업그레이드: 필름 두께 모니터링, 틸트-회전 샘플 스테이지
수량:
매개변수A50.7042
스퍼터 헤드:평면 마그네트론
진공 챔버:(외경)φ125×130mm/(ID)φ108×130mm
챔버 재질:고규소 붕소 유리
샘플 테이블 크기:φ64mm
대상 크기:φ57×0.12mm
스퍼터 타겟:Au、Pt、Ag、Cu、Pd、Au-Pd
진공 펌프:로터리 베인 펌프
펌프 속도:1.1L/s(50Hz)
스퍼터 전류:5-45mA, 최소 단계는 1mA
스퍼터 시간:1-999초, 최소 단계는 1초
궁극적인 압력:<1Pa
진공 게이지:피라니 게이지
다른 특징들:(1) 작동 마법사가 내장되어 교육이 필요 없음
(2) 스퍼터 타겟을 신속하게 교체
(3) 샘플 플레이트의 높이를 조정하기가 매우 쉽습니다.
(4) 과전류 및 과진공의 자동 보호
(5) 안전을 보장하는 소프트웨어 및 하드웨어 연동
상호 작용:5인치 컬러 터치 스크린
작업:자동적 인
Pictures
Model No. A50.7042
작동 거리
格式:1.0,或1.0~2.0
포커싱 스케일
0.000000
초점 범위
0.000000
작업 단계 크기
格式: 100x100mm, 직경 100mm
표준 배율
10배

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