OPTO-EDU A62.4510 프로브 스캐닝 원자력 현미경

프로브 주사 원자력 현미경

갠트리 스캐닝 헤드 디자인, 대리석 베이스, 진공 흡착 스테이지, 샘플 크기 및 무게는 기본적으로 무제한입니다.

프로브와 샘플을 보호하기 위해 모터로 제어되는 압전 세라믹을 자동으로 감지하는 지능형 바늘 공급 방식

자동 광학 포지셔닝, 초점 조정이 필요 없음, 실시간 관찰 및 포지셔닝 프로브 샘플 스캐닝 영역

닫힌 금속 실드, 공압 충격 흡수 테이블, 강력한 간섭 방지 기능 장착;

통합 스캐너 비선형 보정 사용자 편집기, 나노미터 특성화 및 측정 정확도가 98% 이상입니다.

◆ 샘플을 고정하고 프로브를 이동 및 스캔하는 중국 최초의 상업용 원자력 현미경.

◆ 샘플 크기와 무게는 거의 무제한이며 특히 매우 큰 샘플의 감지에 적합합니다.

◆ 샘플 스테이지는 확장성이 높아 다중 기기 조합이 현장 감지를 실현하는 데 매우 편리합니다.

◆ 빠른 자동 감지를 실현하기 위해 다중 지점 위치로 프로그래밍할 수 있는 샘플 이동 테이블 및 리프팅 테이블의 전기 제어;

◆ 갠트리 스캐닝 헤드 디자인, 대리석 바닥, 진공 흡착 및 자기 흡착 단계;

◆ 모터는 압전 세라믹 자동 감지의 지능형 바늘 공급 방법을 자동으로 제어하여 프로브와 샘플을 보호합니다.

◆ 고배율 보조 광학 현미경 위치 지정, 프로브 및 샘플 스캐닝 영역의 실시간 관찰 및 위치 지정;

◆ 통합 스캐너 비선형 보정 사용자 편집기, 나노미터 특성화 및 98% 이상의 측정 정확도.

	A62.4510	A62.4511
작업 모드	접촉 모드 태핑 모드 【선택 과목】 마찰 모드 위상 모드 자기 모드 정전기 모드	접촉 모드 태핑 모드 【선택 과목】 마찰 모드 위상 모드 자기 모드 정전기 모드
현재 스펙트럼 곡선	RMS-Z곡선 FZ힘곡선	RMS-Z곡선 FZ힘곡선
XY 스캔 모드	프로브 구동 스캐닝, 피에조 튜브 스캐너	샘플 구동 스캐닝, 폐쇄 루프 압전 시프트 스캐닝 스테이지
XY 스캔 범위	70×70um	폐쇄 루프 100×100um
XY 스캔 해상도	0.2nm	폐쇄 루프 0.5nm
Z 스캔 모드		프로브 기반 스캐닝
Z 스캔 범위	5음	5음
Z 스캔 해상도	0.05nm	0.05nm
스캔 속도	0.6Hz~30Hz	0.6Hz~30Hz
스캔 각도	0~360°	0~360°
샘플 무게	≤15kg	≤0.5kg
무대 크기	직경 100mm 【선택 과목】 직경 200mm 직경 300mm	직경 100mm 【선택 과목】 직경 200mm 직경 300mm
스테이지 XY 이동	100x100mm, 해상도 1um 【선택 과목】 200x200mm 300x300mm	100x100mm, 해상도 1um 【선택 과목】 200x200mm 300x300mm
스테이지 Z 이동	15mm, 분해능 10nm 【선택 과목】 20mm 25mm	15mm, 분해능 10nm 【선택 과목】 20mm 25mm
충격 흡수 디자인	스프링 서스펜션 【선택 과목】 액티브 쇼크 업소버	스프링 서스펜션 【선택 과목】 액티브 쇼크 업소버
광학 시스템	목표 5배 500만 디지털 카메라 【선택 과목】 목표 10배 목표 20배	목표 5배 500만 디지털 카메라 【선택 과목】 목표 10배 목표 20배
산출	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0
소프트웨어	XP/7/8/10 승리	XP/7/8/10 승리
본체	갠트리 스캔 헤드, 대리석 베이스	갠트리 스캔 헤드, 대리석 베이스

	해결	작업 조건	작업 온도	샘플 손상	검사 깊이
SPM	원자 수준 0.1nm	일반, 액체, 진공	실내 또는 저온	없음	1~2 원자 수준
TEM	포인트 0.3~0.5nm 격자 0.1~0.2nm	고진공	실내 온도	작은	일반적으로<100nm
SEM	6-10nm	고진공	실내 온도	작은	10mm @10x 1um @10000x
FIM	원자 수준 0.1nm	초고진공	30~80K	데미지	원자 두께

현미경	광학 현미경	전자 현미경	스캐닝 프로브 현미경
최대 해상도(음)	0.18	0.00011	0.00008
주목	오일 침지 1500x	다이아몬드 탄소 원자 이미징	고차 흑연 탄소 원자 이미징
주목

프로브-샘플 상호작용	신호 측정	정보
힘	정전기력	모양
터널 전류	현재의	모양, 전도도
자기력	단계	자기 구조
정전기력	단계	전하 분포