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Revestimento por pulverização de íons e revestimento por evaporação
Revestimento por pulverização de íons e revestimento por evaporação

Revestimento por pulverização de íons e revestimento por evaporação

  • Ecrã táctil a cores de 5' com controlo automático GUI amigável sem necessidade de controlo manual
  • DC Magnetron Sputtering, Sputtering Current 2-30mA & Sputtering Time 1-999s Ajustável continuamente
  • Alvo Magnetron planar, com escudo de área escura ao redor, incluindo alvo padrão Pt ou Au
  • Incluindo bomba de palhetas rotativas, (bomba de rolagem seca opcional), velocidade de bombeamento 1L/s, vácuo final ≤1P
  • Atualização opcional: monitoramento da espessura do filme, estágio de amostra com rotação e inclinação
Quantidade:
ParâmetrosA50.7042
Cabeça de pulverização:magnetron planar
Câmara de vácuo:(OD)φ125×130mm/(ID)φ108×130mm
Material da câmara:Vidro de boro de alto silício
Tamanho da tabela de amostra:φ64mm
Tamanho do alvo:φ57×0,12mm
Alvo de pulverização:Au、Pt、Ag、Cu、Pd、Au-Pd
Bomba de vácuo:Bomba de palhetas rotativas
Velocidade da bomba:1,1L/s(50Hz)
Corrente de pulverização:5-45mA, passo mínimo é 1mA
Tempo de pulverização:1-999s, passo mínimo é 1s
Pressão final:<1Pa
Medidor de Vácuo:Calibre Pirani
Outras características:(1) Assistente de operação integrado, o que significa que não há necessidade de treinamento
(2) substitua o alvo de pulverização rapidamente
(3) muito fácil de ajustar a altura da placa de amostra
(4) proteção automática de sobrecorrente e sobre vácuo
(5) intertravamento de software e hardware para garantir a segurança
Interface:Tela de toque colorida de 5 polegadas
Operação:Automático
Pictures
Model No. A50.7042
Distância de trabalho
格式:1.0,或1.0~2.0
Escala de focagem
0,000000
Faixa de foco
0,000000
Tamanho do Estágio de Trabalho
Tamanho: 100x100mm,或Diâmetro 100mm
Ampliação Padrão
10x

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