Дээжийн гадаргуугийн бүтэц, шинж чанарыг тодорхойлох төдийгүй дээжийн дотоод бүтэц, шинж чанарыг гадаргуугаас доош нано масштабаар илрүүлэх боломжтой;

Сканнердах систем

1, Стандарт функцийн модулиуд：Сканнердах туннелийн микроскоп(STM),Атомын хүчний микроскоп(AFM) контакт, гулсах, товших, фаз ба өргөх горим, Нано тээрэмдэх функц, Зузаан(кино)/Өндөр(Алхам) хэмжих функц, Нано байрлал тогтоох технологи (CCD+ Өндөр нарийвчлалтай XY дээжийг хөдөлгөх платформ + Том хүрээний дасан зохицох сканнер);

2, Супер муруй хэмжих горим：IV муруй, IZ муруй, Хүч - зайны муруй, далайц - зайны муруй, Давтамж - фазын муруй, үе шат - зайны муруй, давтамж гэх мэт бүх AD-ийг Y дохио, бүх DA-г X дохио болгон тохируулж болно. - далайцын муруй;

3, Зузаан (кино) / Өндөр (Алхам) хэмжих функц：Мэргэжлийн шаталсан хэмжих хэрэгслийг дуурайж, хальсны зузаан / алхамын өндрийг хурдан, хялбараар хэмжих боломжтой;

4, Нано тээрэмдэх функц：Сийлбэрийн хэв маяг（Цахилгаан сийлбэр/ Хүчээр сийлбэр）， Сийлбэрийн зам（Вектор сийлбэр/ График сийлбэр）;

5, Сканнерийн хүрээ（XYZ）:50μm*50μm *8μm. Бид зөвхөн нэг сканнер (өвөрмөц цөм технологи) ашиглан атомын хэмжээний нягтралд хүрэх боломжтой 50 микрон-н хүрээний сканнераар хангадаг.（Хэрэв танд хэрэгтэй бол 100μm *100μm *8μm сканнертай таарч тохирохыг сонгох боломжтой бол. ）;

6, 50/100μ сканнерын нягтрал：
STM: 0.1нм XY тэнхлэг; 0.01нм Z тэнхлэг，HOPG-р баталгаажуулсан；
Холбоо барих горим AFM: 0.2нм XY тэнхлэг; 0.03нм Z тэнхлэг，Гялтгануур тороор баталгаажуулсан；
Товчлох горим AFM: 0.2нм XY тэнхлэг; 0.1нм Z тэнхлэг，ДНХ-ээр баталгаажуулсан；
СПАМ:＜10нм.

7, дээжийн платформын хэмжээ：Диаметр≤Φ70мм, Зузаан≤30мм.;

Өндөр нарийвчлалтай XY дээжийг хөдөлгөх платформ: Өндөр нарийвчлалтай XY дээжийг хөдөлгөх платформыг компьютер автоматаар удирддаг бөгөөд платформ нь дээжийн шалгасан хэсгийг датчикийн доод хэсэгт хялбар, үнэн зөв байрлуулах боломжтой!
Хөдөлгөөний хүрээ: 5мм×5мм, хөдөлгөөний нарийвчлал:50нм, Системийн аюулгүй байдлыг хамгаалах үүднээс байрлал тогтоох процессыг бүхэлд нь CCD-ээр хянаж, дээжийн нарийн байрлалыг хянадаг.

X, Y-ийн гар утасны утгыг шууд оруулах ба компьютер хөдөлж буй платформын байрлалыг автоматаар удирддаг.

8, Хяналт / олж авах нарийвчлал：Хос 16 AD / DA дифференциал синхрон бие даасан гипербар томруулах техникийн， 16 суваг хос 16 бит A / D ашиглах; 12 суваг 16 бит D / A; 4 сувгийн хос 16 бит D / A ； Нэгдсэн дижитал фазын түгжигдсэн өсгөлт ба шууд дижитал давтамжийн синтезийн технологи；

10, Өндөр хүчдэлийн нэгж：± 300 В хүчдэл нэмэх үед долгионы чимээ ердөө 1.5 мВ болно; 4 сувгийн хос 16 битийн D / A нь XYZ-ийн гурван чиглэлд хяналтын хүчдэлийг хангадаг. 8 суваг хүртэл өргөтгөх боломжтой;

11, Скан хийх өнцөг：-180°-аас +180° хүртэл тасралтгүй тохируулах боломжтой;

13, Хонгилын урсгал：1пА-аас 50нА хүртэл;

15, Дөрвөн цонхны зургийн интерфейс,Дөрвөн өөр мэдээллийн сувгийн дүрслэлийг нэгэн зэрэг ажиглаж, зураг болон одоогийн ажлын орчны бүх параметрүүдийг нэгэн зэрэг сэргээдэг;

16, Системийн ухаалаг цээжлэх, өөрөө сургах функц：Нэг параметр өөрчлөгдвөл холбогдох параметрүүд нь системийн туршлагад тулгуурлан гарын авлагын хөндлөнгийн оролцоогүйгээр автоматаар хамгийн сайн хүрээнд тохируулагдана;

17, Онлайн пьезоэлектрик керамик шугаман бус залруулга, Муруй гадаргуугийн тохируулга, дээжийн үзүүр хазайлтыг засах, хэмжилтийн эцсийн үр дүн: Шугаман бус байдал <1%，Ортогональ байдал 1%-аас бага. Түүнчлэн, шугаман бус байдлын нөлөөнд сканнердах хурдыг авч үздэг;

18, Дурын профайлын шинжилгээний функц：Зурган дээр дур мэдэн муруй тохируулах боломжтой, энэ муруйны профайл зургийг авах;

19, Зураг боловсруулах программ хангамж:гурван хэмжээст дүрс дэлгэц，Зургийн шүүлт，Зургийн өөрчлөлт，Замын сайжруулалт, Морфологийн боловсруулалт, Зургийн форматын өөрчлөлт，Зургийн геометрийн хувиргалт, Палетт багц гэх мэт;

20, Өгөгдлийн шинжилгээний программ хангамж：Барзгаржилтын шинжилгээ，Бөөмийн хэмжээний шинжилгээ，Профайлын шинжилгээ，Хөлсний зузаанын шинжилгээ,Огнооны статистик, үрэлтийн шинжилгээ, Холхивчийн шинжилгээ ба харьцуулалт, Хүч чадлын спектрийн шинжилгээ ба харьцуулалт, Автокорреляцийн / хөндлөн корреляцийн шинжилгээ, Нэмэх, хасах функц зургийн, Төрөл бүрийн муруй статистик / шинжилгээ гэх мэт;

21, Програм хангамж хөгжүүлэх загвар：Хэрэглэгчдэд ээлтэй хоёр дахь хөгжүүлэлт, тусгай өгөгдөл боловсруулах функцийг дуусгах;

22, Програм хангамжийн үйлчилгээний багц：техник хангамжид хамааралгүй програм хангамжийн функцууд нь насан туршдаа үнэгүй шинэчлэх үйлчилгээг ашиглах боломжтой;

23, Алсын програм хангамжийг татаж авах технологийг дэмжих,Програмчлагдсан электрон төхөөрөмжид кодыг шууд татаж авах, шинэчлэх боломжтой;
Алсын удирдлагын программ хангамж: Алсын сүлжээний удирдлагын дэмжлэг. Нийлүүлэгчид тоног төхөөрөмжийг өөр өөр газар алсаас хянах, алсын зайнаас засвар үйлчилгээ хийх, алсын зайн сургалт, алсын зайнаас туршилтын үйлчилгээ хийх гэх мэт боломжтой.

24, Алсын удирдлагын программ хангамж：Сүлжээний алсын удирдлагад дэмжлэг үзүүлэх. Нийлүүлэгчид тоног төхөөрөмжийг өөр өөр газар алсаас хянах, алсын зайнаас засвар үйлчилгээ хийх, алсын зайн сургалт, алсын зайнаас туршилтын үйлчилгээ хийх гэх мэт боломжтой.

Нэмж дурдахад үрэлтийн хүчний микроскоп, соронзон хүчний микроскоп, цахилгаан статик хүчний микроскоп, дамжуулагч атомын хүчний микроскоп, шингэний атомын хүчний микроскоп, сканнерийн Кельвин датчик микроскоп, сканнерийн багтаамжийн микроскоп, дээж халаах платформ гэх мэт өөр хэд хэдэн функцын модулийг сонгох боломжтой. Хүчээр санал хүсэлт гаргах төхөөрөмж. Дараах нь модулийн товч танилцуулга ба үнэ юм. Шаардлагатай бол сонгох боломжтой!

Дээжийн гадаргуугийн бүтцийн зураг болон түүнд харгалзах соронзон домэйны бүтцийг нано масштабаар авах боломжтой, нягтрал нь 50 нм бөгөөд хатуу диск эсвэл DV-ийн соронзон домайн бүтцээр баталгаажуулна.

Дээжний температурыг өрөөний температураас 150 ℃ хүртэл хянах боломжтой бөгөөд нарийвчлал нь 0.5 ℃ байна. Дээжийн хөргөлтийн системийн өвөрмөц дизайн нь температурын хяналтыг илүү хурдан бөгөөд нарийвчлалтай болгож чадна. Дээж авах шатны диаметр нь 30 мм байна. Бага температурын коэффициент бүхий хайлш материалыг сонгох, дулаалгын дизайн хийх нь дүрсний чанарт шилжих үзэгдлийн нөлөөллийг хязгаарлаж чадна.