لا يمكن فقط تحديد خصائص بنية سطح العينة وخصائصها ، بل يمكنه أيضًا اكتشاف البنية الداخلية للعينة وخصائصها على نطاق نانوي تحت السطح ؛

نظام المسح

1 ، وحدات الوظائف القياسية：مجهر مسح نفقي(STM) ،مجهر القوة الذرية(AFM) التي تشمل الاتصال ، والانزلاق ، والتنصت ، ووضع الطور والرفع ، ووظيفة Nanomilling ، ووظيفة قياس السماكة (الفيلم) / الارتفاع (الخطوة) ، وتكنولوجيا تحديد المواقع بالنانو （CCD + منصة متحركة لعينة XY عالية الدقة + ماسح ضوئي متكيف واسع النطاق） ؛

2 ، وضع قياس منحنى سوبر：يمكن إعداد كل AD كإشارة Y ، وكل DA كإشارة X ، مثل منحنى IV ، ومنحنى IZ ، والقوة - منحنى المسافة ، والسعة - منحنى المسافة ، والتردد - منحنى الطور ، والطور - منحنى المسافة والتردد - منحنى السعة ؛

3 ، سمك (فيلم) / ارتفاع (خطوة) وظيفة قياس：تقليد أداة قياس الخطوة المهنية ، يمكن أن تحقق قياس سماكة الفيلم / ارتفاع الخطوة بسرعة وسهولة ؛

4 ، وظيفة Nanomilling：أنماط النقش النقش بالكهرباء / قوة النقش مسار النقش （النقش المتجه / نقش الرسومات） ؛

5 ، مجموعة الماسح الضوئي（س ص ع） ：50 ميكرومتر * 50 ميكرومتر * 8 ميكرومتر نحن نوفر بشكل حصري ماسح ضوئي بمدى 50 ميكرون يمكنه تحقيق دقة المقياس الذري باستخدام ماسح ضوئي واحد (تقنية أساسية فريدة). ） ؛

6 ، دقة الماسح الضوئي 50 / 100μ：
محاور STM ： 0.1nm XY ؛ 0.01nm Z محور ， تم التحقق منه بواسطة HOPG ；
وضع الاتصال AFM ： 0.2nm محاور XY ؛ 0.03nm Z محور ， تم التحقق منه بواسطة Mica lattice
وضع التنصت AFM ： 0.2nm محاور XY ؛ 0.1nm Z محور ， تم التحقق منه بواسطة DNA ；
الرسائل الاقتحامية ： ＜ 10 نانومتر.

7 ، حجم منصة العينة：Diameter≤Φ70mmm ، سمك 30mm .؛

منصة متحركة لعينة XY عالية الدقة ： يتم التحكم في منصة نقل عينة XY عالية الدقة بواسطة الكمبيوتر تلقائيًا ， ويمكن للمنصة وضع المنطقة التي تم اختبارها من العينة إلى الجزء السفلي من المسبار بسهولة ودقة!
نطاق الحركة ： 5 مم × 5 مم ، دقة الحركة ： 50 نانومتر ， تتم مراقبة عملية تحديد المواقع بالكامل باستخدام CCD ، في حماية أمان النظام ، بينما تتحكم في عينات تحديد المواقع بدقة.

أدخل القيمة المتنقلة لـ X و Y مباشرة ، ويتحكم الكمبيوتر في موضع المنصة المتحركة تلقائيًا.

8 ، دقة التحكم / الاستحواذ：استخدام ثنائي 16 AD / DA تفاضلي مستقل متزامن تكبير الضغط العالي التقني ， 16 بت ثنائي القناة A / D ؛ 12 قناة 16 بت D / A ؛ 4 قنوات ثنائية 16 بت D / A تضخيم رقمي متكامل مغلق الطور وتكنولوجيا توليف تردد رقمي مباشر ；

10 ، وحدة الجهد العالي：عند إضافة جهد ± 300 فولت ، تكون ضوضاء التموج 1.5mV فقط ، 4 قنوات ثنائية 16 بت D / A توفر جهد التحكم في ثلاثة اتجاهات من XYZ ، ويمكن توسيعها إلى 8 قنوات ؛

11 ، مسح الزاوية：يمكن ضبط من -180 درجة إلى + 180 درجة بشكل مستمر ؛

13 ، تيار النفق：1pA إلى 50nA ؛

15 ، واجهة صورة بأربع نوافذ ،يمكن مراقبة أربع قنوات بيانات مختلفة في وقت واحد ، ويتم استعادة الصورة وجميع معلمات بيئة العمل الحالية في وقت واحد ؛

16 ، نظام الحفظ الذكي ووظيفة التعليم الذاتي：بمجرد تغيير معلمة واحدة ، سيتم تعديل المعلمات ذات الصلة على أساس تجربة النظام تلقائيًا إلى أفضل نطاق دون تدخل يدوي ؛

17 ، تصحيح غير خطي للسيراميك الكهرضغطية على الخط، تصحيح تركيب السطح المنحني ، تصحيح إمالة العينة ، نتيجة القياس النهائية: عدم الخطية <1٪ ， التعامد أقل من 1٪. علاوة على ذلك ، فإننا نعتبر أيضًا سرعة المسح على تأثير اللاخطية ؛

18 ، وظيفة تحليل الملف التعسفي：يمكن ضبط المنحنى بشكل تعسفي في الصورة ، والحصول على صورة الملف الشخصي لهذا المنحنى ؛

19 ، برامج معالجة الصور:عرض صورة ثلاثية الأبعاد ， ترشيح الصورة تعديل الصورة ， تحسين الحواف ومعالجة مورفولوجيا وتغير تنسيق الصورة ， تحويلات هندسية للصورة ومجموعة لوح الألوان وما إلى ذلك ؛

20 ، برنامج تحليل البيانات：تحليل الخشونة ， تحليل حجم الجسيمات ， تحليل الملف الشخصي تحليل سمك الفيلم ، إحصائيات التاريخ ، تحليل الاحتكاك ، تحليل ومقارنة المحمل ، تحليل ومقارنة طيف الطاقة ، تحليل الارتباط التلقائي / الارتباط المتبادل ، وظيفة الجمع والطرح للصورة ، إحصائيات / تحليل منحنى مختلف ، إلخ ؛

21 ، قالب تطوير البرمجيات：سهل الاستخدام للتطوير الثاني ، إكمال وظائف معالجة البيانات الخاصة ؛

22 ، حزمة خدمة البرمجيات：يمكن أن تتمتع وظائف البرامج غير ذات الصلة بالأجهزة بخدمة ترقية مجانية مدى الحياة ؛

23 ، دعم تقنية تنزيل البرامج الثابتة عن بعد ،يمكن تنزيل الكود وترقيته مباشرة في الأجهزة الإلكترونية القابلة للبرمجة ؛
برنامج التحكم عن بعد ： دعم التحكم في الشبكة عن بعد. يمكن للموردين التحكم عن بعد في المعدات في أماكن مختلفة ، وإجراء الصيانة عن بُعد ، والتدريب عن بُعد ، والخدمة التجريبية عن بُعد ، وما إلى ذلك.

24 ، برنامج التحكم عن بعد：دعم للتحكم في الشبكة عن بعد. يمكن للموردين التحكم عن بعد في المعدات في أماكن مختلفة ، وإجراء الصيانة عن بُعد ، والتدريب عن بُعد ، والخدمة التجريبية عن بُعد ، وما إلى ذلك.

بالإضافة إلى ذلك ، هناك العديد من الوحدات الوظيفية الأخرى المتاحة للاختيار ، مثل مجهر قوة الاحتكاك ، مجهر القوة المغناطيسية ، مجهر القوة الكهروستاتيكية ، مجهر القوة الذرية الموصلة ، مجهر القوة الذرية السائلة ، مجهر مسح كلفن ، مجهر السعة المسح ، منصة تسخين العينة ، فرض جهاز التغذية الراجعة. فيما يلي مقدمة موجزة عن الوحدة والسعر ، إذا لزم الأمر ، فلديك حرية الاختيار!

قادرة على الحصول على صورة بنية سطح العينة وهيكل المجال المغناطيسي المقابل لها على مقياس النانو ، الدقة هي 50 نانومتر ， وسيتم التحقق منها بواسطة بنية المجال المغناطيسي لمحرك الأقراص الثابتة أو DV.

يمكن التحكم في درجة حرارة العينة من درجة حرارة الغرفة إلى 150 ، والدقة 0.5 ℃. يمكن أن يجعل التصميم الفريد لنظام تبريد العينة التحكم في درجة الحرارة أسرع وأكثر دقة. قطر مرحلة العينة 30 مم. يمكن أن يؤدي اختيار مادة سبيكة معامل درجة الحرارة المنخفضة وتصميم العزل إلى تقييد تأثير ظاهرة الانجراف على جودة التصوير.