
仕様 | A62.4701 走査型プローブ顕微鏡 | |
|---|---|---|
| 特徴 |
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スキャンシステム | 1、標準機能モジュール:走査型トンネル顕微鏡(STM)、原子間力顕微鏡(AFM)接触、スライド、タッピング、位相および上昇モード、ナノミリング機能、厚さ(フィルム)/高さ(ステップ)測定機能、ナノポジショニング技術(CCD + 高精度 XY サンプル移動プラットフォーム + 広範囲適応型スキャナー)を含む; | |
2、スーパーカーブ測定モード:IV 曲線、IZ 曲線、Force - 距離曲線、Amplitude - 距離曲線、Frequency - 位相曲線、Phase - 距離曲線、Frequency など、すべての AD を Y 信号として、すべての DA を X 信号として設定できます。 - 振幅曲線; | ||
3、厚さ(フィルム)/高さ(段差)測定機能:プロの段差測定器を模倣し、膜厚/段差の高さを迅速かつ簡単に測定できます。 | ||
4、ナノミリング機能:エッチングパターン(電気エッチング/フォースエッチング),エッチングトラック(ベクターエッチング/グラフィックエッチング); | ||
5、スキャナー範囲(XYZ):50μm*50μm*8μm. 1台のスキャナーで原子レベルの解像度を実現できる50ミクロン領域のスキャナーを独占的に提供しています(独自のコア技術)。 ); | ||
6, 50/100μスキャナーの解像度: | ||
7、サンプルプラットフォームのサイズ:直径≤Φ70mmm、厚さ≤30mm。; | ||
| ナノポジショニング技術 | 高精度XYサンプル移動プラットフォーム:高精度XYサンプル移動プラットフォームはコンピューターによって自動的に制御され、プラットフォームはサンプルのテスト領域をプローブの下に簡単かつ正確に配置できます! | |
| を。マウスを使用してテスト ゾーンを目的地に直接ドラッグすると、コンピューターが移動プラットフォームの移動を自動的に制御します。 | ||
| b.出発点を任意に設定でき、戻るためのキー(コンピューターが移動台を制御して出発点に戻ります) | ||
| c.多くのテストゾーンに署名し、位置決めパスのコードを書くことができます.コンピュータは移動プラットフォームを制御してすべてのテストゾーンに自動的に移動します; | ||
X、Y のモバイル値を直接入力すると、コンピューターが移動プラットフォームの位置を自動的に制御します。 | ||
電子制御システム | センターコントローラー:32 ビット ARM テクノロジ、16 M RAM、2 M フラッシュ ROM; | |
8、制御・取得精度:デュアル 16 AD / DA 差動同期独立高圧拡大技術、16 チャンネル デュアル 16 ビット A / D を使用します。 12 チャンネル 16 ビット D/A; 4チャンネルデュアル16ビットD / A、統合されたデジタルフェーズロック増幅および直接デジタル周波数合成技術; | ||
| 9、フィードバックモード:8 チャンネルデジタルフィードバック + NC シミュレーションフィードバック; | ||
10、高電圧ユニット:±300Vの電圧を追加すると、リップルノイズはわずか1.5mVです。4チャンネルのデュアル16ビットD / Aは、XYZの3方向に制御電圧を提供します。8チャンネルに拡張できます。 | ||
11、スキャン角度:-180°から+180°まで連続的に調整できます。 | ||
| 12, コンピュータとコントローラ間のインターフェース :USB2.0; | ||
13、トンネル電流:1pA~50nA; | ||
| 14、温湿度感知システム:リアルタイム環境モニターと表示機能付き、精度:温度0.1°C、湿度0.5%RH。 | ||
| ソフトウェアシステム | 15、4 つのウィンドウのイメージ インターフェイス、4 つの異なるデータ チャネルのイメージングを同時に観察できます。画像と現在のすべての作業環境パラメータが同時に復元されます。 | |
16、システムのインテリジェントな暗記と独学機能:1 つのパラメーターが変化すると、システムの経験に基づいて関連するパラメーターが自動的に最適な範囲に調整されます。手動による干渉は必要ありません。 | ||
17、オンライン圧電セラミック非線形補正、曲面フィッティング補正、サンプル先端傾斜補正、最終測定結果:非線形性<1%、直交性 1% 未満。さらに、非線形性の影響に対するスキャン速度も考慮します。 | ||
18、任意プロファイル解析機能:画像に任意に曲線を設定し、この曲線のプロファイル画像を取得できます; | ||
19、画像処理ソフト:三次元画像表示,画像フィルタリング,画像修正,エッジ強調,モルフォロジー処理,画像フォーマットバリエーション,画像幾何変換,パレットセットなど; | ||
20、データ解析ソフト:粗さ解析、粒度解析、プロファイル解析、膜厚解析、データ統計、摩擦解析、ベアリングの解析と比較、パワースペクトルの解析と比較、自己相関・相互相関解析、加減算機能画像の各種曲線統計・解析など | ||
21、ソフトウェア開発テンプレート:2 番目の開発のためのユーザー フレンドリー、特別なデータ処理機能の完成。 | ||
22、ソフトウェアサービスパック:ハードウェアに関係のないソフトウェア機能は、永久に無料のアップグレード サービスを利用できます。 | ||
23、リモートファームウェアダウンロード技術をサポートし、プログラム可能な電子デバイスのコードを直接ダウンロードしてアップグレードできます。 | ||
24、リモコンソフト:リモート ネットワーク コントロールのサポート。サプライヤーは、さまざまな場所にある機器をリモートで制御し、リモート メンテナンス、リモート トレーニング、リモート実験サービスなどを行うことができます。 | ||
オプション機能モジュール | 商品番号。 | |
さらに、摩擦力顕微鏡、磁気力顕微鏡、静電力顕微鏡、導電性原子間力顕微鏡、液体原子間力顕微鏡、走査型ケルビン プローブ顕微鏡、走査型静電容量顕微鏡、サンプル加熱プラットフォームなど、選択可能な他の機能モジュールがいくつかあります。フォース フィードバック デバイス。以下は、モジュールの簡単な紹介と価格です。必要に応じて、自由に選択してください。 | ||
| 摩擦力 顕微鏡 | 正圧を変化させ続けるオリジナルスキャンモード、オリジナル二分スキャンモード。非常に軽い負荷 (10-7 ~ 10-9 N) で薄膜材料のトライボロジー特性を定量的に評価し、微小摩擦係数を測定できます。カンチレバーの先端とスキャン方向の間の角度を正確に配置できます。 FZ測定で横力の変化を同時に測定できます。 | A62.4701-1 |
| 磁力顕微鏡 | サンプルの表面構造画像とそれに対応する磁区構造をナノスケールで取得でき、解像度は50nmで、ハードドライブまたはDVの磁区構造によって検証されます。 | A62.4701-2 |
| 試料の表面構造像とそれに対応する電界分布をナノスケールで取得可能 | A62.4701-3 | |
| 導電性原子間力顕微鏡 | 試料の表面構造像とそれに対応する電流像をナノスケールで取得できます。バイアス電圧変調によりIVカーブ情報などを取得できます。 | A62.4701-4 |
| 液体原子間力顕微鏡 | 液体原子間力顕微鏡の機能を実現するために、液体環境プローブ デバイスと液体インテリジェンス プローブ シェルフを構成します。液体インテリジェンスプローブシェルフを挿入するだけで、システムは現在のプローブタイプを自動的に識別でき、ソフトウェアとハードウェアは手動干渉なしで対応する作業モードに自動的に切り替わります。 | A62.4701-5 |
| 走査型ケルビンプローブ顕微鏡 | 探針と試料の間にDCとACの2種類の電圧を印加し、Lock-amplification技術を用いて試料の表面仕事関数の変化と試料の表面構造像を得ることができます。 | A62.4701-6 |
| 走査型静電容量顕微鏡 | 電圧変調技術を使用して、サンプルの表面静電容量の小さな変化を検出します。 | A62.4701-7 |
| サンプル加熱プラットフォーム | 室温から150℃まで試料温度を制御でき、精度は0.5℃です。サンプルの冷却システムの独自の設計により、温度制御をより迅速かつ正確に行うことができます。サンプルステージの直径は30mmです。低温度係数合金材料の選択と絶縁設計により、ドリフト現象が画像品質に及ぼす影響を抑えることができます。 | A62.4701-8 |
| フォース フィードバック デバイス | SPM操作時の探針と試料の相互作用力を直感的に体感できるツールです。フォース フィードバック デバイスは、pN から nN クラスのパワー、およびナノからマイクロ クラスの動きを、感じ、触れ、操作できる物理空間に直接マッピングできます。ナノ粒子同士の付着・再会・引力・排除、ナノファイバーの固まりやすさ、DNAのらせん吸着、サンプルの移動・操作・蓄積・秩序化を体感できます。さまざまな表面堆積物。 | A62.4701-9 |
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黄昕