Coucheuse de pulvérisation ionique & Coucheuse par évaporation

A50.7042

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Coucheuse de pulvérisation ionique & Coucheuse par évaporation

Écran tactile couleur de 5 pouces avec contrôle automatique convivial de l'interface graphique, pas besoin de contrôle manuel
Pulvérisation magnétron CC, courant de pulvérisation 2-30mA et temps de pulvérisation 1-999s réglable en continu
Cible de magnétron planaire, avec bouclier de zone sombre environnante, y compris la cible standard Pt ou Au
Y compris pompe à palettes rotatives (pompe à défilement sèche en option), vitesse de pompage 1L/s, vide ultime ≤1P
Mise à niveau facultative : surveillance de l'épaisseur du film, platine d'échantillonnage inclinable et rotative

Paramètres	A50.7042
Tête de pulvérisation :	magnétron planaire
Chambre à vide :	(OD)φ125×130mm/(ID)φ108×130mm
Matériau de la chambre :	Verre de bore à haute teneur en silicium
Exemple de taille de tableau :	φ64mm
Taille cible：	φ57 × 0,12 mm
Cible de pulvérisation :	Au、Pt、Ag、Cu、Pd、Au-Pd
Pompe à vide:	Pompe à palettes rotatives
Vitesse de la pompe：	1.1L/s (50Hz)
Courant de pulvérisation：	5-45mA, le pas minimum est de 1mA
Temps de pulvérisation：	1-999s, le pas minimum est de 1s
Pression ultime :	<1Pa
Jauge à vide:	Jauge de Pirani
Autres caractéristiques:	(1) Assistant de fonctionnement intégré, ce qui signifie qu'aucune formation n'est nécessaire
	(2) remplacer rapidement la cible de pulvérisation
	(3) très facile à régler la hauteur de la plaque d'échantillon
	(4) Protection automatique contre les surintensités et les survides
	(5) Verrouillage logiciel et matériel pour assurer la sécurité
Interface:	Écran tactile couleur de 5 pouces
Opération:	Automatique

Pictures
Model No.	A50.7042
Distance de travail	Niveau : 1.0, 或1.0 ~ 2.0
Échelle de mise au point	0,000000
Plage de mise au point	0,000000
Taille de l'étape de travail	Diamètre : 100 x 100 mm, diamètre 100 mm
Grossissement standard	10x

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