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| ◆ La testina di rilevamento laser e lo stadio di scansione del campione sono integrati, la struttura è molto stabile e l'anti-interferenza è forte ◆ Dispositivo di posizionamento della sonda di precisione, la regolazione dell'allineamento del punto laser è molto semplice ◆ Il campione di azionamento ad asse singolo si avvicina automaticamente alla sonda verticalmente, in modo che la punta dell'ago sia perpendicolare alla scansione del campione ◆ Il metodo di alimentazione intelligente dell'ago del rilevamento automatico della ceramica piezoelettrica pressurizzata controllata da motore protegge la sonda e il campione ◆ Posizionamento ottico automatico, nessuna necessità di messa a fuoco, osservazione in tempo reale e posizionamento dell'area di scansione del campione della sonda ◆ Metodo antiurto con sospensione a molla, semplice e pratico, buon effetto antiurto ◆ Scatola insonorizzata con schermatura metallica, sensore di temperatura e umidità integrato ad alta precisione, monitoraggio in tempo reale dell'ambiente di lavoro ◆ Editor utente integrato per la correzione non lineare dello scanner, caratterizzazione nanometrica e precisione di misurazione superiore al 98% |
| Specifica | A62.4500 | A62.4501 | A62.4503 | A62.4505 |
| Modalità Lavoro | Modalità tocco 【Opzionale】 Modalità di contatto Modalità di attrito Modalità Fase Modalità magnetica Modalità elettrostatica | Modalità di contatto Modalità tocco 【Opzionale】 Modalità di attrito Modalità Fase Modalità magnetica Modalità elettrostatica | Modalità di contatto Modalità tocco 【Opzionale】 Modalità di attrito Modalità Fase Modalità magnetica Modalità elettrostatica | Modalità di contatto Modalità tocco 【Opzionale】 Modalità di attrito Modalità Fase Modalità magnetica Modalità elettrostatica |
| Curva dello spettro corrente | Curva RMS-Z 【Opzionale】 Curva di forza FZ | Curva RMS-Z Curva di forza FZ | Curva RMS-Z Curva di forza FZ | Curva RMS-Z Curva di forza FZ |
| Intervallo di scansione XY | 20×20um | 20×20um | 50×50um | 50×50um |
| Risoluzione scansione XY | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm |
| Intervallo di scansione Z | 2,5um | 2,5um | 5um | 5um |
| Risoluzione scansione Y | 0,05 nm | 0,05 nm | 0,05 nm | 0,05 nm |
| Velocità di scansione | 0,6 Hz ~ 30 Hz | 0,6 Hz ~ 30 Hz | 0,6 Hz ~ 30 Hz | 0,6 Hz ~ 30 Hz |
| Angolo di scansione | 0~360° | 0~360° | 0~360° | 0~360° |
| Misura di prova | Φ≤90mm H≤20mm | Φ≤90mm H≤20mm | Φ≤90mm H≤20mm | Φ≤90mm H≤20mm |
| Fase XY in movimento | 15×15 mm | 15×15 mm | 25×25um | 25×25um |
| Design ammortizzante | Sospensione a molla | Sospensione a molla Scatola di protezione in metallo | Sospensione a molla Scatola di protezione in metallo | - |
| Sistema Ottico | 4x Obiettivo Risoluzione 2,5um | 4x Obiettivo Risoluzione 2,5um | 10x Obiettivo Risoluzione 1um | Oculare 10x Infinity Plan LWD APO 5x10x20x50x Fotocamera digitale da 5,0 M Monitor LCD da 10", con misurazione Illuminazione a LED Kohler Messa a fuoco coassiale grossolana e fine |
| Produzione | USB 2.0/3.0 | USB 2.0/3.0 | USB 2.0/3.0 | USB 2.0/3.0 |
| Software | Vinci XP/7/8/10 | Vinci XP/7/8/10 | Vinci XP/7/8/10 | Vinci XP/7/8/10 |
| Risoluzione | Condizioni di lavoro | Temperamento di lavoro | Danno al Campione | Profondità di ispezione | |
| SPM | Livello dell'atomo 0,1 nm | Normale, Liquido, Sottovuoto | Ambiente o Bassa Temperatura | Nessuno | 1~2 Livello di atomo |
| TEM | Punto 0,3~0,5 nm Reticolo 0,1~0,2 nm | Alto vuoto | Temperatura della stanza | Piccolo | Di solito <100 nm |
| SEM | 6-10 nm | Alto vuoto | Temperatura della stanza | Piccolo | 10 mm @ 10x 1um @10000x |
| FIM | Livello dell'atomo 0,1 nm | Super alto vuoto | 30~80K | Danno | Spessore dell'atomo |
| Microscopio | microscopio ottico | Microscopio elettronico | Microscopio con sonda a scansione |
| Risoluzione massima (um) | 0.18 | 0.00011 | 0.00008 |
| Nota | Immersione in olio 1500x | Imaging degli atomi di carbonio del diamante | Imaging di atomi di carbonio grafitico di ordine elevato |
 |  |  |
| Interazione sonda-campione | Misurare il segnale | Informazione |
| Forza | Forza elettrostatica | Forma |
| Corrente del tunnel | Attuale | Forma, conducibilità |
| Forza magnetica | Fase | Struttura magnetica |
| Forza elettrostatica | Fase | distribuzione della carica |
Huang Xin