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| ◆ La tête de détection laser et l'étape de numérisation de l'échantillon sont intégrées, la structure est très stable et l'anti-interférence est forte ◆ Dispositif de positionnement de sonde de précision, le réglage de l'alignement du point laser est très facile ◆ L'échantillon d'entraînement à axe unique s'approche automatiquement de la sonde verticalement, de sorte que la pointe de l'aiguille soit perpendiculaire au balayage de l'échantillon ◆ La méthode d'alimentation intelligente de l'aiguille de détection automatique en céramique piézoélectrique sous pression contrôlée par moteur protège la sonde et l'échantillon ◆ Positionnement optique automatique, pas besoin de mise au point, observation et positionnement en temps réel de la zone de balayage de l'échantillon de la sonde ◆ Méthode antichoc à suspension à ressort, simple et pratique, bon effet antichoc ◆ Boîtier insonorisé blindé en métal, capteur de température et d'humidité de haute précision intégré, surveillance en temps réel de l'environnement de travail ◆ Éditeur utilisateur de correction non linéaire du scanner intégré, caractérisation nanométrique et précision de mesure supérieure à 98 % |
| spécification | A62.4500 | A62.4501 | A62.4503 | A62.4505 |
| En mode travail | Mode tapotement 【Optionnel】 Mode de contact Mode de friction Mode phases Mode magnétique Mode électrostatique | Mode de contact Mode tapotement 【Optionnel】 Mode de friction Mode phases Mode magnétique Mode électrostatique | Mode de contact Mode tapotement 【Optionnel】 Mode de friction Mode phases Mode magnétique Mode électrostatique | Mode de contact Mode tapotement 【Optionnel】 Mode de friction Mode phases Mode magnétique Mode électrostatique |
| Courbe du spectre actuel | Courbe RMS-Z 【Optionnel】 Courbe de force FZ | Courbe RMS-Z Courbe de force FZ | Courbe RMS-Z Courbe de force FZ | Courbe RMS-Z Courbe de force FZ |
| Plage de balayage XY | 20×20um | 20×20um | 50×50um | 50×50um |
| Résolution de numérisation XY | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm |
| Plage de balayage Z | 2.5um | 2.5um | 5um | 5um |
| Résolution de numérisation Y | 0,05 nm | 0,05 nm | 0,05 nm | 0,05 nm |
| Vitesse de numérisation | 0,6 Hz ~ 30 Hz | 0,6 Hz ~ 30 Hz | 0,6 Hz ~ 30 Hz | 0,6 Hz ~ 30 Hz |
| Angle de numérisation | 0~360° | 0~360° | 0~360° | 0~360° |
| Taille de l'échantillon | Φ≤90mm H≤20mm | Φ≤90mm H≤20mm | Φ≤90mm H≤20mm | Φ≤90mm H≤20mm |
| Déplacement de scène XY | 15×15mm | 15×15mm | 25×25um | 25×25um |
| Conception absorbant les chocs | Suspension à ressort | Suspension à ressort Boîte de blindage en métal | Suspension à ressort Boîte de blindage en métal | - |
| Système optique | 4x objectif Résolution 2.5um | 4x objectif Résolution 2.5um | 10x objectif Résolution 1um | Oculaire 10x Plan Infinity LWD APO 5x10x20x50x Appareil photo numérique 5.0M Moniteur LCD 10", avec mesure Éclairage LED Kohler Mise au point grossière et fine coaxiale |
| Production | USB2.0/3.0 | USB2.0/3.0 | USB2.0/3.0 | USB2.0/3.0 |
| Logiciel | Win XP/7/8/10 | Win XP/7/8/10 | Win XP/7/8/10 | Win XP/7/8/10 |
| Résolution | Condition de travail | Température de travail | Dommage à l'échantillon | Profondeur d'inspection | |
| MPS | Niveau atomique 0,1 nm | Normal, Liquide, Vide | Chambre ou basse température | Aucun | 1 ~ 2 niveau d'atome |
| TEM | Pointe 0,3 ~ 0,5 nm Réseau 0,1 ~ 0,2 nm | Vide élevé | Température ambiante | Petit | Habituellement<100nm |
| MEB | 6-10nm | Vide poussé | Température ambiante | Petit | 10mm @10x 1um @10000x |
| FIM | Niveau atomique 0,1 nm | Super haut vide | 30~80K | Dommage | Épaisseur d'atome |
| Microscope | Microscope optique | Microscope électronique | Microscope à sonde à balayage |
| Résolution maximale (um) | 0,18 | 0,00011 | 0,00008 |
| Remarque | Immersion dans l'huile 1500x | Imagerie des atomes de carbone du diamant | Imagerie d'atomes de carbone graphitiques d'ordre élevé |
 |  |  |
| Interaction sonde-échantillon | Mesurer le signal | Informations |
| Force | Force électrostatique | Forme |
| Courant tunnel | Courant | Forme, conductivité |
| Force magnétique | Phase | Structure magnétique |
| Force électrostatique | Phase | répartition des charges |
Huang Xin