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| ◆ Der Lasererkennungskopf und der Probenscantisch sind integriert, die Struktur ist sehr stabil und die Entstörung ist stark ◆ Präzisions-Sondenpositioniergerät, Laserpunkt-Ausrichtungseinstellung ist sehr einfach ◆ Die einachsige Antriebsprobe nähert sich automatisch vertikal der Sonde, sodass die Nadelspitze senkrecht zum Probenscan steht ◆ Die intelligente Nadelvorschubmethode der motorgesteuerten, unter Druck stehenden, piezoelektrischen Keramik-Automatikerkennung schützt die Sonde und die Probe ◆ Automatische optische Positionierung, keine Fokussierung erforderlich, Echtzeitbeobachtung und Positionierung des Abtastbereichs der Sondenprobe ◆ Federaufhängung stoßfeste Methode, einfach und praktisch, gute stoßfeste Wirkung ◆ Metallgeschirmte Schallschutzbox, eingebauter hochpräziser Temperatur- und Feuchtigkeitssensor, Echtzeitüberwachung der Arbeitsumgebung ◆ Integrierter Scanner-Editor für nichtlineare Korrekturen, Nanometer-Charakterisierung und Messgenauigkeit besser als 98 % |
| Spezifikation | A62.4500 | A62.4501 | A62.4503 | A62.4505 |
| Arbeitsmodus | Klopfmodus 【Optional】 Kontaktmodus Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus | Kontaktmodus Klopfmodus 【Optional】 Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus | Kontaktmodus Klopfmodus 【Optional】 Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus | Kontaktmodus Klopfmodus 【Optional】 Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus |
| Aktuelle Spektrumskurve | RMS-Z-Kurve 【Optional】 FZ-Kraftkurve | RMS-Z-Kurve FZ-Kraftkurve | RMS-Z-Kurve FZ-Kraftkurve | RMS-Z-Kurve FZ-Kraftkurve |
| XY-Scanbereich | 20 × 20 um | 20 × 20 um | 50 × 50 um | 50 × 50 um |
| XY-Scanauflösung | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm |
| Z-Scanbereich | 2,5 um | 2,5 um | 5um | 5um |
| Y Scanauflösung | 0,05 nm | 0,05 nm | 0,05 nm | 0,05 nm |
| Scangeschwindigkeit | 0,6Hz~30Hz | 0,6Hz~30Hz | 0,6Hz~30Hz | 0,6Hz~30Hz |
| Scan-Winkel | 0~360° | 0~360° | 0~360° | 0~360° |
| Probengröße | Φ≤90mm H≤20mm | Φ≤90mm H≤20mm | Φ≤90mm H≤20mm | Φ≤90mm H≤20mm |
| Bewegung des XY-Tisches | 15 × 15 mm | 15 × 15 mm | 25 × 25 um | 25 × 25 um |
| Stoßdämpfendes Design | Federaufhängung | Federaufhängung Abschirmbox aus Metall | Federaufhängung Abschirmbox aus Metall | - |
| Optisches System | 4x Ziel Auflösung 2,5 um | 4x Ziel Auflösung 2,5 um | 10x Ziel Auflösung 1um | Okular 10x Infinity Plan LWD APO 5x10x20x50x 5.0M Digitalkamera 10-Zoll-LCD-Monitor mit Messfunktion LED Kohler-Beleuchtung Koaxiale Grob- und Feinfokussierung |
| Ausgabe | USB2.0/3.0 | USB2.0/3.0 | USB2.0/3.0 | USB2.0/3.0 |
| Software | Gewinne XP/7/8/10 | Gewinne XP/7/8/10 | Gewinne XP/7/8/10 | Gewinne XP/7/8/10 |
| Auflösung | Arbeitsbedingung | Arbeitstemperatur | Beschädigung der Probe | Inspektionstiefe | |
| SPM | Atomebene 0,1 nm | Normal, Flüssigkeit, Vakuum | Raum- oder Niedrigtemperatur | Keiner | 1~2 Atomebene |
| TEM | Punkt 0,3 ~ 0,5 nm Gitter 0,1 ~ 0,2 nm | Hochvakuum | Raumtemperatur | Klein | Normalerweise<100nm |
| SEM | 6-10nm | Hochvakuum | Raumtemperatur | Klein | 10mm @10x 1um @10000x |
| FIM | Atomebene 0,1 nm | Super-Hochvakuum | 30~80K | Schaden | Atomdicke |
| Mikroskop | Optisches Mikroskop | Elektronenmikroskop | Rastersondenmikroskop |
| Max. Auflösung (um) | 0.18 | 0.00011 | 0.00008 |
| Anmerkung | Ölimmersion 1500x | Imaging von Diamant-Kohlenstoffatomen | Abbildung graphitischer Kohlenstoffatome höherer Ordnung |
 |  |  |
| Sonden-Proben-Wechselwirkung | Signal messen | Information |
| Macht | Elektrostatische Kraft | Form |
| Tunnelstrom | Aktuell | Form, Leitfähigkeit |
| Magnetkraft | Phase | Magnetische Struktur |
| Elektrostatische Kraft | Phase | Ladungsverteilung |
Huang Xin