オプトエドゥ（北京）有限公司100043Why Us (会社情報, 格式不好编辑, 另起一片页面Why Us)F-1501 Wanda Plaza、No.18 Shijingshan Road、Beijing 100043、中国オプトエドゥ（北京）有限公司100043Why Us (会社情報, 格式不好编辑, 另起一片页面Why Us)F-1501 Wanda Plaza、No.18 Shijingshan Road、Beijing 100043、中国オプトエドゥ（北京）有限公司オプトエドゥ（北京）有限公司オプトエドゥ（北京）有限公司オプトエドゥ（北京）有限公司オプトエドゥ（北京）有限公司オプトエドゥ（北京）有限公司オプトエドゥ（北京）有限公司オプトエドゥ（北京）有限公司オプトエドゥ（北京）有限公司オプトエドゥ（北京）有限公司オプトエドゥ（北京）有限公司オプトエドゥ（北京）有限公司オプトエドゥ（北京）有限公司オプトエドゥ�
| パラメーター | A50.7042 |
| スパッタヘッド: | 平面マグネトロン |
| 真空室： | (外径)φ125×130mm/(内径)φ108×130mm |
| チャンバーの材質: | ハイシリコンボロンガラス |
| サンプル テーブル サイズ: | φ64mm |
| 対象サイズ： | φ57×0.12mm |
| スパッタターゲット： | Au、Pt、Ag、Cu、Pd、Au-Pd |
| 真空ポンプ： | ロータリーベーンポンプ |
| ポンプ速度： | 1.1L/s（50Hz） |
| スパッタ電流： | 5-45mA、最小ステップは1mA |
| スパッタ時間： | 1 ～ 999 秒、最小ステップは 1 秒 |
| 到達圧力: | ＜1Pa |
| 真空計： | ピラニゲージ |
| その他の特徴： | (1) 組み込みの操作ウィザードにより、トレーニングは不要 |
| (2) スパッタターゲットを素早く交換 | |
| (3)サンプルプレートの高さ調整が非常に簡単 | |
| (4)過電流、過真空の自動保護 | |
| (5)安全を確保するためのソフトウェアとハードウェアのインターロック | |
| インターフェース： | 5インチカラータッチスクリーン |
| 手術： | 自動 |
| Pictures |
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| Model No. | A50.7042 | |||
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作動距離
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格式:1.0、または1.0~2.0 | |||
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フォーカシングスケール
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0.000000 | |||
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焦点距離
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0.000000 | |||
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ワーキングステージサイズ
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格式:100x100mm、またはDia.100mm | |||
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標準倍率
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10倍 |
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黄昕