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| ◆ サンプルを固定し、プローブを動かしてスキャンする中国初の商用原子間力顕微鏡。 ◆ サンプルのサイズと重量はほぼ無制限で、特に非常に大きなサンプルの検出に適しています。 ◆ サンプル ステージは非常に拡張性が高く、その場での検出を実現するためのマルチ機器の組み合わせに非常に便利です。 ◆ 高速自動検出を実現するために多点位置でプログラムできるサンプル移動テーブルと昇降テーブルの電気制御。 ◆ ガントリー スキャン ヘッドの設計、大理石のベース、真空吸着および磁気吸着ステージ。 ◆ モーターは、プローブとサンプルを保護するために、圧電セラミック自動検出のインテリジェントな針送り方法を自動的に制御します。 ◆ 高倍率補助光学顕微鏡の位置決め、リアルタイム観察、およびプローブとサンプルのスキャン領域の位置決め。 ◆統合されたスキャナー非線形補正ユーザー エディター、ナノメートルの特性評価、測定精度は 98% を超えます。 |
| A62.4510 | A62.4511 | |
| 作業モード | 接触モード タッピングモード 【オプション】 摩擦モード フェーズモード 磁気モード 静電モード | 接触モード タッピングモード 【オプション】 摩擦モード フェーズモード 磁気モード 静電モード |
| 現在のスペクトル曲線 | RMS-Z曲線 FZ力曲線 | RMS-Z曲線 FZ力曲線 |
| XY スキャン モード | プローブ駆動スキャン、 ピエゾチューブスキャナー | サンプルドリブン スキャン、クローズド ループ ピエゾエレクトリック シフト スキャン ステージ |
| XY スキャン範囲 | 70×70um | 閉ループ 100×100um |
| XY スキャン解像度 | 0.2nm | 閉ループ 0.5nm |
| Zスキャンモード | プローブ駆動スキャン | |
| Zスキャン範囲 | 5um | 5um |
| Zスキャン解像度 | 0.05nm | 0.05nm |
| スキャン速度 | 0.6Hz～30Hz | 0.6Hz～30Hz |
| スキャン角度 | 0~360° | 0~360° |
| サンプル重量 | ≤15キロ | ≤0.5Kg |
| ステージサイズ | 直径100mm 【オプション】 直径200mm 直径300mm | 直径100mm 【オプション】 直径200mm 直径300mm |
| ステージXY移動 | 100x100mm、解像度1um 【オプション】 200×200mm 300×300mm | 100x100mm、解像度1um 【オプション】 200×200mm 300×300mm |
| ステージZムービング | 15mm、解像度10nm 【オプション】 20mm 25mm | 15mm、解像度10nm 【オプション】 20mm 25mm |
| 衝撃吸収設計 | スプリングサスペンション 【オプション】 アクティブショックアブソーバー | スプリングサスペンション 【オプション】 アクティブショックアブソーバー |
| 光学系 | 対物レンズ 5x 5.0Mデジタルカメラ 【オプション】 対物レンズ 10x 対物レンズ 20x | 対物レンズ 5x 5.0Mデジタルカメラ 【オプション】 対物レンズ 10x 対物レンズ 20x |
| 出力 | USB2.0/3.0 | USB2.0/3.0 |
| ソフトウェア | ウィン XP/7/8/10 | ウィン XP/7/8/10 |
| 本体 | ガントリースキャンヘッド、マーブルベース | ガントリースキャンヘッド、マーブルベース |
| 解像度 | 労働条件 | 作業温度 | サンプルへのダメージ | 検査深度 | |
| SPM | 原子レベル 0.1nm | 通常、液体、真空 | 部屋または低温 | なし | 1~2原子レベル |
| TEM | ポイント 0.3~0.5nm 格子 0.1~0.2nm | 高真空 | 室温 | 小さな | 通常<100nm |
| SEM | 6-10nm | 高真空 | 室温 | 小さな | 10mm @10x 1um @10000x |
| FIM | 原子レベル 0.1nm | 超高真空 | 30~80K | ダメージ | 原子の厚さ |
| 顕微鏡 | 光学顕微鏡 | 電子顕微鏡 | 走査型プローブ顕微鏡 |
| 最大解像度 (um) | 0.18 | 0.00011 | 0.00008 |
| 述べる | 油浸1500倍 | ダイヤモンド炭素原子のイメージング | 高次黒鉛炭素原子のイメージング |
 |  |  |
| プローブとサンプルの相互作用 | 信号を測定 | 情報 |
| 力 | 静電力 | 形 |
| トンネル電流 | 現時点の | 形状、導電率 |
| 磁力 | 段階 | 磁気構造 |
| 静電力 | 段階 | 電荷分布 |
黄昕