

| ◆ レーザー検出ヘッドとサンプル走査ステージが一体化されており、構造が非常に安定しており、干渉防止が強力です。 ◆ 精密プローブ位置決め装置、レーザースポットアライメント調整が非常に簡単 ◆ 針先がサンプルスキャンに対して垂直になるように、単軸駆動サンプルが自動的にプローブに垂直に接近します。 ◆モーター制御の加圧圧電セラミック自動検出のインテリジェントな針送り方法は、プローブとサンプルを保護します ◆ 高精度で幅広い圧電セラミックスキャナを自由に選択可能 ◆ 高倍率対物レンズ自動光学位置決め、焦点合わせ不要、プローブサンプル走査領域のリアルタイム観察と位置決め ◆スプリングサスペンションの耐衝撃方式、シンプルで実用的、優れた耐衝撃効果 ◆ 金属シールド防音ボックス、高精度温湿度センサー内蔵、作業環境のリアルタイムモニタリング ◆ スキャナーの非線形補正ユーザー エディター、ナノメートル特性評価、98% を超える測定精度を統合 |






| 仕様 | A62.4500 | A62.4501 | A62.4503 | A62.4505 |
| 作業モード | タッピングモード 【オプション】 接触モード 摩擦モード フェーズモード 磁気モード 静電モード | 接触モード タッピングモード 【オプション】 摩擦モード フェーズモード 磁気モード 静電モード | 接触モード タッピングモード 【オプション】 摩擦モード フェーズモード 磁気モード 静電モード | 接触モード タッピングモード 【オプション】 摩擦モード フェーズモード 磁気モード 静電モード |
| 現在のスペクトル曲線 | RMS-Z 曲線 【オプション】 FZフォースカーブ | RMS-Z 曲線 FZフォースカーブ | RMS-Z 曲線 FZフォースカーブ | RMS-Z 曲線 FZフォースカーブ |
| XY スキャン範囲 | 20×20um | 20×20um | 50×50um | 50×50um |
| XY スキャン解像度 | 0.2nm | 0.2nm | 0.2nm | 0.2nm |
| Zスキャン範囲 | 2.5um | 2.5um | 5um | 5um |
| Yスキャン解像度 | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm |
| スキャン速度 | 0.6Hz~30Hz | 0.6Hz~30Hz | 0.6Hz~30Hz | 0.6Hz~30Hz |
| スキャン角度 | 0~360° | 0~360° | 0~360° | 0~360° |
| サンプルサイズ | Φ≦90mm 高さ≦20mm | Φ≦90mm 高さ≦20mm | Φ≦90mm 高さ≦20mm | Φ≦90mm 高さ≦20mm |
| XYステージ移動 | 15×15mm | 15×15mm | 25×25um | 25×25um |
| 衝撃吸収設計 | スプリングサスペンション | スプリングサスペンション メタルシールドボックス | スプリングサスペンション メタルシールドボックス | - |
| 光学系 | 4x 対物レンズ 分解能 2.5um | 4x 対物レンズ 分解能 2.5um | 10x 対物レンズ 分解能 1um | 接眼レンズ 10x インフィニティプラン LWD APO 5x10x20x50x 5.0Mデジタルカメラ 10型液晶モニター、計測機能付 LEDコーラーイルミネーション 同軸粗動および微動フォーカシング |
| 出力 | USB2.0/3.0 | USB2.0/3.0 | USB2.0/3.0 | USB2.0/3.0 |
| ソフトウェア | ウィン XP/7/8/10 | ウィン XP/7/8/10 | ウィン XP/7/8/10 | ウィン XP/7/8/10 |
| 解像度 | 労働条件 | 作業温度 | サンプルへのダメージ | 検査深度 | |
| SPM | 原子レベル 0.1nm | 通常、液体、真空 | 部屋または低温 | なし | 1~2原子レベル |
| TEM | ポイント 0.3~0.5nm 格子 0.1~0.2nm | 高真空 | 室温 | 小さな | 通常<100nm |
| SEM | 6-10nm | 高真空 | 室温 | 小さな | 10mm @10x 1um @10000x |
| FIM | 原子レベル 0.1nm | 超高真空 | 30~80K | ダメージ | 原子の厚さ |
| 顕微鏡 | 光学顕微鏡 | 電子顕微鏡 | 走査型プローブ顕微鏡 |
| 最大解像度 (um) | 0.18 | 0.00011 | 0.00008 |
| 述べる | 油浸1500倍 | ダイヤモンド炭素原子のイメージング | 高次黒鉛炭素原子のイメージング |
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| プローブとサンプルの相互作用 | 信号を測定 | 情報 |
| 力 | 静電力 | 形 |
| トンネル電流 | 現時点の | 形状、導電率 |
| 磁力 | 段階 | 磁気構造 |
| 静電力 | 段階 | 電荷分布 |

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黄昕