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| ◆ El cabezal de detección láser y la etapa de escaneo de muestra están integrados, la estructura es muy estable y la antiinterferencia es fuerte ◆ Dispositivo de posicionamiento de sonda de precisión, el ajuste de alineación del punto láser es muy fácil ◆ La muestra de accionamiento de un solo eje se acerca automáticamente a la sonda verticalmente, de modo que la punta de la aguja quede perpendicular al escaneo de la muestra ◆ El método de alimentación de aguja inteligente de la detección automática de cerámica piezoeléctrica presurizada controlada por motor protege la sonda y la muestra ◆ Los escáneres cerámicos piezoeléctricos de alta precisión y amplio alcance se pueden seleccionar libremente ◆ Posicionamiento óptico automático de la lente del objetivo de gran aumento, sin necesidad de enfocar, observación en tiempo real y posicionamiento del área de escaneo de la muestra de la sonda ◆ Método a prueba de golpes de suspensión de resorte, simple y práctico, buen efecto a prueba de golpes ◆ Caja insonorizada blindada de metal, sensor de temperatura y humedad de alta precisión incorporado, monitoreo en tiempo real del entorno de trabajo ◆ Editor de usuario de corrección no lineal de escáner integrado, caracterización nanométrica y precisión de medición superior al 98% |
| Especificación | A62.4500 | A62.4501 | A62.4503 | A62.4505 |
| Modo de trabajo | Modo de toque 【Opcional】 Modo de contacto Modo de fricción Modo de fase Modo magnético Modo electrostático | Modo de contacto Modo de toque 【Opcional】 Modo de fricción Modo de fase Modo magnético Modo electrostático | Modo de contacto Modo de toque 【Opcional】 Modo de fricción Modo de fase Modo magnético Modo electrostático | Modo de contacto Modo de toque 【Opcional】 Modo de fricción Modo de fase Modo magnético Modo electrostático |
| Curva de espectro actual | Curva RMS-Z 【Opcional】 Curva de fuerza FZ | Curva RMS-Z Curva de fuerza FZ | Curva RMS-Z Curva de fuerza FZ | Curva RMS-Z Curva de fuerza FZ |
| Rango de escaneo XY | 20×20um | 20×20um | 50×50um | 50×50um |
| Resolución de escaneo XY | 0.2nm | 0.2nm | 0.2nm | 0.2nm |
| Rango de escaneo Z | 2.5um | 2.5um | 5um | 5um |
| Resolución de escaneo Y | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm |
| Velocidad de escaneo | 0,6 Hz~30 Hz | 0,6 Hz~30 Hz | 0,6 Hz~30 Hz | 0,6 Hz~30 Hz |
| Ángulo de escaneo | 0~360° | 0~360° | 0~360° | 0~360° |
| Tamaño de la muestra | Φ≤90mm H≤20mm | Φ≤90mm H≤20mm | Φ≤90mm H≤20mm | Φ≤90mm H≤20mm |
| Etapa XY en movimiento | 15 × 15 mm | 15 × 15 mm | 25×25um | 25×25um |
| Diseño amortiguador | Suspensión de resorte | Suspensión de resorte Caja de blindaje de metal | Suspensión de resorte Caja de blindaje de metal | - |
| Sistema Óptico | 4x objetivo Resolución 2.5um | 4x objetivo Resolución 2.5um | 10x objetivo Resolución 1um | Ocular 10x Infinity Plan LWD APO 5x10x20x50x Cámara digital de 5,0 m Monitor LCD de 10", con medición Iluminación LED Kohler Enfoque coaxial grueso y fino |
| Producción | USB2.0/3.0 | USB2.0/3.0 | USB2.0/3.0 | USB2.0/3.0 |
| Software | Ganar XP/7/8/10 | Ganar XP/7/8/10 | Ganar XP/7/8/10 | Ganar XP/7/8/10 |
| Resolución | Condiciones de trabajo | Temperatura de trabajo | Daño a la muestra | Profundidad de inspección | |
| GDS | Nivel de átomo 0.1nm | Normal, Líquido, Vacío | Ambiente o Baja Temperatura | Ninguna | 1~2 Nivel de átomo |
| TEM | Punto 0.3~0.5nm Enrejado 0.1~0.2nm | alto vacío | Temperatura ambiente | Pequeña | Generalmente<100nm |
| SEM | 6-10nm | alto vacío | Temperatura ambiente | Pequeña | 10 mm @ 10x 1um @10000x |
| FIM | Nivel de átomo 0.1nm | Súper Alto Vacío | 30~80K | daño | Espesor del átomo |
| Microscopio | Microscopio optico | Microscopio electrónico | Microscopio de sonda de barrido |
| Resolución máxima (um) | 0.18 | 0.00011 | 0.00008 |
| Observación | Inmersión en aceite 1500x | Imágenes de átomos de carbono de diamante | Imágenes de átomos de carbono grafíticos de alto orden |
 |  |  |
| Interacción sonda-muestra | Señal de medida | Información |
| Fuerza | Fuerza electro-estática | Forma |
| Corriente del túnel | Actual | Forma, Conductividad |
| Fuerza magnética | Fase | Estructura Magnética |
| Fuerza electro-estática | Fase | distribución de carga |
Huang Xin